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公开(公告)号：CN113722697A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202110568923.7
申请日：2021-05-25
Applicant: 信越化学工业株式会社 , 国立大学法人东北大学
Abstract: 本发明提供一种个体认证用结构体、其制造方法以及个体认证方法。具体提供一种个体认证用结构体，其中在合成石英玻璃基板表面部分的至少一部分上形成包括由合成石英玻璃形成的多个纳米柱的柱图案区域。在柱图案区域中，如通过纳米压痕法测量的，纳米柱具有35至100GPa的压痕弹性模量，并且纳米柱塑性变形。
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公开(公告)号：CN112740426A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN201980062152.5
申请日：2019-08-30
Applicant: 协立化学产业株式会社 , 信越化学工业株式会社
IPC: H01L33/56 , B22F1/00 , B22F1/02 , B22F3/02 , B22F9/00 , B23K35/26 , C22C12/00 , C22C13/02 , H01B1/00 , H01B1/22 , B22F9/24
Abstract: 本发明的目的是提供一种可以在半固化状态处理并且可以获得具有优异的接合强度和密封性能的烧结体的密封用组合物。该密封用组合物包括焊料粉末；被覆银颗粒，该被覆银颗粒包括银核颗粒和设置在银核颗粒表面上的被覆剂；以及溶剂，其中，被覆银颗粒的烧结温度(T2)和溶剂的沸点(T3)满足下式：T2≤T3。
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公开(公告)号：CN110752188A
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201910663690.1
申请日：2019-07-23
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃空腔件、合成石英玻璃空腔盖、光学装置封装体和制造方法。具体地，将合成石英玻璃空腔件(1)连接至其上安装有光学装置(7)的基材(6)，使得该装置可容纳在空腔件中。由与装置(7)相对的顶表面(2a)和侧表面(3a)构成的内表面限定空腔件(1)。顶表面(2a)是镜面表面并且侧表面(3a)是粗糙表面。
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公开(公告)号：CN108376673A
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201810093784.5
申请日：2018-01-31
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C27/046 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03C3/06 , C03C17/10 , C03C17/40 , C03C21/008 , C03C27/00 , C03C27/048 , C03C2217/256 , C03C2217/268 , C03C2217/27 , C03C2217/77 , C04B37/045 , C04B2235/5454 , C04B2237/125 , C04B2237/343 , C04B2237/366 , H01L23/291 , H01L21/56
Abstract: 本发明涉及合成石英玻璃盖前体、合成石英玻璃盖及其制备方法。通过以下方法制备用于光学器件封装的合成石英玻璃盖：配置包括合成石英玻璃基底(1)和金属膜或金属化合物膜(2)的合成石英玻璃盖前体，和在金属膜或金属化合物膜(2)上形成金属系粘结层(3)。该金属膜或金属化合物膜含有Ag、Bi和选自P、Sb、Sn和In中的至少一种元素。
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公开(公告)号：CN106242311A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610402325.1
申请日：2016-06-08
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C03C17/34
Abstract: 本发明涉及合成石英玻璃基板的制备方法。通过提供合成石英玻璃块体、用在双折射测定的波长下具有至少99.0％/mm的透射率的液体涂布该块体的两个相对表面、通过使光进入一涂布表面并且从另一涂布表面离开从而测定该块体上的双折射分布、和基于测定的双折射分布将该块体分类为可接受的组或不可接受的组，从而制备合成石英玻璃基板。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102436136B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201110218545.6
申请日：2011-05-24
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03C19/00 , C03C2201/42 , C03C2204/08 , G03F1/24 , G03F1/60 , G03F7/0002 , Y10T428/24355
Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃衬底及其制备方法。该衬底具有包括132mm2中央表面区域的6平方英寸的表面。132mm2的中央表面区域具有最多50nm的平整度。通过从148mm2中央表面区域减去132mm2中央表面区域得到的框架区域具有最多150nm的平整度。
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公开(公告)号：CN102328265B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201110259674.X
申请日：2011-06-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: B24B29/02
Abstract: 本发明涉及用于制造电子级合成石英玻璃衬底的方法。具体地，通过机加工合成石英玻璃衬底以形成凹槽、沟道或台阶，和通过旋转抛光工具的加工部抛光凹槽、沟道或台阶的底和侧表面至镜面光洁度，同时在独立的恒定压力下保持加工部与底和侧表面接触，制造电子级合成石英玻璃衬底。
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公开(公告)号：CN105300663A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510320670.6
申请日：2015-06-12
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 合成石英玻璃衬底，其通过以下制备：提供合成石英玻璃砖；用液体涂覆所述砖的任意表面和相对表面，所述液体在双折射测量的波长下具有至少99.0％/mm的透射率；通过使光进入一个经涂覆的表面并离开另一经涂覆的表面测量所述砖的双折射，和基于所测量的双折射值，将所述砖分类为可接受的组或不可接受的组。
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公开(公告)号：CN102516872B
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201110286406.7
申请日：2011-07-26
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: B24B1/00 , B24B37/044 , C03C19/00 , C09G1/02
Abstract: 一种包括胶原衍生物和胶体溶液的抛光浆料，其有效抛光合成石英玻璃基板。其防止具有可被高灵敏度缺陷探测仪检测到的尺寸的缺陷的形成。
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公开(公告)号：CN101804589B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201010173034.2
申请日：2010-01-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: B24B7/241 , B24B13/0018 , B24B41/053
Abstract: 本发明公开了一种加工半导体用人造石英玻璃基板的方法，其中使小型旋转式加工工具的抛光部件接触人造石英玻璃基板的表面，接触面积为1～500mm2，并且旋转的同时在基板表面上扫描移动，从而抛光基板表面。当利用这种方法制造人造石英玻璃，如IC等制造中重要的光刻用光掩模基板时，可以比较容易和廉价地得到具有极好平整度并且甚至能用于EUV光刻的基板。
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