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公开(公告)号：CN1910392A
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN200580002863.1
申请日：2005-01-13
IPC: F16K47/00
CPC classification number: F16K47/02 , Y10T137/0324 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/7762 , Y10T137/7842 , Y10T137/86389 , Y10T137/86397 , Y10T137/86461
Abstract: 本发明的课题在于实现，通过极为简单的装置和操作能够在不产生水击的情况下在短时间内将流体通路快速打开。本发明的无水击打开装置包括：致动器动作式阀，设置在流体通路中；电/气转换装置，向致动器动作式阀提供两阶段式致动器动作压力(Pa)；振动传感器，拆装自如地固定于所述致动器动作式阀的上游侧管路；调节箱，被输入由振动传感器检测到的振动检测信号(Pr)，并且，向电/气转换装置输出对所述两阶段式致动器动作压力(Pa)的阶跃动作压力(Ps’)的大小进行控制的控制信号(Sc)，通过该控制信号(Sc)的调整而使电/气转换装置输出下述阶跃动作压力(Ps’)的两阶段式致动器动作压力(Pa)，所述阶跃动作压力(Ps’)使得振动检测信号(Pr)大致为零。
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公开(公告)号：CN113646620A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202080023287.3
申请日：2020-03-31
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种浓度测定装置(100)，其具备：具有光源(22)以及光检测器(24)的电气单元(20)；具有测定单元(1)的流体单元(10)；以及连接电气单元(20)和流体单元(10)的光纤(11、12)，构成为通过用光检测器(24)检测出从光源(22)入射到测定单元并从测定单元出射的光而对测定单元内的流体的浓度进行测定，在电气单元(20)中，与光纤(11、12)连接的光连接部(32、34)和光源(22)或者光检测器(24)一体地设置。
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公开(公告)号：CN113508287A
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202080018145.8
申请日：2020-03-18
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种用于测定在连接有多个气体供给管线的合流块体(14)中流动的气体的浓度的浓度测定装置(20)，其具备：发出向形成于合流块体的流路入射的光的光源(40)；接收从流路出射的光的光检测器(44)；以及根据光检测器的输出求出在流路中流动的气体的浓度的运算控制电路(46)，用于使来自光源的光入射到流路的透光性的入射窗(26、23)以及用于使通过了流路的光出射的透光性的出射窗(28、23)中的至少任意一个相对于合流块体(14)密封固定。
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公开(公告)号：CN107923841B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN201680025238.7
申请日：2016-08-09
Applicant: 国立大学法人德岛大学 , 株式会社富士金
Abstract: 一种浓度测定装置，所述浓度测定装置用于通过检测通过光入射窗和光出射窗被对向配置的测定单元的透过光而测定所述测定单元内的被测定流体的浓度，且所述浓度测定装置包括检测所述光入射窗的反射光的反射光检测器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112470093A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201980043297.0
申请日：2019-07-16
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明的流量控制系统(1)的控制部(3)，具备：记录压力传感器(P)和温度传感器(T)的测量值的记录部(31)；存储与压力传感器(P)的测量值对应的从第一阀(V1)到第二阀(V2)为止的容积的存储部(32)；和基于第一压力值(P1)和第一温度值(T1)、第二压力值(P2)和第二温度值(P2)以及与第二压力值(P2)对应的从第一阀(V1)到第二阀(V2)为止的容积值(V)对流量进行运算的运算部(33)，其中，第一压力值(P1)和第一温度值(T1)为：将第一阀(V1)和第二阀(V2)打开而让气体流动，在气体流动的状态下将第一阀(V1)和第二阀(V2)同时关闭，此后测量得到的第一压力值(P1)和第一温度值(P2)，第二压力值(P2)和第二温度值(T2)为：将第一阀(V1)和第二阀(V2)打开让气体流动，在气体流动的状态下将第二阀(V2)关闭，此后，经过规定时间(Δt)后，将第一阀(V1)关闭后测量得到的第二压力值(P2)和第二温度值(T2)。
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公开(公告)号：CN108369425B
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN201680064955.0
申请日：2016-12-15
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明涉及一种利用具备节流部(12)、上游侧的控制阀(18)、上游侧的第一压力传感器(14)、下游侧的第二压力传感器(24)的流量控制装置(10)和下游阀(24)而进行的异常检测方法，包含使控制阀以及下游阀从打开状态变化为关闭状态的步骤、将控制阀以及下游阀维持着关闭状态而测定上游压力以及下游压力的步骤、和(a)抽出上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻的上游压力作为上游收敛压力，下游压力作为下游收敛压力的步骤及(b)抽出从使控制阀以及下游阀变化为关闭状态的时刻至上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻为止的时间作为收敛时间的步骤之中的至少一方，基于在步骤(a)或(b)中任一步骤所获得的数据与作为基准的值的比较而判断异常的有无。
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公开(公告)号：CN110234965B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201880009200.X
申请日：2018-02-08
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种流量测定方法，其在气体供给系统中进行，所述气体供给系统具备：多个气体供给路径，其具备第一阀；以及共用气体供给路径，其形成于多个气体供给路径的下游侧且具备流量测定装置，所述流量测定装置具备压力传感器、温度传感器以及下游侧的第二阀，所述流量测定方法包括以下工序：第一工序，打开任一个第一阀和第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下关闭第二阀，经过规定时间后关闭任一个第一阀，测定关闭第一阀后的压力和温度；第二工序，打开任一个第一阀和第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下同时关闭任一个第一阀和第二阀，测定关闭第一阀和第二阀后的压力和温度；第三工序，基于在第一工序中测定的压力和温度以及在第二工序中测定的压力和温度，来计算流量。
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公开(公告)号：CN107003168B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201580044670.6
申请日：2015-11-02
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01F23/22 , B01J4/00 , C23C16/455 , H01L21/31
Abstract: 本发明提供一种在可以从液相切换到气相的检测时间上减少流量依存性的同时，缩短检测时间的液面计以及液体原料气化供给装置。该液面计具备：贮存液体原料的腔体(2)；收容用于检测腔体(2)内的液面(L1)的测温电阻的至少一根保护管(3)；以及控制从腔体(2)流出的气体的流量并进行供给的流量控制装置(4)，其中，保护管(3)沿水平方向插入并固定于腔体(2)的侧壁(2a)。
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公开(公告)号：CN107532298B
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201680007156.X
申请日：2016-04-11
Applicant: 株式会社富士金
IPC: C23C16/448 , B01J4/00 , B01J7/02 , C23C16/52 , H01L21/31
Abstract: 本发明提供一种可解除从气化器内通往流量控制装置的气体流路内被液体充满的不当情况的气化供给装置。该气化供给装置具备：气化器(2)，其将液体(L)加热而使其气化；流量控制装置(3)，其控制从气化器送出的气体的流量；第一控制阀(5)，其介入设置于液体向气化器(2)的供给路径(4)中；压力检测器(6)，其用于检测出在气化器(2)被气化并送往流量控制装置(3)的气体的压力；液体检测部(7A)，其测定气化器(2)内的超过预定量的液体的参数；以及控制装置(8)，其按照如下方式进行控制：以能够根据压力检测器(6)检测出的压力值向气化器(2)供给预定量的液体(L)的方式控制第一控制阀(5)，且在液体检测部(7A)检测到液体时，关闭第一控制阀(5)。
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