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公开(公告)号：CN110319960B
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN201910226635.6
申请日：2019-03-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供一种能够发挥优异的力检测特性的传感器元件、传感器器件、力检测装置以及机器人。传感器元件(3)构成为，在从层叠有第一压电元件(31)和第二压电元件(32)的方向俯视观察时，第一基准电位侧面端子(391)在比通过第一信号侧面端子(394)的位置和第二信号侧面端子(392)的位置的第一轴(L3)靠近一侧的侧面(3c、3f)上，位于第一信号侧面端子(394)与第二信号侧面端子(392)之间，第二基准电位侧面端子(393)在比第一轴(L3)靠近另一侧的侧面(3d、3e)上，位于第一信号侧面端子(394)与第二信号侧面端子(392)之间。
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公开(公告)号：CN110625609A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910548467.2
申请日：2019-06-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种控制装置、机器人及机器人系统，提供能够容易地选择示教的多个模式的技术。控制装置具备控制部，在机器人的示教中，控制部根据通过输入检测部检测到的输入，在使可动部以用户输入的移动量移动的特定控制模式下控制可动部。输入检测部包括电磁传感器、热传感器、静电电容传感器、磁传感器、角速度传感器、加速度传感器、超声波传感器及电流传感器中的至少一个。
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公开(公告)号：CN104596675B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201410573529.2
申请日：2014-10-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。传感器元件的特征在于，在将相互正交的三个轴设为A轴、B轴以及C轴时，分别至少具有：一张第一压电板，其由X截割水晶板构成并根据沿着A轴方向的外力而输出电荷；一张第二压电板，其由Y截割水晶板构成，沿A轴方向与第一压电板层叠，并根据B轴方向的外力而输出电荷；一张第三压电板，其由Y截割水晶板构成，以在其与第一压电板之间夹持第二压电板的方式，并且以绕A轴旋转的配置沿A轴方向层叠，并根据C轴方向的外力而输出电荷。
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公开(公告)号：CN104614118B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201410610416.5
申请日：2014-11-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种力检测装置、机器人以及电子部件输送装置。力检测装置具备第一基部、第二基部、以及配置于它们之间的电荷输出元件。电荷输出元件具有由Y切向水晶板构成的第一基板以及由Y切向水晶板构成的第二基板，这些基板沿与第二基部的安装面的法线正交的方向层叠。而且，力检测装置基于与和第一基板的层叠方向正交的第一检测方向的剪切力对应的第一输出以及与和第二基板的层叠方向正交、和第一检测方向交叉的第二检测方向的剪切力对应的第二输出对外力进行检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103091004B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201210444127.3
申请日：2012-11-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 河合宏纪
CPC classification number: G01L1/16 , B25J9/1694 , B25J19/028 , G01L1/162 , G01L5/167 , G01L5/226 , H01L41/1132 , H01L41/1873 , Y10S901/46
Abstract: 本发明涉及传感器元件、力检测装置以及机械臂，其中，传感器元件是具备由三方晶系的单晶形成的压电基板和配置于上述压电基板的电极的传感器元件，上述压电基板的基板面包含晶轴的电轴，并且上述基板面与包含上述电轴和上述晶轴的光轴的面所成的角度θ是：0°＜θ＜20°。
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公开(公告)号：CN104614118A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201410610416.5
申请日：2014-11-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B25J13/085 , B25J9/1633 , B25J9/1694 , G01L1/16 , G01L1/18 , G01L5/00 , G01L5/009 , G01L5/167 , G01L5/226 , G01P15/09 , G01P15/18 , H01L41/042 , H01L41/083 , H01L41/1132 , H02N2/0095 , Y10S901/46
Abstract: 本发明提供一种力检测装置、机器人以及电子部件输送装置。力检测装置具备第一基部、第二基部、以及配置于它们之间的电荷输出元件。电荷输出元件具有由Y切向水晶板构成的第一基板以及由Y切向水晶板构成的第二基板，这些基板沿与第二基部的安装面的法线正交的方向层叠。而且，力检测装置基于与和第一基板的层叠方向正交的第一检测方向的剪切力对应的第一输出以及与和第二基板的层叠方向正交、和第一检测方向交叉的第二检测方向的剪切力对应的第二输出对外力进行检测。
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公开(公告)号：CN102111118B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201010603113.2
申请日：2010-12-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 河合宏纪
CPC classification number: H03H9/21 , H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03H2003/0492
Abstract: 本发明提供振动片，能在不影响振动特性的情况下进行高精度的频率调整。该振动片具有：基部(15)；从基部(15)起延伸的进行面外振动的振动臂(11，12，13)；激励电极，其形成在振动臂(11，12，13)上，对振动臂(11，12，13)进行激励；第1质量部(51，52，53)，其形成在振动臂(11，12，13)上，调整振动臂(11，12，13)的频率，第1质量部(51，52，53)和激励电极配置在随振动臂(11，12，13)的面外振动而交替被施加压缩力和拉伸力的相对的面中的一个面上，第1质量部(51，52，53)位于距基部(15)超过振动臂(11，12，13)的长度的1/2的振动臂(11，12，13)的末端侧，由密度D(×103kg/m3)在2.20≤D≤8.92的范围内的金属膜或绝缘膜形成。
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公开(公告)号：CN102403972A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110257239.3
申请日：2011-09-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 河合宏纪
CPC classification number: H03H9/215 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供能够发挥优异的振动特性的振动片、振子、振动器件以及电子设备。振动片(2)具有：基部(27)；振动臂(28、29、30)，其从基部起在Y轴方向上延伸，并在X轴方向上排列设置有多个；以及压电体元件(22、23、24)，其设置在振动臂上，使振动臂在Z轴方向上进行弯曲振动。此外，各振动臂具有由于弯曲振动而压缩或拉伸的第1面(281、291、301)，以及在第1面压缩时拉伸，在第1面拉伸时压缩的第2面(282、292、302)。此外，振动臂(28、29)在第1面(281、291)侧设置有压电体元件(22、23)，振动臂(30)在第2面(302)侧设置有压电体元件(24)。
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公开(公告)号：CN102340292A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201110150627.1
申请日：2011-06-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 河合宏纪
CPC classification number: H03H9/21 , H03H3/04 , H03H9/0519 , H03H9/1021 , H03H2003/0428 , H03H2003/0492
Abstract: 本发明提供振动片、频率调整方法、振子、振动器件以及电子设备，振动片、频率调整方法能简单且高精度地进行频率调整，振子、振动器件及电子设备具有该振动片，可靠性良好。振动片具有：基部；振动臂(28)，其从基部起在Y轴方向上延伸，并在与Y轴方向垂直的Z轴方向上进行弯曲振动；第1质量部(51)和第2质量部(54)，它们设置在振动臂(28)上，通过照射能量线而被去除一部分或全部从而质量减小，以调整振动臂(28)的谐振频率，第1质量部(51)设在振动臂(28)的第1面(281)上，第2质量部(54)设在振动臂(28)的第2面(282)上，在从Z轴方向观察时，第1质量部(51)和第2质量部(54)具有彼此不重叠的部分。
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