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公开(公告)号：CN114600230A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202080075735.4
申请日：2020-08-27
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/683 , B25J15/06
Abstract: 基板吸引保持构造(100)具备：衬垫主体(40)，具有环状的接触部(41)、和将由接触部包围的第一真空室(42)的底面(65)封闭的底壁部(43)，并且该衬垫主体(40)具有导电性；托板主体(3)，具有上表面、和使该上表面凹陷而形成的第二真空室(30)，具有导电性；支柱(44)，设置于第二真空室或衬垫主体中的任一个，使衬垫主体的接触部在第二真空室之上位于比托板主体的上表面靠上方处，将衬垫主体支承为能够相对于第二真空室摆动，具有导电性；覆盖体(7)，固定于托板主体，覆盖第二真空室；以及吸引通路(10)，从第一真空室延伸，依次通过衬垫主体的底壁部、第二真空室以及托板主体，与真空源(8)连接。
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公开(公告)号：CN113228246A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980085025.7
申请日：2019-12-23
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 一种基板搬运机器人和自动示教方法，本发明的基板搬运机器人(1)在机械手设置第1和第2传感器(20、30)，使得在俯视视角中射出的检测光的光轴的俯视交点(LC)位于由上述机械手(14)保持基板(S)的情况下的上述基板的规定位置上，控制装置(40)构成为：使臂(12)动作，通过上述第1和第2传感器扫描设置于示教位置的靶(52)，在上述靶位于上述光轴的俯视交点时取得上述示教位置。
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公开(公告)号：CN107206588B
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN201580075322.5
申请日：2015-02-04
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J9/10 , H01L21/677
Abstract: 机械手的偏移自动调整装置（2）具备参数最佳化部（27），该参数最佳化部（27）在偏移评价值大于规定的阈值的情形时，使控制参数设定部（23）重新设定多个控制参数中的任一个控制参数，且反复地分别使控制参数设定部（23）、机械手控制部（22）、偏移取得部（25）及判定部（26）进行重新设定上述控制参数、使末端执行器（15）直线移动、取得偏移及进行判定，直至上述偏移评价值达到上述规定的阈值以下为止，使多个控制参数的组合最佳化。
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公开(公告)号：CN112005360A
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN201980028773.1
申请日：2019-07-05
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08
Abstract: 一种基板搬送机器人，具备：具备第一手部的机器人主体，所述第一手部包含载置基板的第一基板载置部和将载置于第一基板载置部的基板保持及解放的第一基板保持机构；以及机器人控制器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111095518A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201880060083.X
申请日：2018-07-30
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/22 , B65G49/07 , H01L21/68
Abstract: 包括：在基板载置部上的改变目标的以旋转轴为旋转中心的旋转位置及检测区域的以机器人基准轴为旋转中心的旋转位置中的至少一方而得的多个旋转位置上，用物体检测传感器对作为目标的表面的一部分而位于以旋转轴为中心且通过目标的规定的圆周的内周侧的部分进行检测的步骤；对于多个旋转位置的每一个，求出与表示用物体检测传感器检测到目标时的从机器人基准轴至目标的距离的指标长度存在相关关系的量的步骤；以及基于多个旋转位置中的与指标长度存在相关关系的量最大或最小者，求出机器人基准轴与旋转轴的位置关系的步骤。
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公开(公告)号：CN111052339A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201880060082.5
申请日：2018-07-30
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J13/08 , B65G49/07 , H01L21/68
Abstract: 在基板载置部的多个旋转位置上，用物体检测传感器检测设置于基板载置部的目标，求出从机器人基准轴至目标的与轴心方向正交的方向的距离即指标长度或与其相关的信息，基于求得的指标长度或与其相关的信息，求出检测到位于连结机器人基准轴与旋转轴的直线上的目标时的，检测线的以机器人基准轴为旋转中心的旋转位置及基板载置部的以旋转轴为中心的旋转位置的至少一方的旋转位置，基于求得的旋转位置，对从机器人基准轴观察到的旋转轴所在的方向进行特定。
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公开(公告)号：CN108780770A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201780015069.3
申请日：2017-02-28
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/22
CPC classification number: H01L21/677
Abstract: 控制器，使用从第一光传感器及至少一个的第二光传感器中选择的一个光传感器，使基板搬送手往光传感器的光路位于基板载置部的上方且不会与柱部干涉的检测开始位置移动，从检测开始位置使基板搬送手往下方移动至以光传感器检测到物体的检测位置，将基板搬送手位于检测位置时的光传感器距离光路的规定位置基准的高度，作为基板载置部的高度位置加以储存。
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公开(公告)号：CN107408525A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680008582.5
申请日：2016-02-01
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J13/08
Abstract: 本发明的基板搬送机器人(1)包括：机械臂(4)，设置有保持基板(S)的基板保持部(7)，该基板保持部(7)是可移位地设置；机器人控制机构(8)，控制机械臂(4)及基板保持部(7)的各动作；及基板检测机构(9)，设置于机械臂(4)，且检测被保持于基板保持部(7)的基板(S)的缘部。基板检测机构(9)是于基板保持部(7)相对于机械臂(4)移位时检测基板(S)的缘部的至少2个部位。机器人控制机构(8)根据基板(S)的缘部的检测结果而修正基板搬送动作。即便被保持于基板保持部的基板偏离正规位置时，也可无障碍地进行基板的搬送。
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公开(公告)号：CN107000224A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201480084253.X
申请日：2014-12-22
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J19/06 , B25J15/08 , B25J19/00 , H01L21/677
CPC classification number: B25J15/106 , B25J9/1674 , B25J9/1692 , B25J11/0095 , B25J19/063 , H01L21/67259 , H01L21/67288 , H01L21/67736 , H01L21/67742
Abstract: 本发明的机械手系统，具备有：机器手臂，在梢端部具有以在规定方向延伸的转动轴为中心转动自如的手腕；末端执行器，安装在该手腕；及变形检测装置，使用靶销检测该末端执行器的变形，该靶销具有末端执行器的规定检测部位到达的目标部位。目标部位，具有示出检测部位到达该目标部位的表示功能。变形检测装置，具备：探索部，控制机器手臂使检测部位接触靶销以对目标部位进行探索，根据目标部位的表示功能而检测检测部位到达目标部位；以及变形检测部，比较检测部位到达目标部位时的检测部位的假定位置与规定的参照位置，以检测末端执行器的变形。
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