物理量传感器以及惯性测量装置

    公开(公告)号:CN114487481B

    公开(公告)日:2024-02-09

    申请号:CN202111256860.8

    申请日:2021-10-27

    Inventor: 柳泽良直

    Abstract: 本发明公开了能够判定元件的异常并通过施加偏置电压而使元件正常化的物理量传感器以及惯性测量装置。物理量传感器(1)具备判定电路(30),判定电路(30)判定物理量信号的值是否在规定期间持续并处于规定范围内,在不持续的情况下,判定为物理量检测元件(6X、6Y、6Z)处于正常动作的第一状态,在持续的情况下,判定为物理量检测元件(6X、6Y、6Z)处于动作异常的第二状态,物理量传感器(1)具有物理量检测电路(3),物理量检测电路(3)将基于判定电路(30)的判定结果的第一信息作为设定信息而存储于控制电路(40),在判定电路(30)的判定结果为第二状态时,从通信部(26)将存储于控制电路(40)的设定信息向外部输出。

    物理量传感器、电子设备以及移动体

    公开(公告)号:CN110082565A

    公开(公告)日:2019-08-02

    申请号:CN201910071638.7

    申请日:2019-01-25

    Inventor: 柳泽良直

    Abstract: 提供物理量传感器、电子设备以及移动体,降低在从物理量传感器元件输出的信号中混入残留噪声而使传感器检测特性恶化的情况。物理量传感器(1)包括:作为传感器元件的加速度传感器元件(20);作为半导体电路的IC(40);以及作为基板的第一基材(11),安装有加速度传感器元件和IC,并设置有串行通信用布线(30a、30b、30c),加速度传感器元件与IC层叠,在俯视加速度传感器元件时,相对于加速度传感器元件的假想中心线(L),连接加速度传感器元件与IC的作为电连接部的接合线(43)配置在串行通信用布线(30a、30b、30c)的相反侧。

    物理量传感器、电子设备以及移动体

    公开(公告)号:CN110082565B

    公开(公告)日:2022-11-18

    申请号:CN201910071638.7

    申请日:2019-01-25

    Inventor: 柳泽良直

    Abstract: 提供物理量传感器、电子设备以及移动体,降低在从物理量传感器元件输出的信号中混入残留噪声而使传感器检测特性恶化的情况。物理量传感器(1)包括:作为传感器元件的加速度传感器元件(20);作为半导体电路的IC(40);以及作为基板的第一基材(11),安装有加速度传感器元件和IC,并设置有串行通信用布线(30a、30b、30c),加速度传感器元件与IC层叠,在俯视加速度传感器元件时,相对于加速度传感器元件的假想中心线(L),连接加速度传感器元件与IC的作为电连接部的接合线(43)配置在串行通信用布线(30a、30b、30c)的相反侧。

    信号处理电路、物理量检测装置、角速度检测装置

    公开(公告)号:CN102650522A

    公开(公告)日:2012-08-29

    申请号:CN201210044310.4

    申请日:2012-02-23

    CPC classification number: G01C19/5649 G01C19/56

    Abstract: 本发明提供信号处理电路、物理量检测装置、角速度检测装置、集成电路装置以及电子设备,其既能抑制电路面积的增加,又能实现比以往低的噪声。I/V转换电路(电流电压转换部)将振子的振荡电流转换为电压。RC滤波器(相位移位部)对I/V转换电路的输出信号进行相位移位。全波整流电路(驱动振幅控制部的一部分)对相位移位后的信号进行二值化,生成切换控制信号。比较器(参照信号生成部)根据I/V转换电路的输出信号,生成同步检波用的参照信号。异或电路(时钟信号生成部)根据参照信号与切换控制信号的相位差,生成频率是驱动信号的频率的2倍的开关电容滤波器用的时钟信号。

    物理量传感器、惯性测量单元、电子设备以及移动体

    公开(公告)号:CN109387190A

    公开(公告)日:2019-02-26

    申请号:CN201810898588.5

    申请日:2018-08-08

    Inventor: 柳泽良直

    Abstract: 本发明提供物理量传感器、惯性测量单元、电子设备以及移动体。能够减少物理量的温度滞后等,提高检测精度。所述物理量传感器的特征在于,包括:容器,包括容纳部以及构成所述容纳部的内底面的底板;传感器元件,安装于所述内底面;电路元件,安装于所述传感器元件的面中与所述内底面侧相反一侧的面,所述电路元件与所述传感器元件电连接;以及GND图案,设置于所述底板,GND图案设置成从内底面分开。

    物理量传感器以及惯性测量装置

    公开(公告)号:CN114487481A

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202111256860.8

    申请日:2021-10-27

    Inventor: 柳泽良直

    Abstract: 本发明公开了能够判定元件的异常并通过施加偏置电压而使元件正常化的物理量传感器以及惯性测量装置。物理量传感器(1)具备判定电路(30),判定电路(30)判定物理量信号的值是否在规定期间持续并处于规定范围内,在不持续的情况下,判定为物理量检测元件(6X、6Y、6Z)处于正常动作的第一状态,在持续的情况下,判定为物理量检测元件(6X、6Y、6Z)处于动作异常的第二状态,物理量传感器(1)具有物理量检测电路(3),物理量检测电路(3)将基于判定电路(30)的判定结果的第一信息作为设定信息而存储于控制电路(40),在判定电路(30)的判定结果为第二状态时,从通信部(26)将存储于控制电路(40)的设定信息向外部输出。

    信号处理电路、物理量检测装置、角速度检测装置

    公开(公告)号:CN102650522B

    公开(公告)日:2014-12-17

    申请号:CN201210044310.4

    申请日:2012-02-23

    CPC classification number: G01C19/5649 G01C19/56

    Abstract: 本发明提供信号处理电路、物理量检测装置、角速度检测装置、集成电路装置以及电子设备,其既能抑制电路面积的增加,又能实现比以往低的噪声。I/V转换电路(电流电压转换部)将振子的振荡电流转换为电压。RC滤波器(相位移位部)对I/V转换电路的输出信号进行相位移位。全波整流电路(驱动振幅控制部的一部分)对相位移位后的信号进行二值化,生成切换控制信号。比较器(参照信号生成部)根据I/V转换电路的输出信号,生成同步检波用的参照信号。异或电路(时钟信号生成部)根据参照信号与切换控制信号的相位差,生成频率是驱动信号的频率的2倍的开关电容滤波器用的时钟信号。

    物理量传感器、电子设备和移动体

    公开(公告)号:CN112748259B

    公开(公告)日:2023-06-20

    申请号:CN202011172019.6

    申请日:2020-10-28

    Inventor: 柳泽良直

    Abstract: 物理量传感器、电子设备和移动体,在从元件部收集用于检测物理量的第1信号的期间,为了监视该元件部是否异常而收集作为监视信号的第2信号,由物理量传感器单体判定元件部的状况。物理量传感器具有:第1元件部,根据物理量而变化的第1电容具有因第1物理量而饱和的第1饱和电容值;第2元件部,根据物理量而变化的第2电容具有因绝对值比第1物理量小的第2物理量而饱和的第2饱和电容值;驱动电路,向第1元件部和第2元件部输出驱动信号;多路复用器,以时分方式输出来自第1元件部的第1信号和来自第2元件部的第2信号;判定电路,将第2物理量作用时的第2信号的电平设为阈值,判定经由多路复用器输入的第2信号的电平是否达到阈值。

    物理量传感器、电子设备和移动体

    公开(公告)号:CN112748259A

    公开(公告)日:2021-05-04

    申请号:CN202011172019.6

    申请日:2020-10-28

    Inventor: 柳泽良直

    Abstract: 物理量传感器、电子设备和移动体,在从元件部收集用于检测物理量的第1信号的期间,为了监视该元件部是否异常而收集作为监视信号的第2信号,由物理量传感器单体判定元件部的状况。物理量传感器具有:第1元件部,根据物理量而变化的第1电容具有因第1物理量而饱和的第1饱和电容值;第2元件部,根据物理量而变化的第2电容具有因绝对值比第1物理量小的第2物理量而饱和的第2饱和电容值;驱动电路,向第1元件部和第2元件部输出驱动信号;多路复用器,以时分方式输出来自第1元件部的第1信号和来自第2元件部的第2信号;判定电路,将第2物理量作用时的第2信号的电平设为阈值,判定经由多路复用器输入的第2信号的电平是否达到阈值。

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