公开(公告)号：CN113508287A

公开(公告)日：2021-10-15

申请号：CN202080018145.8

申请日：2020-03-18

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  长谷川惠一 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G01N21/03 ,  G01N21/33 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明提供一种用于测定在连接有多个气体供给管线的合流块体(14)中流动的气体的浓度的浓度测定装置(20)，其具备：发出向形成于合流块体的流路入射的光的光源(40)；接收从流路出射的光的光检测器(44)；以及根据光检测器的输出求出在流路中流动的气体的浓度的运算控制电路(46)，用于使来自光源的光入射到流路的透光性的入射窗(26、23)以及用于使通过了流路的光出射的透光性的出射窗(28、23)中的至少任意一个相对于合流块体(14)密封固定。

公开(公告)号：CN107923841B

公开(公告)日：2021-07-13

申请号：CN201680025238.7

申请日：2016-08-09

Applicant: 国立大学法人德岛大学 ,  株式会社富士金

Inventor： 出口祥启 ,  永濑正明 ,  山路道雄 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  河岛将慈 ,  田中一辉

IPC: G01N21/33 ,  G01N21/05

Abstract: 一种浓度测定装置，所述浓度测定装置用于通过检测通过光入射窗和光出射窗被对向配置的测定单元的透过光而测定所述测定单元内的被测定流体的浓度，且所述浓度测定装置包括检测所述光入射窗的反射光的反射光检测器。

公开(公告)号：CN112470093A

公开(公告)日：2021-03-09

申请号：CN201980043297.0

申请日：2019-07-16

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  山下哲 ,  河岛将慈 ,  泷本昌彦 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G05D7/06

Abstract: 本发明的流量控制系统(1)的控制部(3)，具备：记录压力传感器(P)和温度传感器(T)的测量值的记录部(31)；存储与压力传感器(P)的测量值对应的从第一阀(V1)到第二阀(V2)为止的容积的存储部(32)；和基于第一压力值(P1)和第一温度值(T1)、第二压力值(P2)和第二温度值(P2)以及与第二压力值(P2)对应的从第一阀(V1)到第二阀(V2)为止的容积值(V)对流量进行运算的运算部(33)，其中，第一压力值(P1)和第一温度值(T1)为：将第一阀(V1)和第二阀(V2)打开而让气体流动，在气体流动的状态下将第一阀(V1)和第二阀(V2)同时关闭，此后测量得到的第一压力值(P1)和第一温度值(P2)，第二压力值(P2)和第二温度值(T2)为：将第一阀(V1)和第二阀(V2)打开让气体流动，在气体流动的状态下将第二阀(V2)关闭，此后，经过规定时间(Δt)后，将第一阀(V1)关闭后测量得到的第二压力值(P2)和第二温度值(T2)。

公开(公告)号：CN108369425B

公开(公告)日：2021-03-02

申请号：CN201680064955.0

申请日：2016-12-15

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  平田薰 ,  泽田洋平 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G05D7/06 ,  G01F1/42 ,  G05B23/02

Abstract: 本发明涉及一种利用具备节流部(12)、上游侧的控制阀(18)、上游侧的第一压力传感器(14)、下游侧的第二压力传感器(24)的流量控制装置(10)和下游阀(24)而进行的异常检测方法，包含使控制阀以及下游阀从打开状态变化为关闭状态的步骤、将控制阀以及下游阀维持着关闭状态而测定上游压力以及下游压力的步骤、和(a)抽出上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻的上游压力作为上游收敛压力，下游压力作为下游收敛压力的步骤及(b)抽出从使控制阀以及下游阀变化为关闭状态的时刻至上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻为止的时间作为收敛时间的步骤之中的至少一方，基于在步骤(a)或(b)中任一步骤所获得的数据与作为基准的值的比较而判断异常的有无。

公开(公告)号：CN110234965B

公开(公告)日：2020-10-27

申请号：CN201880009200.X

申请日：2018-02-08

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  泽田洋平 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G01F1/00 ,  G01F3/38 ,  G05D7/06

Abstract: 本发明提供一种流量测定方法，其在气体供给系统中进行，所述气体供给系统具备：多个气体供给路径，其具备第一阀；以及共用气体供给路径，其形成于多个气体供给路径的下游侧且具备流量测定装置，所述流量测定装置具备压力传感器、温度传感器以及下游侧的第二阀，所述流量测定方法包括以下工序：第一工序，打开任一个第一阀和第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下关闭第二阀，经过规定时间后关闭任一个第一阀，测定关闭第一阀后的压力和温度；第二工序，打开任一个第一阀和第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下同时关闭任一个第一阀和第二阀，测定关闭第一阀和第二阀后的压力和温度；第三工序，基于在第一工序中测定的压力和温度以及在第二工序中测定的压力和温度，来计算流量。

公开(公告)号：CN107003168B

公开(公告)日：2019-12-20

申请号：CN201580044670.6

申请日：2015-11-02

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 日高敦志 ,  永濑正明 ,  平田薰 ,  山下哲 ,  平尾圭志 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G01F23/22 ,  B01J4/00 ,  C23C16/455 ,  H01L21/31

Abstract: 本发明提供一种在可以从液相切换到气相的检测时间上减少流量依存性的同时，缩短检测时间的液面计以及液体原料气化供给装置。该液面计具备：贮存液体原料的腔体(2)；收容用于检测腔体(2)内的液面(L1)的测温电阻的至少一根保护管(3)；以及控制从腔体(2)流出的气体的流量并进行供给的流量控制装置(4)，其中，保护管(3)沿水平方向插入并固定于腔体(2)的侧壁(2a)。

公开(公告)号：CN107532298B

公开(公告)日：2019-07-26

申请号：CN201680007156.X

申请日：2016-04-11

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 日高敦志 ,  永濑正明 ,  平田薰 ,  杉田胜幸 ,  中谷贵纪 ,  山下哲 ,  西野功二 ,  池田信一 ,  平尾圭志

IPC: C23C16/448 ,  B01J4/00 ,  B01J7/02 ,  C23C16/52 ,  H01L21/31

Abstract: 本发明提供一种可解除从气化器内通往流量控制装置的气体流路内被液体充满的不当情况的气化供给装置。该气化供给装置具备：气化器(2)，其将液体(L)加热而使其气化；流量控制装置(3)，其控制从气化器送出的气体的流量；第一控制阀(5)，其介入设置于液体向气化器(2)的供给路径(4)中；压力检测器(6)，其用于检测出在气化器(2)被气化并送往流量控制装置(3)的气体的压力；液体检测部(7A)，其测定气化器(2)内的超过预定量的液体的参数；以及控制装置(8)，其按照如下方式进行控制：以能够根据压力检测器(6)检测出的压力值向气化器(2)供给预定量的液体(L)的方式控制第一控制阀(5)，且在液体检测部(7A)检测到液体时，关闭第一控制阀(5)。

公开(公告)号：CN108885471A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780004761.6

申请日：2017-03-23

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 永濑正明 ,  平田薰 ,  泽田洋平 ,  杉田胜幸 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G05D7/06 ,  G05B23/02

CPC classification number: G05B23/02 ,  G05D7/06

Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置(8)，具备：节流部(2)、节流部上游的控制阀(6)、上游压力检测器(3)和下游压力检测器(4)、以及利用控制阀和节流部之间的流路的压力下降数据和基准压力下降数据对流量控制进行诊断的控制器(7)，在下游压力检测器的下游侧设置有隔断阀(9)，执行流量自诊断功能时，向控制阀和隔断阀发出关闭命令，控制器(7)利用关闭控制阀后的上游压力检测器和下游压力检测器的输出判定是否满足规定的临界膨胀条件，利用满足规定的临界膨胀条件的期间的压力下降数据而对流量控制进行诊断。

公开(公告)号：CN104822858B

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201380057690.8

申请日：2013-11-20

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 日高敦志 ,  永濑正明 ,  山下哲 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: C23C16/448 ,  H01L21/31

CPC classification number: C23C16/4485 ,  C23C16/4481 ,  C23C16/4482 ,  C23C16/52 ,  F17C9/02 ,  F22B1/284 ,  F22B1/285

Abstract: 本发明涉及原料气化供给装置，无论是固体原料还是液体原料，都是使几乎全部原料气体不发生热分解地成为期望的高温、高蒸气压的原料气体，从而能够将高纯度且达到期望浓度的原料气体以高精度进行流量控制同时向处理腔稳定地供给。本发明的原料气化供给装置由原料收纳罐、对从液体收纳罐压送而来的液体进行气化的气化器、对来自气化器的原料气体的流量进行调整的流量控制装置、以及对气化器、高温型压力式流量控制装置及与气化器和高温型压力式流量控制装置连接的流路的期望部分进行加热的加热装置构成，至少针对所述原料收纳罐、气化器、流量控制装置、将所述各设备装置之间加以连结的流路以及介设于流路中的开闭阀中的任一个的金属表面的各液体接触部或气体接触部，实施了Al2O3钝化处理或Cr2O3钝化处理或FeF2钝化处理。

公开(公告)号：CN106662524A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201580024410.2

申请日：2015-07-23

Applicant: 国立大学法人德岛大学 ,  株式会社富士金

Inventor： 出口祥啓 ,  永濑正明 ,  池田信一 ,  山路道雄 ,  药师神忠幸

IPC: G01N21/15 ,  G01N21/03 ,  G01N21/05 ,  G01N21/27 ,  G01N21/3504

CPC classification number: G01N21/27 ,  G01N21/05 ,  G01N21/15 ,  G01N2021/151 ,  G01N2201/08

Abstract: 本发明提供一种能够缩小或者消除光入射部附近的气体滞留部、从而减少有机金属材料在光入射部的堆积的在线型浓度计量装置。该在线型浓度计量装置具有：形成有气体流路(5)的测定单元主体(15)、与测定单元主体(15)连接且具有窗部件(4)的光入射部(3)、和与测定单元主体(15)连接且具有窗部件(6)的受光部(8)，气体流路(5)具有：在光入射部(3)的窗部件(4)和受光部(8)的窗部件(6)之间形成为直线状而成为光路的光路用气体流路部(5a)、从形成于测定单元主体(15)的气体流入口(5B1)连通至光路用气体流路部(5a)的第一连通部(5B)、和从形成于测定单元主体(15)的气体流出口(5C)连通至光路用气体流路部(5a)的第二连通部(5C)，第一连通部(5B)从气体流入口(5B1)向着光入射部(3)的窗部件(4)倾斜延伸。