公开(公告)号：CN105431388B

公开(公告)日：2017-12-22

申请号：CN201480045062.2

申请日：2014-07-22

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： S.奥赫斯 ,  K.贝克 ,  S.托马斯

IPC: C03B19/14 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06

CPC classification number: C03B19/1461 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/00 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/46 ,  C03C2203/52 ,  C03C2204/00 ,  G03F1/52 ,  G03F1/60

Abstract: 存在于掺杂Ti的石英玻璃中的Ti3+离子导致该玻璃的棕色着色，由此使得玻璃的检测变得困难。已知通过足够高含量的OH基团确保Ti‑掺杂石英玻璃中的Ti3+离子减少，有利于Ti4+离子，由此发生伴随着氢向外扩散的内氧化，或在低OH基团含量时，在玻璃化前需要氧气处理，所述氧气处理需要高处理温度和专用耐腐蚀炉并因此昂贵。为提供成本有利的生产在小于120重量ppm的羟基含量的同时在400纳米至1000纳米波长范围内具有至少70%的内透射率（10毫米样品厚度）的Ti‑掺杂石英玻璃的方法，由基于火焰水解灰料沉积法出发本发明建议，在玻璃化之前对所述TiO2‑SiO2灰料体施以包括用氮氧化物处理的调整处理。如此制得的Ti‑掺杂石英玻璃的特征为Ti3+/Ti4+的比率

公开(公告)号：CN102765871B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201210228494.X

申请日：2012-04-11

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 毎田繁 ,  大塚久利 ,  上田哲司 ,  江崎正信

IPC: C03B20/00

CPC classification number: G03F1/24 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1423 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/64 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C4/08 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/42 ,  G03F1/50

Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃及制造方法。在掺杂二氧化钛的石英玻璃的EUV反射表面上，在将反射表面的中心处的原点(O)连接到双折射测量点(A)的直线与测量点(A)处的双折射快轴之间的角度(θ)具有大于45度的平均值。由于双折射的快轴是以同心的方式分布，因此得到具有高平整度的掺杂二氧化钛的石英玻璃衬底，该衬底适用于EUV光刻中。

公开(公告)号：CN104703929B

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201380048244.0

申请日：2013-09-12

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 吉成俊雄

IPC: C03B8/04 ,  C03B20/00 ,  G03F1/60

CPC classification number: C03B19/1415 ,  C03B11/08 ,  C03B19/1469 ,  C03B23/0493 ,  C03B32/005 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/70 ,  C03B2207/80 ,  C03B2215/44 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  G03F1/60

Abstract: 一种SiO2-TiO2系玻璃的制造方法，其通过直接法在靶上制造SiO2-TiO2系玻璃，其中，该制造方法包括坯锭成长工序，即将硅化合物和钛化合物供给至氢氧火焰中进行火焰水解，由此在靶上成长出规定长度的SiO2-TiO2系玻璃坯锭，该坯锭成长工序具有：第1工序，其中，随着SiO2-TiO2系玻璃坯锭的成长而缓慢地增加钛化合物的供给量相对于硅化合物的供给量的比率直到达到规定的值；和第2工序，其中，在第1工序中比率达到规定的值后，在将比率保持在恒定的情况下使SiO2-TiO2系玻璃坯锭成长。

公开(公告)号：CN102849929B

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201210297275.7

申请日：2009-07-07

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 每田繁 ,  大塚久利

IPC: C03B20/00 ,  G03F7/00

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03B23/0026 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/46 ,  C03C2203/52 ,  Y10T428/31616

Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃元件及制备方法。其中，掺杂二氧化钛的石英玻璃元件具有反射至多70nm波长的EUV光的表面，其中该表面中的折射率分布在该元件的中心80％区域内仅具有一个极点。该掺杂二氧化钛的石英玻璃元件具有高精度水平的表面且因此可形成为平整度和热膨胀性能得到改善的EUV光刻法光掩模衬底。

公开(公告)号：CN105271649A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201510427428.9

申请日：2015-07-20

Applicant: 贺利氏石英玻璃有限两合公司

Inventor： 马尔特·斯威林 ,  马丁·特罗姆尔 ,  斯特芬·兹瓦格

IPC: C03B20/00 ,  C03C3/06

CPC classification number: C03B19/066 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1461 ,  C03B23/045 ,  C03B23/095 ,  C03B23/099 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/01453 ,  C03B37/0146 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/34 ,  C03C2201/36 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/46

Abstract: 本发明涉及生产掺杂石英玻璃的方法。此外，本发明涉及根据所述方法能够获得的石英玻璃及其在光学领域中的应用，例如用作光学组件。

公开(公告)号：CN102934030B

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201180022451.X

申请日：2011-05-03

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： J.凯乐 ,  W.克劳斯 ,  M.格哈德

IPC: G03F7/20 ,  C03B32/02 ,  C03C3/06 ,  C03C10/00

CPC classification number: G02B5/08 ,  C03B19/06 ,  C03B19/09 ,  C03C3/06 ,  C03C10/00 ,  C03C14/00 ,  C03C2201/42 ,  G03F7/70891

Abstract: 对于用于EUV光刻的反射镜的制造，建议基底在15℃的温差ΔT上具有不大于10ppb的平均相对纵向热膨胀，并在20℃和40℃之间的范围内具有过零温度。为了该目的，至少选择一个第一材料和一个第二材料，该第一材料和一个第二材料具有低热膨胀系数和作为温度函数的相对热膨胀的相反斜率，并且通过混合和粘合这些材料来制造基底。

公开(公告)号：CN104386911A

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：CN201410631998.5

申请日：2014-11-11

Applicant: 湖北新华光信息材料有限公司

Inventor： 杨爱清 ,  霍金龙 ,  胡向平 ,  赵仲勋 ,  李建新

IPC: C03C3/068

CPC classification number: C03C3/068 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/3417 ,  C03C2201/36 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/42 ,  C03C2201/50 ,  C03C2201/54

Abstract: 本发明提供一种以SiO2、B2O3、BaO、La2O3为主要成分的，不含铅、钍、镉、铋、砷、氟的镧火石光学玻璃。折射率(nd)在1.71～1.73之间，阿贝数(υd)在46～49之间。具有析晶性能好、适宜生产的特点。按照GB/T7962.12-2010的方法测试，对10mm厚的试样，其内部透过率τ10在360nm处可达85％以上。玻璃着色度λ80/λ5可达到380/330以下。玻璃比重在4.20g/cm3以下。按照JB/T10576-2006的方法测试，其耐水性(DW)为1级，耐酸性(DA)为3级以上。以化合物的质量百分比含量计，所述光学玻璃包含：SiO2：21～24％、B2O3：8～12％、La2O3：15～20％、ZrO2：4～6％、BaO：30～35％、SrO：4～7％、Li2O：0.1～2％、Nb2O5：2～6％、TiO2：0～0.5％、ZnO：1～4％、Sb2O3：0～0.5％，以上成分总含量为100％。

公开(公告)号：CN104326646A

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：CN201410571933.6

申请日：2014-10-23

Applicant: 中国建筑材料科学研究总院

Inventor： 邵竹锋 ,  饶传东 ,  向在奎 ,  符博 ,  聂兰舰 ,  王宏杰 ,  王慧 ,  王蕾 ,  刘飞翔 ,  王玉芬

IPC: C03B20/00 ,  C03C3/06

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1423 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44

Abstract: 本发明公开了一种掺杂钛的石英玻璃及其制备方法、制备装置，该制备方法包括：将含硅原料和含钛原料放入以氢氧火焰为反应能源的燃烧器中，采用立式化学气相沉积法制备低膨胀石英玻璃砣，将石英玻璃砣装入高温均化炉中均化处理，再经过冷加工制备得到掺杂钛的石英玻璃。该制备装置包括，四氯化硅控制系统和四氯化钛控制系统分别连接混料瓶，混料瓶氢气控制系统和氧气控制系统分别连接燃烧器，燃烧器位于燃烧炉的炉膛内，基础杆一端设有托盘，托盘位于炉膛内，所述基础杆另一端连接旋转机构，旋转机构连接升降系统，炉膛连接烟囱。本发明能够精确的控制掺杂数量，因此能够准确控制石英玻璃的膨胀系数。

公开(公告)号：CN103003054B

公开(公告)日：2014-11-19

申请号：CN201180034592.3

申请日：2011-07-06

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  宫坂顺子 ,  中西博志

IPC: B29C59/02 ,  C03C19/00 ,  B29C33/38 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076

CPC classification number: B29D11/00769 ,  B24B9/10 ,  B29C59/002 ,  B29C59/026 ,  C03B19/14 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C19/00 ,  C03C2201/42 ,  C03C2204/08 ,  G03F7/0002 ,  Y10T428/24355

Abstract: 本发明涉及一种压印模具用含TiO2石英玻璃基材，具有主表面和侧面，其中，所述侧面的算术平均粗糙度(Ra)为1nm以下，所述侧面的10μm至1mm波长范围的凹凸的均方根(MSFR_rms)为10nm以下。

公开(公告)号：CN102056852B

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN200880129630.1

申请日：2008-06-30

Applicant: 东洋玻璃株式会社

Inventor： 一濑智美 ,  阿知波彻

IPC: C03B37/016 ,  C03B8/02

CPC classification number: C03B37/016 ,  C03B19/12 ,  C03B37/027 ,  C03B2203/26 ,  C03C1/006 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/26

Abstract: 一种GRIN透镜的制造方法，用溶胶-凝胶法进行，其课题是，容易进行调和湿凝胶时的操作，防止烧结时母材的开裂和拉丝时的发泡。其解决手段为，由以硅的醇盐、掺杂剂的醇盐和硼的醇盐为主成分的醇溶液制作湿凝胶，在对其进行浸出后，进行干燥制成干凝胶，再进行烧结、拉丝得到GRIN透镜，由此解决了上述课题。