公开(公告)号：CN100350632C

公开(公告)日：2007-11-21

申请号：CN03110353.7

申请日：2003-04-09

Applicant: 株式会社半导体能源研究所

Inventor： 山崎舜平 ,  村上智史 ,  早川昌彦 ,  加藤清 ,  纳光明

IPC: H01L31/12 ,  H01L27/00 ,  H01L21/00 ,  G09F9/30 ,  G09G3/00

CPC classification number: H01L27/1248 ,  G02F1/136227 ,  H01L27/12 ,  H01L27/1214 ,  H01L27/124 ,  H01L27/1244 ,  H01L27/1255 ,  H01L27/13 ,  H01L27/3246 ,  H01L27/3276 ,  H01L33/52 ,  H01L51/5237 ,  H01L51/5253

Abstract: 本发明的目的是提供一种具有层间绝缘膜的半导体显示器件，此层间绝缘膜能够获得表面平整性同时控制成膜时间，能够控制以清除潮气为目的的热处理的处理时间，并能够防止层间绝缘膜中的潮气释放到邻近层间绝缘膜的膜或电极。形成了包含氮且比有机树脂更不容易透过潮气的无机绝缘膜，以便覆盖TFT。接着，包含光敏丙烯酸树脂的有机树脂膜被涂敷到有机绝缘膜，且有机树脂膜被局部曝光以便开口。然后，形成包含氮且比有机树脂更不容易透过潮气的无机绝缘膜，以便覆盖开口的有机树脂膜。然后，在有机树脂膜的开口部分中，用腐蚀方法对栅绝缘膜和二个包含氮的无机绝缘膜层开口，以便暴露TFT的有源层。

公开(公告)号：CN100350628C

公开(公告)日：2007-11-21

申请号：CN03110347.2

申请日：2003-04-09

Applicant: 株式会社半导体能源研究所

Inventor： 村上智史 ,  早川昌彦 ,  山崎舜平

IPC: H01L29/786 ,  H01L27/12 ,  G02F1/133 ,  G09F9/30 ,  G09G3/00

CPC classification number: H01L27/1248 ,  G02F1/133512 ,  G02F1/1337 ,  G02F1/1339 ,  G02F1/1341 ,  G02F1/13439 ,  G02F1/136213 ,  G02F1/136227 ,  G02F1/136286 ,  G02F1/1368 ,  G02F2201/123 ,  H01L23/3171 ,  H01L23/49827 ,  H01L27/1218 ,  H01L27/124 ,  H01L27/3248 ,  H01L27/3258 ,  H01L27/3276 ,  H01L29/41733 ,  H01L29/42384 ,  H01L29/66757 ,  H01L29/66765 ,  H01L29/786 ,  H01L29/78606 ,  H01L29/78651 ,  H01L2251/5315 ,  H01L2251/5338 ,  H01L2924/0002 ,  Y10S438/95 ,  H01L2924/00

Abstract: 提供一种半导体元件，包括：具有有源层的半导体、与半导体接触的栅极绝缘膜、通过栅极绝缘膜与有源层相对的栅电极、在有源层上形成的第一氮化物绝缘膜、在第一氮化物绝缘膜上形成的光敏有机树脂膜、在光敏有机树脂膜上形成的第二氮化物绝缘膜，以及在第二氮化物绝缘膜上提供的布线，其中在光敏有机树脂膜中提供第一开口部分，第一开口部分的内壁表面由第二氮化物绝缘膜覆盖，在包含栅极绝缘膜、第一氮化物绝缘膜和位于第一开口部分内的第二氮化物绝缘膜的叠层膜中提供第二开口部分，并且半导体通过第一开口部分和第二开口部分与布线连接。

公开(公告)号：CN1728900A

公开(公告)日：2006-02-01

申请号：CN200510087905.8

申请日：2005-07-29

Applicant: 株式会社半导体能源研究所

Inventor： 山崎舜平 ,  村上智史 ,  仓田求 ,  畑宏幸 ,  一条充弘 ,  大槻高志 ,  安西彩 ,  坂仓真之

IPC: H05B33/12 ,  H05B33/08 ,  H05B33/14 ,  H05B33/10

CPC classification number: H04N5/655 ,  G06F3/02 ,  H01L27/12 ,  H01L27/1214 ,  H01L27/1222 ,  H01L27/124 ,  H01L27/1248 ,  H01L27/3244 ,  H01L27/3258 ,  H01L27/3276 ,  H01L33/60 ,  H01L51/0005 ,  H01L51/5246 ,  H01L51/56 ,  H01L2224/4847 ,  H01L2227/323 ,  H01L2251/5323 ,  H04N5/642

Abstract: 本发明提供一种以高产率、低成本制造高度可靠的显示器件的方法。根据本发明，由在接触中的开口引起的台阶被一绝缘层覆盖以降低台阶，并且将其处理成柔和的形状。布线等被形成为与绝缘层接触，因此布线等的覆盖增强。此外，由污染比如水引起的光发射元件的劣化通过以密封材料密封在显示器件中包括具有水渗透性的有机材料的层来防止。由于密封材料形成在显示器件中的驱动器电路区的一部分中，因此可以使显示器件的帧边框变窄。

公开(公告)号：CN1554976A

公开(公告)日：2004-12-15

申请号：CN200410063624.4

申请日：2000-03-05

Applicant: 株式会社半导体能源研究所

Inventor： 山崎舜平 ,  小山润 ,  村上智史 ,  田中幸夫

IPC: G02F1/136 ,  H01L29/786

CPC classification number: G09G3/3655 ,  G02F1/13454 ,  G02F1/136209 ,  G02F1/136227 ,  G09G3/3614 ,  G09G3/3688 ,  G09G2300/0876 ,  G09G2310/0283 ,  G09G2310/0286 ,  G09G2310/0289 ,  H01L27/1248 ,  H01L29/78633

Abstract: 一种有源矩阵型显示器，包括：一衬底；形成于衬底上的多条源极信号线和多条栅极信号线；形成于衬底上的多个象素薄膜晶体管；电连接到多个象素薄膜晶体管上的多个象素电极；形成于衬底上的屏蔽膜(黑底)，该屏蔽膜是浮置的；及置于象素电极和屏蔽膜之间的电介质，其中将其极性在每条源极信号线中都进行反相的信号加到源极信号线上，且施加到相应源极信号线上的信号极性每一帧周期反相一次。最好在屏蔽膜和公共电极之间形成一耦合电容器。

公开(公告)号：CN1452142A

公开(公告)日：2003-10-29

申请号：CN03110452.5

申请日：2003-04-15

Applicant: 株式会社半导体能源研究所

Inventor： 早川昌彦 ,  村上智史 ,  山崎舜平 ,  秋元健吾

IPC: G09F9/30 ,  G02F1/133 ,  G09G3/00 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L33/44 ,  H01L27/12 ,  H01L27/1248 ,  H01L27/1288 ,  H01L29/78621 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 为了达到提高显示器件运行功能的稳定性和扩大电路设计中的设计裕度，在包括具有半导体元件和配备有连接到衬底上半导体元件的象素电极的多个象素的象素部分的显示器件中，半导体元件包括光敏有机树脂膜作为层间绝缘膜，提供在光敏有机树脂膜中的第一开口部分的内壁表面被第二绝缘氮化物膜覆盖，提供在无机绝缘膜中的第二开口部分被提供在第一开口部分的内侧上，半导体和布线通过第一开口部分和第二开口部分被连接，且象素电极被提供在有源层下侧的层上。