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公开(公告)号:CN1236418A
公开(公告)日:1999-11-24
申请号:CN98801149.2
申请日:1998-08-13
CPC classification number: G01F1/40 , G05D7/0186
Abstract: 一种压力式流量控制装置中使用的节流孔,节流孔具备入口圆锥部1和与其相连接的节流平行部2,该节流平行部2为在压力式流量控制装置中使用的节流孔中,将穿设在主体构件D上的下孔6一方的开口端部切削而形成的喇叭吹口状;并且还具备圆锥扩径部3和与其相连接的平行扩径部4,该圆锥扩径部3与通过将上述下孔6另一方的开口端部扩径而形成的上述节流平行部2相连接。
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公开(公告)号:CN114270083A
公开(公告)日:2022-04-01
申请号:CN202080056892.0
申请日:2020-06-12
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/14
Abstract: 本发明提供一种隔膜阀,其具备:阀体(3),其形成有流路(2);阀座(4),其形成于所述流路;金属隔膜(5),其通过相对于该阀座抵接或远离而开闭所述流路;一对夹持部(6、7),其分别夹持该金属隔膜的两侧面的周缘部而将所述金属隔膜固定于所述阀体;以及致动器(8),其使所述金属隔膜相对于所述阀座抵接或者远离,所述金属隔膜的阀座侧面(5a)在除了该阀座侧面与所述夹持部(7)的夹持区域(D‑C)以外的区域、且在被所述夹持区域包围的区域(C)内的至少与所述阀座的接触区域(B‑A)形成有氟树脂涂层。
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公开(公告)号:CN113647008A
公开(公告)日:2021-11-12
申请号:CN202080025996.5
申请日:2020-04-20
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种具备不停止驱动装置的通常动作,就能够检测在驱动装置中使用的压电元件的劣化的压电元件的劣化检测电路的驱动装置以及劣化检测方法。驱动装置(1)具备:压电元件(2)、电源部(3)、第一电阻(11)、第二电阻(12)、测定部以及控制部,第一电阻以及第二电阻的电阻值比压电元件的绝缘电阻值小,测定部在从电源部供给规定电压的状态下,测定第一电阻的两端的电压(第一端子(13)以及第二端子(14)之间的电压),控制部(3)根据通过测定部的测定而得到的电压值计算压电元件的电阻值,基于所计算出的电阻值,判定压电元件是否发生了劣化。
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公开(公告)号:CN112703391A
公开(公告)日:2021-04-23
申请号:CN201980050994.9
申请日:2019-09-18
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种浓度测定方法,其在浓度测定装置中执行,所述浓度测定装置具有:供被测定流体流动的测定单元;发出向测定单元的入射光的光源;检测来自测定单元的出射光的光检测器;基于光检测器的输出计算被测定流体的吸光度以及浓度的运算部;以及测定被测定流体的温度的温度传感器,所述浓度测定方法包括:使分子结构随温度而变化的气体作为被测定流体而在测定单元内流动的工序;使由被测定流体吸收的波长的光从光源向测定单元入射,并且通过光检测器测定从测定单元出射的光的强度的工序;以及基于由温度传感器测定的温度和光检测器的输出,计算被测定流体的浓度的工序。
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公开(公告)号:CN112703388A
公开(公告)日:2021-04-23
申请号:CN201980057237.4
申请日:2019-09-17
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种浓度测定装置(100),其具有:具有流路的测定单元(4)、光源(1)、检测从测定单元出射的光的光检测器(7)以及基于光检测器的输出来计算被测定流体的吸光度和浓度的运算部(8),测定单元具有:单元主体、以与流路相接的方式固定于单元主体的窗部(3)以及对经由窗部而将入射到测定单元的光进行反射的反射部件(5),窗部经由垫片(15)而通过窗按压部件(30)固定于单元主体(40),在支撑窗部的垫片的第一面设置有环状的密封用突起部(15a),在支撑垫片的与第一面相反的一侧的第二面的单元主体的支撑面(42)也设置有环状的密封用突起部(42a)。
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公开(公告)号:CN111989635A
公开(公告)日:2020-11-24
申请号:CN201980025060.X
申请日:2019-04-19
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种流量控制方法,其使用具备设置于流路的第一控制阀(6)、设置于第一控制阀的下游侧的第二控制阀(8)、和对第一控制阀的下游侧的流体压力进行测定的压力传感器(3)的流量控制装置(100)而进行,所述流量控制方法包含:步骤(a),基于压力传感器的输出以成为第一流量的方式控制第一控制阀的开度,并且维持打开第二控制阀的状态,从流体以第一流量流动的状态起,关闭第一控制阀的开度;以及步骤(b),基于压力传感器的输出,通过调整第二控制阀的开度对残留在第一控制阀的下游的压力进行控制,使流体以第二流量在第二控制阀的下游侧流动。
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公开(公告)号:CN111373182A
公开(公告)日:2020-07-03
申请号:CN201880074687.X
申请日:2018-11-12
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种不使用限位开关就能够对阀的开闭状态进行检测的阀装置的控制装置。阀装置(1)具有对供流体流通的流路进行开闭的隔膜(20)、向流路的关闭方向对隔膜(20)施力的螺旋弹簧(90)、进行驱动以克服螺旋弹簧(90)的施力的主致动器(60)、以及利用了压电元件的调整用致动器(100),该压电元件用于调整流路的基于隔膜(20)的开度,控制器(200)基于调整用致动器(100)的压电元件产生的电压来对流路的开闭状态进行检测,并且利用该检测信号对阀装置(1)进行控制。
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公开(公告)号:CN109564119B
公开(公告)日:2020-06-23
申请号:CN201780032215.3
申请日:2017-08-24
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置(1),在将流孔(5)的上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约两倍以上的状态下,构成混合气体的两种气体的混合比为X:(1‑X),使用以混合比率对两种气体的密度、比热比以及气体常数进行加权而算出的混合气体的平均密度ρ、平均比热比κ以及平均气体常数R,通过FF=(k/ρ){2/(κ+1)}1/(κ‑1)[κ/{(κ+1)R}]1/2算出混合气体的流量系数FF,将流孔截面积设为S、流孔的上游侧的混合气体的压力设为P1、温度设为T1,通过Q=FF·S·P1(1/T1)1/2算出通过流孔的混合气体的流量Q。
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公开(公告)号:CN106687728B
公开(公告)日:2019-08-27
申请号:CN201580039826.1
申请日:2015-08-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/02 , F16K7/14 , H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/09
Abstract: 本发明提供一种在不使用复杂的机构就能够增大压电元件的位移量的同时,不给配线等带来障碍的压电元件驱动式阀以及具备压电元件驱动式阀的流量控制装置。本发明是一种压电元件驱动式阀(1),其具备:主体(7),该主体设置有流体通路(7a)以及阀座(7c);阀体(8),其与主体(7)的阀座(7c)抵接分离而开闭流体通路(7a);和,压电致动器(16),其利用压电元件的伸长而开闭驱动所述阀体(8),其中,通过能够引出配线的隔离物(17),将至少两个压电致动器(16)配设在一条直线上。
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公开(公告)号:CN107925368B
公开(公告)日:2019-06-18
申请号:CN201680030926.2
申请日:2016-08-09
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H02N2/04 , F16K31/02 , H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/09
Abstract: 本发明涉及压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置。压电式线性致动器具备:积层压电致动器;支撑积层压电致动器,并且向积层压电致动器的左右侧方延伸的下部支撑部件;沿着积层压电致动器左右两侧延伸并相对于下部支撑部件可上下移动地交叉并传递因积层压电致动器的压电效果产生的位移的一对位移传递部件;以及在下部支撑部件下方被卡止在一对位移传递部件而将两位移传递部件的下端部彼此连结的输出部,位移传递部件各自形成为具有沿着积层压电致动器的外周面的圆弧状内周面且具有与圆弧状内周面相连的侧面的长条部件状,在各位移传递部件的下端部,以对向状形成有下部支撑部件插通的纵长的导孔,在该导孔的下方侧的内周缘部卡止有输出部。
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