光电型器件及其制造方法
    44.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1007103B

    公开(公告)日:1990-03-07

    申请号:CN86105984

    申请日:1986-08-07

    IPC分类号: H01L31/04 H01L25/04 H01L31/18

    摘要: 一种光电型器件,基片表面上有多个透明电极,这些电极分别连接多个光电转换元上。在每个电极的一端上有一个导电体和一个绝缘体。在基片表面上还有一个非晶硅半导体光敏层,它覆盖着透明电极,导电体和绝缘体。在半导体光敏层上有一个底电极,将激光束从底电极一侧照射到绝缘体上,则使底电极及其下面的半导体光敏层的被照射部分断开。从底电极侧将激光束照射到导电体上,每个光电转换元的底电极通过电体与相邻的透光电极相连通。

    射频收发机中长条型热电与纳米硅薄膜光电集成发电机

    公开(公告)号:CN108470780A

    公开(公告)日:2018-08-31

    申请号:CN201810208027.8

    申请日:2018-03-14

    申请人: 东南大学

    发明人: 廖小平 陈友国

    摘要: 本发明的射频收发机中长条型热电与纳米硅薄膜光电集成发电机,衬底为N型硅片,制作有非晶硅(a-Si)薄膜、绒面和背电结结构,正负电极如图2所示进行连接,然后制备了第一氮化硅隔离层,用于隔离热电光电。热电式发电机的主要单元为热电堆,热电堆是由一系列的P型多晶硅纳米线簇和N型多晶硅纳米线簇构成的,溅射一层金属Ti/Au层作为热电堆电极,串联得到如图3所示的热电堆结构,最后PECVD生长第二氮化硅隔离层,电镀一层厚度Al金属层作为器件的散热板。本发电机采用纳米硅薄膜,其热导率远低于传统体材料,可以实现一边维持电子运输,一边抑制热量输送,从而极大的提高了热电发电效率,在热电发电实用化上具有重要意义。

    基于Ge/Si虚衬底的GeSn光电探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN107785454A

    公开(公告)日:2018-03-09

    申请号:CN201610726274.8

    申请日:2016-08-25

    发明人: 乔丽萍

    摘要: 本发明涉及一种基于Ge/Si虚衬底的GeSn光电探测器及其制备方法,该方法包括:选取Si衬底;生长Ge籽晶层;生长Ge主体层;生长SiO2层;将整个衬底材料加热至700℃,连续采用激光工艺晶化,激光波长为808nm,光斑尺寸10mm×1mm,功率为1.5kW/cm2,移动速度为25mm/s,形成晶化Ge层;去除SiO2层;掺杂形成P型晶化Ge层;生长本征GeSn层及N型Ge层、SiO2钝化层及Cr/Au层;利用CMP工艺进行处理后形成光电探测器。本发明采用的激光晶化工艺具有选择性高,控制精度高,晶化速度快,工艺步骤简单,工艺周期短,热预算低等优点;通过连续激光辅助晶化Ge/Si虚衬底,可有效降低Ge/Si虚衬底的位错密度、表面粗糙度、界面缺陷从而降低了GeSn光电探测器暗电流。