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公开(公告)号:CN105102668A
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201480017634.6
申请日:2014-03-24
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/048 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种即使在大型化的情况下,也能够同时满足高精细化和轻质化二者,且可以在保持强度的同时形成高精细的蒸镀图案的蒸镀掩模;及可简便制造该蒸镀掩模的蒸镀掩模准备体或蒸镀掩模的制造方法;以及可制造高精细的有机半导体元件的制造方法。将设有缝隙(15)的金属掩模(10)、和在与缝隙(15)重合的位置设有与要蒸镀制作的图案相对应的开口部(25)的树脂掩模(20)叠层,金属掩模(10)具有设有缝隙(15)的一般区域(10a)、和壁厚厚于该一般区域的厚壁区域(10b)。
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公开(公告)号:CN104053812B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201380005281.3
申请日:2013-01-11
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: H01L51/0011 , C23C14/042 , C23C14/24 , C23C16/042 , H01L51/56 , Y10T29/49826
Abstract: 本发明提供一种即使在大型化的情况下也能够满足高精细化和轻量化二者的拼版蒸镀掩模的制造方法。配置于框体内的开口空间的多个掩模分别由设有缝隙的金属掩模、和位于该金属掩模的表面且纵横配置多列与要蒸镀制作的图案对应的开口部的树脂掩模构成,在其形成上,在所述框体上安装了各金属掩模及用于制作所述树脂掩模的树脂薄膜材料之后,通过对所述树脂薄膜材料进行加工,纵横地形成多个与要蒸镀制作的图案对应的开口部,制造上述构成的拼版蒸镀掩模。
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公开(公告)号:CN105027676A
公开(公告)日:2015-11-04
申请号:CN201480011841.0
申请日:2014-03-28
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: H01L51/001 , C23C16/458 , H01L51/0024 , H01L51/0026 , H01L51/0029 , H01L51/5228 , H01L51/5234 , H01L51/525 , H01L51/56
Abstract: 提供元件制造方法以及元件制造装置,高效率地制造元件。首先,准备包含基材(41)以及沿基材(41)的法线方向延伸的突起部(44)的中间制品(50)。接着,在调整为真空环境的层叠室(20a)中将盖材(25)从突起部(44)侧连续层叠到中间制品(50)上形成层叠体(51)。此后,将层叠体(51)从层叠室(20a)向调整为比真空环境压力高的第1压力的第1压力室(21a)输送。接着,将层叠体(51)从第1压力室(21a)向调整为真空环境的分离室(22a)输送,将层叠体(51)分离为中间制品(50)以及盖材(25)。在通过与输送层叠体(51)的方向垂直的面将层叠体(51)假想地截断的情况下的层叠体(51)的截面上,中间制品(50)与盖材(25)之间的空间从周围密闭。
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公开(公告)号:CN103843165B
公开(公告)日:2015-06-24
申请号:CN201280048222.X
申请日:2012-09-25
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: H01L51/0084 , C09D11/037 , H01L51/0005 , H01L51/0039 , H01L51/0043 , H01L51/0081 , H01L51/0085 , H01L51/0545 , H01L51/105 , H01L51/5012 , H01L51/5056 , H01L51/5088 , H01L2251/308
Abstract: 本发明提供能够利用溶液涂布法形成空穴注入传输层且能够提高器件的寿命的空穴注入传输层用材料及其制造方法、能够利用溶液涂布法形成空穴注入传输层且能够提高器件的寿命的空穴注入传输层形成用油墨及其制造方法、以及高寿命的器件及其制造方法。本发明的空穴注入传输层用材料为钼络合物与下述化学式(1)所示的化合物的反应产物。(化学式(1)中,R1、R2、X1和X2如说明书的记载所示。)。
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公开(公告)号:CN104053812A
公开(公告)日:2014-09-17
申请号:CN201380005281.3
申请日:2013-01-11
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: H01L51/0011 , C23C14/042 , C23C14/24 , C23C16/042 , H01L51/56 , Y10T29/49826
Abstract: 本发明提供一种即使在大型化的情况下也能够满足高精细化和轻量化二者的拼版蒸镀掩模的制造方法。配置于框体内的开口空间的多个掩模分别由设有缝隙的金属掩模、和位于该金属掩模的表面且纵横配置多列与要蒸镀制作的图案对应的开口部的树脂掩模构成,在其形成上,在所述框体上安装了各金属掩模及用于制作所述树脂掩模的树脂薄膜材料之后,通过对所述树脂薄膜材料进行加工,纵横地形成多个与要蒸镀制作的图案对应的开口部,制造上述构成的拼版蒸镀掩模。
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公开(公告)号:CN100514706C
公开(公告)日:2009-07-15
申请号:CN200610101540.4
申请日:2006-07-11
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: H05B33/10 , B41M1/10 , H01L51/0004 , H01L51/56
Abstract: 用于有机发光器件的发光层和/或空穴注入层的形成的凹版,具有多个条纹形状的单元和位于各单元间的非单元部,各单元的印刷方向的宽度b和与印刷方向正交方向的宽度a的比b/a为0.6以上,各单元的单元长度L和非单元部长度S的比L/S为0.8~100的范围。前述单元长度L为10~500μm的范围,前述非单元部长度S为2~500μm的范围,版深为20~200μm的范围。
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公开(公告)号:CN118442863A
公开(公告)日:2024-08-06
申请号:CN202410662233.1
申请日:2020-09-04
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: F28D15/02 , F28D15/04 , H01L23/427 , H05K7/20
Abstract: 本申请发明涉及一种蒸发室。蒸发室具有多个第1流路和设置于相邻的第1流路之间的第2流路,并且具备:具备成为第1流路和第2流路的槽的层;以及,层叠于槽的内侧且构成第1流路的内表面和第2流路的内表面的层。
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公开(公告)号:CN112267091B
公开(公告)日:2023-02-17
申请号:CN202010959943.2
申请日:2016-06-29
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供蒸镀掩模的制造方法,其包括:准备在用于得到树脂掩模的树脂板的一侧的面上设置有金属掩模、在该树脂板的另一侧的面上设置有以JIS Z‑0237:2009为基准的剥离强度为0.0004N/10mm以上且低于0.2N/10mm的保护片的蒸镀掩模准备体,相对于蒸镀掩模准备体,从金属掩模侧向树脂板照射激光,在该树脂板形成与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部,从形成有与待蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部的树脂掩模将保护片剥离。
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公开(公告)号:CN114959565A
公开(公告)日:2022-08-30
申请号:CN202210442665.2
申请日:2017-05-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明的蒸镀掩模将具有与蒸镀制作的弯曲对应的多个树脂掩模开口部的树脂掩模和具有金属掩模开口部的金属掩模以树脂掩模开口部与金属掩模开口部重合的方式层叠而成,金属掩模在树脂掩模的不与树脂掩模开口部重合的位置具有部分降低金属掩模的刚性的1个或多个刚性调整部。
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