振动片、陀螺仪传感器、电子设备和移动体

    公开(公告)号:CN103363974B

    公开(公告)日:2018-08-17

    申请号:CN201310094984.X

    申请日:2013-03-22

    Abstract: 本发明提供振动片、陀螺仪传感器、电子设备和移动体。作为课题,如果仅通过1对悬臂来支撑基部,则无法最大限度地引起第2振动臂的运动。驱动系统的布线和检测系统的布线混合安装在1对悬臂上,振动片的噪声特性和温度特性劣化。作为解决手段,第1振动臂(26a、26b)从基部(25)起沿着第1方向(D1)延伸。第2振动臂(27a、27b)从基部(25)起沿着第2方向(D2)延伸。第1悬臂(32a、32b)从固定部(19)起延伸,并与基部(25)的第1连接部(34)连接。第2悬臂(33a、33b)从固定部(19)起延伸,并与基部(25)的第2连接部(37)连接。

    振动片、传感器单元及其制造方法、电子设备

    公开(公告)号:CN104880180A

    公开(公告)日:2015-09-02

    申请号:CN201510237883.2

    申请日:2011-11-15

    Abstract: 本发明提供振动片、传感器单元及其制造方法、电子设备。振动陀螺元件(11)具有基部(21)、以及从基部(21)的Y轴方向的两端部起分别延伸的一对驱动用振动臂(22a、22b)和一对检测用振动臂(23a、23b)。并且,从由基部(21)的X轴方向的两端部起分别延伸的连接臂(24a、24b)各自的末端部起,设有与驱动用振动臂(22a、22b)并行延伸的调节用振动臂(125a、125b)。在各调节用振动臂(125a、125b)的末端侧具有作为加宽部的施重部(127a、127b)。在各调节用振动臂(125a、125b)的主面设有用于对振动陀螺元件(11)的泄漏输出进行调节的作为膜体的调节用电极(145a、145b)。

    振动片及其制法、振子、电子装置、电子设备及移动体

    公开(公告)号:CN103575261A

    公开(公告)日:2014-02-12

    申请号:CN201310308770.8

    申请日:2013-07-22

    Abstract: 本发明提供一种振动片及其制法、振子、电子装置、电子设备及移动体,其能够防止由相互向相反方向延伸的驱动振动臂的锤层的大小或质量的不同而引起的温度漂移。振动片具备:一对第一以及第二驱动振动臂(441、442),其从基部(41)起相互向相反方向延伸;第一锤部(12a、12b),其以从第一以及第二驱动振动臂中的至少一方的顶端向基部侧隔开间隔的方式,而被设置在至少一个驱动振动臂的第一区域内;第二锤部(11a、11b),其被设置在第一锤部的顶端与至少一个驱动振动臂的顶端之间的区域即第二区域内,在将第一区域的面积设为A1,将第一锤部的质量设为B1,并将第二区域的面积设为A2,将第二锤部的质量设为B2时,B1/A1>B2/A2。

    水平多关节机器人及机器人系统

    公开(公告)号:CN111745633B

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202010223324.7

    申请日:2020-03-26

    Inventor: 菊池尊行

    Abstract: 提供能够实现小型化的水平多关节机器人及机器人系统。水平多关节机器人,其特征在于,具备:基座;第一臂,与所述基座连接并绕第一轴转动;第二臂,与所述第一臂连接并绕与所述第一轴平行的第二轴转动;第三臂,与所述第二臂连接并绕与所述第一轴平行的第三轴转动,且沿所述第三轴移动;电机,设置于所述第二臂并驱动所述第三臂;以及力检测部,设置在所述电机与所述第二臂之间,并检测由所述电机的驱动引起的反作用力。

    力检测装置及机器人系统
    49.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115213925A

    公开(公告)日:2022-10-21

    申请号:CN202210403404.X

    申请日:2022-04-18

    Abstract: 本发明提供具有优异的检测精度的力检测装置及机器人系统。力检测装置具有第一力传感器和第二力传感器、第一惯性传感器以及第二惯性传感器,所述第一力传感器和所述第二力传感器具备具有力检测轴的力检测元件,所述第一惯性传感器配置在所述第一力传感器的附近,所述第一惯性传感器的惯性检测轴沿着所述第一力传感器的所述力检测轴,所述第二惯性传感器配置在所述第二力传感器的附近,所述第二惯性传感器的惯性检测轴沿着所述第二力传感器的所述力检测轴。

    集成电路装置、电子器件、电子设备及基站

    公开(公告)号:CN107070407B

    公开(公告)日:2022-01-04

    申请号:CN201610941789.X

    申请日:2016-10-25

    Abstract: 本发明提供集成电路装置、电子器件、电子设备及基站。能够提高引线键合的生产性。集成电路装置具有:基板;接合部,其设置于所述基板上,并与振子接合;以及多个键合焊盘,它们设置于所述基板上,在所述接合部设有覆盖所述基板的表面的一部分的绝缘性保护膜,在相邻的所述键合焊盘之间未设有所述绝缘性保护膜。

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