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发明公开
基板搬送机器人及基板搬送方法无效

公开(公告)号：CN107408525A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680008582.5

申请日：2016-02-01

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 吉田雅也 , 斎藤雅行

IPC: H01L21/677 , B25J13/08

Abstract: 本发明的基板搬送机器人(1)包括：机械臂(4)，设置有保持基板(S)的基板保持部(7)，该基板保持部(7)是可移位地设置；机器人控制机构(8)，控制机械臂(4)及基板保持部(7)的各动作；及基板检测机构(9)，设置于机械臂(4)，且检测被保持于基板保持部(7)的基板(S)的缘部。基板检测机构(9)是于基板保持部(7)相对于机械臂(4)移位时检测基板(S)的缘部的至少2个部位。机器人控制机构(8)根据基板(S)的缘部的检测结果而修正基板搬送动作。即便被保持于基板保持部的基板偏离正规位置时，也可无障碍地进行基板的搬送。

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