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公开(公告)号：CN106460159B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201580033266.9
申请日：2015-07-03
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: C23C14/32
Abstract: 本发明提供一种电弧蒸发源，能够将电弧点稳定地保持在靶材的前端面，而且，能够实现装置的小型化。电弧蒸发源(1)包括：通过电弧放电而从前端面(3a)开始熔解并蒸发的靶材(3)；以及被配置在从靶材(3)的侧面(3b)朝向该靶材(3)的半径方向隔开距离的位置的至少一个磁铁(4)。磁铁(4)被配置成：形成在如下范围满足以下的条件a)以及b)的磁场(MF1)，其中，所述范围是处于沿着靶材(3)的侧面(3b)并且在靶材(3)的轴向上从靶材(3)的前端面(3a)起10mm为止的范围，条件a)为磁场的磁力线相对于靶材(3)的侧面(3b)所成的角度为45度以下，条件b)为在该磁力线的强度中的靶材(3)的轴向成分成为200G以上。
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公开(公告)号：CN101593828A
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200910138977.9
申请日：2009-05-21
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: H01M4/583 , C23C14/0635 , C23C14/18 , C23C14/3464 , H01M10/052
Abstract: 本发明提供一种具有高充放电容量而且可以改善伴随充放电循环的负极活性物质的劣化的锂离子二次电池用负极材料及其制造方法以及使用锂离子二次电池用负极材料的锂离子二次电池。该锂离子二次电池用负极材料是在锂离子二次电池中使用的锂离子二次电池用负极材料(10)，其特征在于，锂离子二次电池用负极材料(10)是在负极集电体(1)上形成在非晶质碳中分散从30～70at％的Si及1～40at％的Sn中选择的至少一种金属的负极活性物质(2)而成的锂离子二次电池用负极材料。
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公开(公告)号：CN102460233A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN201080024297.5
申请日：2010-06-15
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C22C21/00 , C23C14/185 , C23C14/3414 , G02B5/0808 , Y10T428/12993 , Y10T428/24355
Abstract: 本发明提供一种铝合金反射膜，其在利用溅射法成膜的情况下具有比纯Al膜高的反射率，并且具有优异的耐碱性、耐酸性以及耐湿性，因而即使没有保护被膜，也很难引起反射率降低，本发明的铝合金反射膜合计含有0.4～2.5at％的选自Sc、Y、La、Gd、Tb及Lu中的1种以上的元素，余量包含Al及不可避免的杂质，用原子力显微镜测定出的膜表面的平均粗糙度Ra为4nm以下。另外，提供具有该反射膜的汽车用灯具、照明设备。此外，提供用于形成该反射膜的铝合金溅射靶。
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公开(公告)号：CN101578728A
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：CN200780045512.8
申请日：2007-12-12
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: H01M8/02 , C22C5/02 , C22C5/04 , C22C14/00 , C22C16/00 , C22C27/00 , C22C27/02 , C22F1/05 , C23C14/14 , H01M8/10 , C22F1/18
CPC classification number: H01M8/0206 , C22C5/02 , C22C5/04 , C22C14/00 , C22C16/00 , C22C27/00 , C22C27/02 , C22F1/05 , C22F1/18 , C23C14/16 , C23C14/165 , C23C14/5806 , C23C14/5846 , C23C14/5853 , H01M8/0208 , H01M8/021 , H01M8/0228 , H01M8/0263 , H01M2008/1095 , Y02P70/56
Abstract: 本发明涉及燃料电池的金属隔板用合金皮膜，其中，含有Au和Pt之中的至少1种贵金属元素，和从Ti、Zr、Nb、Hf及Ta中选择的至少1种非贵金属元素，所述贵金属元素/非贵金属元素的含有比例以原子比计为35/65～95/5，膜厚为2nm以上。另外，本发明还涉及燃料电池的金属隔板用合金皮膜的制造方法和溅射用靶材，以及金属隔板和燃料电池。本发明的燃料电池的金属隔板用合金皮膜，耐腐蚀性优异，并且接触电阻低，该低的接触电阻即使在腐蚀气氛中也能够长期维持，此外生产性也优异。
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公开(公告)号：CN108495948A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201780007847.4
申请日：2017-01-06
Applicant: 株式会社神户制钢所
Abstract: 本发明提供一种能够长期准确地进行靶材是否存在于规定的位置的检测的电弧蒸发装置。电弧蒸发装置(1)包括：具有远端面(3a)和与其连续地沿轴向延伸的侧面(3b)，通过电弧放电从远端面(3a)起熔解并蒸发的棒状的靶材(3)；电弧电源(8)；让靶材(3)在远端面(3a)前进的输送方向上沿轴向移动的靶材输送部(4)；在靶材(3)的输送方向上的规定的位置，呈可从与输送方向交叉的交叉方向接触于靶材(3)的侧面(3b)的形状的点火杆(6)；让点火杆(6)以从退避位置沿交叉方向进入到靶材(3)被送入的搬送区域的方式移动的旋转致动器(7)，其中，该退避位置是从侧面(3b)向交叉方向离开的位置；以及在点火杆(6)的移动过程中，检测点火杆(6)是否接触于靶材(3)的侧面(3b)的检测部(9)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102933738A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201180027644.4
申请日：2011-06-15
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: B23K9/00 , C23C14/325 , H01J37/32055 , H01J37/3402
Abstract: 提供一种成膜速度快的电弧式蒸发源。本发明的电弧式蒸发源(1)具备：至少一个外周磁铁(3)，其包围标靶(2)的外周，并且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向；非环状的第一永磁铁(4A)，其配置于标靶(2)的背面侧，具有与所述外周磁铁(3)的极性同方向极性且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向；非环状的第二永磁铁(4B)，其在与所述第一永磁铁(4A)隔开间隔的状态下，配置于第一永磁铁(4A)与标靶(2)之间、或配置于第一永磁铁(4A)的背面侧，具有与所述外周磁铁(3)的极性同方向的极性并且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向；以及磁性体(5)，其配置在第一永磁铁(4A)与第二永磁铁(4B)之间。
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公开(公告)号：CN101436652A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200810178244.3
申请日：2008-11-17
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: H01M8/0206 , H01M8/0228 , H01M2008/1095 , Y02P70/56 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明提供一种燃料电池隔板用钛基材，当其用作燃料电池隔板的基材时，能够长时间维持低接触电阻，并且，例如，即使在生产批量等不同的情况下，也不易产生能够长时间维持低接触电阻的效果的不稳定。本发明的燃料电池隔板用钛基材(1)用于制造在燃料电池中使用的隔板，该燃料电池隔板用钛基材(1)的材质是纯钛或钛合金，在该燃料电池隔板用钛基材(1)的表层(2)中，利用X射线光电子分光分析测定的在280～284eV之间具有结合能的碳的浓度为25原子％以下。
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公开(公告)号：CN108495948B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201780007847.4
申请日：2017-01-06
Applicant: 株式会社神户制钢所
Abstract: 本发明提供一种能够长期准确地进行靶材是否存在于规定的位置的检测的电弧蒸发装置。电弧蒸发装置(1)包括：具有远端面(3a)和与其连续地沿轴向延伸的侧面(3b)，通过电弧放电从远端面(3a)起熔解并蒸发的棒状的靶材(3)；电弧电源(8)；让靶材(3)在远端面(3a)前进的输送方向上沿轴向移动的靶材输送部(4)；在靶材(3)的输送方向上的规定的位置，呈可从与输送方向交叉的交叉方向接触于靶材(3)的侧面(3b)的形状的点火杆(6)；让点火杆(6)以从退避位置沿交叉方向进入到靶材(3)被送入的搬送区域的方式移动的旋转致动器(7)，其中，该退避位置是从侧面(3b)向交叉方向离开的位置；以及在点火杆(6)的移动过程中，检测点火杆(6)是否接触于靶材(3)的侧面(3b)的检测部(9)。
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公开(公告)号：CN106460159A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580033266.9
申请日：2015-07-03
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: C23C14/32
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/32 , C23C14/325 , H01J37/32055 , H01J37/3266 , H01J37/32669
Abstract: 本发明提供一种电弧蒸发源，能够将电弧点稳定地保持在靶材的前端面，而且，能够实现装置的小型化。电弧蒸发源(1)包括：通过电弧放电而从前端面(3a)开始熔解并蒸发的靶材(3)；以及被配置在从靶材(3)的侧面(3b)朝向该靶材(4)。磁铁(4)被配置成：形成在如下范围满足以下的条件a)以及b)的磁场(MF1)，其中，所述范围是处于沿着靶材(3)的侧面(3b)并且在靶材(3)的轴向上从靶材(3)的前端面(3a)起10mm为止的范围，条件a)为磁场的磁力线相对于靶材(3)的侧面(3b)所成的角度为45度以下，条件b)为在该磁力线的强度中的靶材(3)的轴向成分成为200G以上。(3)的半径方向隔开距离的位置的至少一个磁铁
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公开(公告)号：CN103392026A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201280009978.3
申请日：2012-02-23
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/325 , H01J37/32055 , H01J37/32669 , H01J37/34 , H01J37/3402 , H01J37/345 , H01J37/3452
Abstract: 本发明的一实施方式的电弧式蒸发源（101）具备如下：使磁化方向沿着与靶（102）的前面平行的方向而以包围靶的外周的方式配置的环状的外周磁体（103）；使磁化方向沿着与靶（102）的前面正交的方向而配置在靶的背面侧的背面磁体（104）。外周磁体（103）的径向内侧的磁极和背面磁体（104）的靶（102）侧的磁极是彼此相同的极性。
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