一种具有自对准反馈栅的晶体管及其制备方法

    公开(公告)号:CN110534563B

    公开(公告)日:2020-09-18

    申请号:CN201910642944.1

    申请日:2019-07-16

    Abstract: 本发明公开了一种具有自对准反馈栅结构的薄膜晶体管及制备方法。该方法通过在常规栅结构后进行赝侧墙层制备,用赝侧墙层作为自对准掩膜来实现对反馈栅介质层和反馈栅金属层的图形化,最后清洗掉赝侧墙层,并进行源漏金属电极的制备,源漏电极和反馈栅金属电极物理相连接和电学相连接。上述过程形成具有反馈栅结构的薄膜晶体管。本发明的方法提供了更精确尺寸的自对准反馈栅工艺,同时实现了漏端金属电极和反馈栅金属电极的材料、主栅介质和反馈栅介质的厚度和种类的灵活调整。

    一种双栅小带隙半导体晶体管及其制备方法

    公开(公告)号:CN110148630A

    公开(公告)日:2019-08-20

    申请号:CN201910327545.6

    申请日:2019-04-23

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明提出一种双栅小带隙半导体晶体管及其制备方法,利用将电源电压反馈到辅栅,从而在漏端附近形成一个被钳位的方形势垒,使得大偏压下工作时能很好地抑制漏端少子反向隧穿,与此同时电源端的电压将保证在小偏压下漏端依然保持开启状态,减小正向导电势垒,故能在保持无掺杂小带隙半导体顶栅器件显著抑制双极性的同时保证良好的开态,增大开关比降低功耗的同时保持器件以及电路的高性能,同时保证没有在电路中另外增加其他的工作电源,适合在超大规模集成电路中使用。

    碳纳米管三维鳍状场效应晶体管及其制备方法

    公开(公告)号:CN104979402B

    公开(公告)日:2018-05-29

    申请号:CN201510246215.6

    申请日:2015-05-14

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明提供了一种碳纳米管三维鳍状场效应晶体管及其制备方法,该方法将碳纳米管平行阵列材料自组装在三维鳍状绝缘衬底表面,有效增加了单位器件宽度上碳纳米管的数目,从而显著增大了碳纳米管晶体管器件的驱动电流。与常规平面碳纳米管器件相比,碳纳米管三维鳍状场效应晶体管在驱动能力,性能均一性,以及集成度方面有显著优势。

    借助弹性材料泊松比提高碳纳米管平行阵列密度的方法

    公开(公告)号:CN104229770B

    公开(公告)日:2016-09-07

    申请号:CN201410447621.4

    申请日:2014-09-04

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明公开了一种借助弹性材料泊松比提高碳纳米管平行阵列密度的方法。首先将基片片上生长的碳纳米管平行阵列,转移到弹性材料上,如聚甲基丙烯酸甲酯、硅橡胶或聚酯等其他弹性材料;接着沿着碳纳米管延伸的方向拉伸所述的弹性材料,使其在垂直于碳纳米管延伸方向上发生收缩,从而获得高密度碳纳米管;最后将该膜上的碳纳米管平行阵列转移到目标基片上。本发明的方法简单实用,效率高,成本低,可制得高密度高质量的纯半导体性碳纳米管平行阵列。

    一种有机无机杂化钙钛矿材料的制备方法及新应用

    公开(公告)号:CN105895916A

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201610082123.3

    申请日:2016-02-05

    Applicant: 北京大学

    CPC classification number: H01M4/60 H01M4/139 H01M10/0525

    Abstract: 本发明公开了一种有机无机杂化钙钛矿材料的制备方法及新应用,首次将有机无机杂化钙钛矿材料成功应用到锂离子电池中,实现了充放电功能,该材料作为锂离子电池电极材料使用时,不仅容量大,循环次数多,而且可以快速充放电。同时首次采用水热法成功制备出一系列有机无机钙钛矿材料,提供了一种大批量、低成本制备有机无机杂化钙钛矿材料的方法,采用此种方法合成的钙钛矿材料,不仅工艺简单、成本低,便于产业化,而且利用这种方法合成的钙钛矿材料可以方便调节其结构形貌,这样扩展了此种材料的应用领域。

    一种提高碳纳米管平行阵列密度的方法

    公开(公告)号:CN103964413B

    公开(公告)日:2016-04-27

    申请号:CN201410154960.3

    申请日:2014-04-17

    Applicant: 北京大学

    CPC classification number: C01B31/0253 B82Y40/00 C01B32/168 H01L25/00

    Abstract: 本发明公开了一种在转移碳纳米管的过程中同时提高其密度的方法。首先将基片上生长的碳纳米管平行阵列,转移到可沿单一方向收缩的伸缩膜上,如硅橡胶、聚酯、形状记忆合金等具有收缩性的材料;接着沿着垂直于碳纳米管延伸的方向收缩此膜,提高碳纳米管平行阵列的密度;最后利用化学方法将该膜上的碳纳米管平行阵列转移到目标基片上。本发明的方法效率高,成本低,得到高质量高密度的碳纳米管平行阵列,成功解决现有碳纳米管转移的难题。

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