公开(公告)号：CN102602920B

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：CN201210087953.7

申请日：2012-03-29

Applicant: 南京大学

Inventor： 张豹山 ,  黄琪惠 ,  唐东明 ,  杨燚

IPC: C01B31/04 ,  C23C16/16

Abstract: 铁包覆石墨烯纳米复合材料的制备方法，包括以下步骤：(1)将氧化石墨在高温下进行热膨胀剥离处理，得到多层石墨烯；(2)将多层石墨烯与有机溶剂放入四口烧瓶，机械搅拌混合均匀；(3)在不断搅拌保护气氛下，将五羰基铁蒸气导入混合溶液中进行热分解；(4)热分解过程在回流冷凝过程中进行；(5)反应完毕后，氮气保护冷却至室温，用磁铁将产物分离，然后采用有机溶剂清洗，氮气保护下干燥后得到铁包覆石墨烯纳米复合材料。本发明能够在石墨烯片层上均匀包覆尺寸为20-50nm的Fe纳米颗粒。本发明工艺简单可控，价格低廉，有利于工业生产。

公开(公告)号：CN101801988B

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN200880106411.1

申请日：2008-07-24

Applicant: 西格玛-奥吉奇公司

Inventor： R·坎卓利亚 ,  R·奥迪德拉 ,  N·宝格

IPC: C07F15/00 ,  C07F15/02 ,  C23C16/16 ,  C23C16/18 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/45525 ,  C07F17/02 ,  C23C16/16 ,  C23C16/18

Abstract: 提供了有机金属前体。所述前体在结构上对应于式I：Cp(R)nM(CO)2(X)，其中M是Ru、Fe或O s；R是C1-C10-烷基；X是C1-C10-烷基；且n是1、2、3、4或5。所述前体能用于化学相沉积过程，例如原子层沉积(ALD)和化学蒸气沉积(CVD)。

公开(公告)号：CN102717066A

公开(公告)日：2012-10-10

申请号：CN201210180760.6

申请日：2012-06-05

Applicant: 金川集团股份有限公司

Inventor： 王芳镇 ,  肖冬明 ,  李登瑞 ,  王良 ,  甘振君 ,  邓伟峰 ,  徐向荣

IPC: B22F1/02 ,  C23C16/16

Abstract: 一种制备铁包覆粉的方法，涉及一种羰基气相沉积金属工艺制备含铁复合粉的方法。其特征在于其制备过程是将羰基铁气体从分解器底部进入，在分解器内进行分解反应，在振动的核心物质表面热分解沉积金属铁，制得铁包覆粉。本发明的一种制备铁包覆粉的方法，将热羰基铁气体在一定温度的晶核物质的表面进行热分解沉积金属铁。气相沉积过程中，被包覆晶核物质始终不停的运动，从而实现对被包覆晶核物质的包覆。通过改变被包覆晶核物质的种类，可以生产不同品种的包覆粉。该工艺过程的温度要求较低，被包覆晶核物质具有可触性，设备简单，速度快，无药剂，无废料，金属层的质量高。

公开(公告)号：CN101910459B

公开(公告)日：2012-06-20

申请号：CN200880123403.8

申请日：2008-12-25

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 军司勋男 ,  三好秀典 ,  伊藤仁

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/16 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285

CPC classification number: C23C16/18 ,  C23C16/4488 ,  C23C18/08 ,  H01L21/28556 ,  H01L21/288

Abstract: 本发明提供一种成膜方法，具有：使二价的羧酸金属盐与羧酸反应而生成一价的羧酸金属盐气体的工序；向基板(1)上供给一价的羧酸金属盐气体而沉积一价的羧酸金属盐膜(2)的工序；以及对沉积有一价的羧酸金属盐膜(2)的基板(1)提供能量，将一价的羧酸金属盐膜(2)分解，形成金属膜(3)的工序。

公开(公告)号：CN101542016B

公开(公告)日：2011-08-24

申请号：CN200880000148.8

申请日：2008-02-19

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 五味淳 ,  水泽宁 ,  波多野达夫 ,  原正道 ,  横山敦 ,  多贺敏

IPC: C23C16/16

CPC classification number: C23C16/16 ,  C23C16/4585 ,  C23C16/4586 ,  C23C16/52 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32623 ,  H01J37/32642 ,  H01L21/28562 ,  H01L21/76873

Abstract: 本发明涉及一种成膜方法，其通过向被处理基板的表面上供给羰基金属原料的气相分子，在所述被处理基板表面附近使其分解，而在所述被处理基板的表面上堆积金属膜，设置有在所述被处理基板表面堆积金属层时，使与所述被处理基板外周部分邻接的区域中的所述羰基金属原料优先分解的工序，使得在所述被处理基板外周部附近的气氛中CO浓度局部增大，抑制金属膜在所述外周部的堆积。

公开(公告)号：CN101910459A

公开(公告)日：2010-12-08

申请号：CN200880123403.8

申请日：2008-12-25

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 军司勋男 ,  三好秀典 ,  伊藤仁

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/16 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285

CPC classification number: C23C16/18 ,  C23C16/4488 ,  C23C18/08 ,  H01L21/28556 ,  H01L21/288

Abstract: 本发明提供一种成膜方法，具有：使二价的羧酸金属盐与羧酸反应而生成一价的羧酸金属盐气体的工序；向基板(1)上供给一价的羧酸金属盐气体而沉积一价的羧酸金属盐膜(2)的工序；以及对沉积有一价的羧酸金属盐膜(2)的基板(1)提供能量，将一价的羧酸金属盐膜(2)分解，形成金属膜(3)的工序。

公开(公告)号：CN101012547B

公开(公告)日：2010-11-17

申请号：CN200610156074.X

申请日：2006-12-30

Applicant: 江苏天一超细金属粉末有限公司

Inventor： 高为鑫 ,  王斌 ,  柯尊斌

IPC: C23C16/16 ,  C23C16/02 ,  C23C16/56

Abstract: 本发明公开了一种金刚石、立方氮化硼颗粒表面镀钨、铬、钼的方法及设备，该方法包括以下步骤：首先在加热室(6)对清洁的金刚石、立方氮化硼颗粒预加热，加热温度下限应高于用于镀膜的羰基金属络合物沸点温度，加热温度上限视所需镀膜厚度，以不降低金刚石、立方氮化硼的强度为限；然后将加热的颗粒输送至到带有振动或搅拌器(11)的镀膜室(7)中，通入羰基金属络合物蒸汽镀膜；最后将完成镀膜的金刚石、立方氮化硼颗粒输送至冷却钝化室(8)中冷却、钝化或送入下一轮加热镀膜。所述方法均匀连续地对金刚石、立方氮化硼颗粒实施钨、铬、钼的单层、多层或复合镀膜，使磨料与金属胎体的结合加强，延长了金刚石、立方氮化硼制品的使用寿命。

公开(公告)号：CN101704110A

公开(公告)日：2010-05-12

申请号：CN200910241274.9

申请日：2009-11-27

Applicant: 中国钢研科技集团有限公司 ,  吉林吉恩镍业股份有限公司

Inventor： 李一 ,  朴东鹤 ,  霍静 ,  袁凤艳 ,  李楠 ,  雷福伟 ,  柳学全 ,  唐思琪 ,  石文 ,  孟庆伟

IPC: B22F9/28 ,  C23C16/16

Abstract: 一种片状羰基金属粉末的制备方法，属于粉末冶金技术领域。其工艺步骤为：以固体颗粒为模板，先将固体颗粒模板放入气相沉积反应室，加热至180-450℃，然后通入体积百分比浓度为1％-20％的羰基金属络合物气体，并启动气相沉积反应器的震动装置，使羰基金属络合物在固体颗粒模板表面分解沉积0.5-3小时，接下取出沉积有羰基金属的固体颗粒通过热水溶解去除固体颗粒模板并过滤，然后经干燥得到片状金属粉末。优点在于，工艺简单，片状粉体大小及厚度可控，应用广泛。

公开(公告)号：CN100572591C

公开(公告)日：2009-12-23

申请号：CN200580040103.X

申请日：2005-10-03

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  国际商业机器公司

Inventor： 铃木健二 ,  以马利·盖德帝 ,  格利特·J·莱乌辛克 ,  芬顿·R·麦克非 ,  桑德拉·G·马尔霍特拉

IPC: C23C16/16 ,  H01L21/768

CPC classification number: H01L21/76843 ,  C23C16/16 ,  H01L21/28556 ,  H01L21/76846 ,  H01L21/76873

Abstract: 本发明描述了一种用于通过将羰基金属前驱体(52、152)的蒸汽与CO气体混合来增大以羰基金属前驱体(52、152)形成的金属层的沉积速率的方法(300)。该方法(300)包括在沉积系统(1、100)的处理室(10、110)中提供衬底(25、125)，形成包含羰基金属前驱体蒸汽和CO气体的处理气体，以及将衬底(25、125、400、402)暴露于处理气体以通过热化学气相沉积工艺在衬底(25、125、400、402)上沉积金属层(440、460)。

公开(公告)号：CN100557075C

公开(公告)日：2009-11-04

申请号：CN200580010029.7

申请日：2005-02-15

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  国际商业机器公司

Inventor： 中村和仁 ,  考利·瓦吉达 ,  恩里科·莫斯卡 ,  格特·莱乌辛克 ,  芬顿·R·麦克非 ,  河野有美子 ,  桑德拉·G·马尔霍特拉

IPC: C23C16/16 ,  C23C16/458

CPC classification number: C23C16/4581 ,  C23C16/16

Abstract: 本发明涉及在处理室(10)中的陶瓷衬底加热器(20，600，700)上处理衬底(25，620，720)的方法。所述方法包括：在所述处理室(10)中的所述陶瓷衬底加热器(20，600，700)上形成保护涂层(730，790)，并在所述经涂敷的衬底加热器上处理衬底(25，620，720)。所述方法可以包括将待处理的衬底(25，620，720)提供到所述经涂敷的陶瓷衬底加热器上，通过将所述衬底(25，620，720)暴露于处理气体中对所述衬底(25，620，720)进行处理，并将所述经处理的衬底从所述处理室(10)中取出。