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公开(公告)号：CN102369153B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN200980158424.8
申请日：2009-03-31
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 一种微可动元件阵列(X1)，包括框(30)、包含具有第一可动主部(11、11’)并被支撑于框(30)的多个第一可动部(10、20)的第一可动部列、框(30)、以及包含具有第二可动主部(11、11’)并被支撑于框(30)的多个第二可动部(10、20)的第二可动部列。两个框(30)以第一可动部列及第二可动部列被相对配置的方式被层叠配置。在第一可动部列中，多个第一可动部(10、20)被配置为第一可动主部(11、11’)及空隙G2被交替配置并且多个第一可动主部(11、11’)被排列在一个方向上，在第二可动部列中，多个第二可动部(10、20)被配置为各第二可动主部(11、11’)与第一可动部列的各空隙G2相对并且多个第二可动主部(11、11’)被排列在一个方向上。
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公开(公告)号：CN102893167A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201180024221.7
申请日：2011-04-05
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G01R19/0092 , G01R15/202 , G01R21/06
Abstract: 通过下述的接线板的电流量修正式计算方法来解决本发明的课题，该计算方法具有：第1测定步骤，在接线板的多个插口部中没有电流流动时，由分别对接线板的多个插口部中的电流量进行测定的电流测定部来测定各个上述电流测定部中的电压值；第2测定步骤，在上述插口部中的任意一个有电流流动时，测定各个上述电流测定部中的电压值；和计算出修正式的修正式计算步骤，所述修正式成为将上述第2测定中的电压值与上述第1测定中的电压值之差作为要素的矩阵的逆矩阵。
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公开(公告)号：CN100515921C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN03826364.5
申请日：2003-04-25
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: B81C1/00547 , B81B2201/042 , B81B2203/0136 , B81C2201/0132 , B81C2201/0133 , G01P15/0802 , G02B26/0841
Abstract: 用于制造具有薄壁部(T1～T3)的微型结构体的方法，包含如下工序：通过对包含由第一导体层(11)以及具有与薄壁部(T1～T3)的厚度相当的厚度的第二导体层(12)构成的层叠结构的材料基板，从第一导体层(11)侧进行第一蚀刻处理，从而在第二导体层(12)中形成了在该第二导体层(12)的面内方向上具有间隔开的一对侧面并与第一导体层(11)连接的预备薄壁部(T1’～T3’)的工序；通过从第一导体层(11)侧起的第二蚀刻处理，除去在第一导体层(11)中与预备薄壁部(T1’～T3’)连接的地方并形成薄壁部的工序。
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公开(公告)号：CN101276053A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200810090311.6
申请日：2008-03-28
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/0086 , B81B2201/033 , B81B2201/047
Abstract: 本发明提供一种微振荡器件及微振荡器件阵列，该微振荡器件包括框架、振荡部件以及连接部件，其中该振荡部件包括用以施加参考电位的第一驱动电极，该连接部件用以将该框架和该振荡部件彼此连接，该连接部件定义了该振荡部件的振荡运动轴。第二驱动电极，固定至该框架并与该第一驱动电极协作以产生用于该振荡运动的驱动力。该第一驱动电极包括第一端延伸部和第二端延伸部，该第一端延伸部和第二端延伸部彼此隔离，并在与该轴交叉的方向上延伸。该第二驱动电极处于该第一和第二端延伸部之间的一隔离距离之内。
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公开(公告)号：CN100383594C
公开(公告)日：2008-04-23
申请号：CN200510125085.7
申请日：2005-11-18
Applicant: 富士通株式会社
IPC: G02B26/08
CPC classification number: H02N1/008 , G02B26/0841
Abstract: 一种微振荡元件，包括框架以及经扭转接合部件连接到框架的振荡部件。振荡部件包括可移动操作部件、臂部件以及第一梳齿电极。臂部件从可移动操作部件延伸。第一梳齿电极包括在与臂部件相交的方向上从臂部件延伸的多个第一电极齿。微振荡元件还包括第二梳齿电极，以与第一梳齿电极配合使得振荡部件绕着扭转接合部件限定的振荡轴振荡。第二梳齿电极包括在与臂部件相交的方向上从框架延伸的多个第二电极齿。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1318878C
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN02829427.0
申请日：2002-08-14
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/007 , B81B2201/0235 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154 , B81B2203/058
Abstract: 一种微型摇动元件，具有框架(113)和通过连结部(112)与该框架(113)连结的摇动部件(111)。各连结部(112)包含2个扭杆(112a)，各扭杆(112a)形成多个孔(112b)，由此，按照朝向框架(113)刚性相对高、且朝向摇动部件(111)刚性相对低的方式构成。
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公开(公告)号：CN1242285C
公开(公告)日：2006-02-15
申请号：CN03101716.9
申请日：2003-01-17
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体器件株式会社
IPC: G02B6/35 , G02B26/08 , H01L21/3213
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B2201/045 , B81B2203/0136 , B81C1/00182 , B81C2203/0109 , Y10S359/904
Abstract: 微镜单元包含带有镜部分的运动件、框架以及连接运动件与框架的扭杆。运动件、框架和扭杆集成制作在材料衬底上。框架含有比运动件厚的部分。
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公开(公告)号：CN1467521A
公开(公告)日：2004-01-14
申请号：CN03101716.9
申请日：2003-01-17
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体器件株式会社
IPC: G02B6/35 , G02B26/08 , H01L21/3213
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B2201/045 , B81B2203/0136 , B81C1/00182 , B81C2203/0109 , Y10S359/904
Abstract: 微镜单元包含带有镜部分的运动件、框架以及连接运动件与框架的扭杆。运动件、框架和扭杆集成制作在材料衬底上。框架含有比运动件厚的部分。
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公开(公告)号：CN107003173B
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN201480083503.8
申请日：2014-11-21
Applicant: 富士通株式会社
IPC: G01F23/292 , G01F1/00
Abstract: 本发明提供一种测量在管路内流动的液体的水位的水量测量装置，具备：发光元件，其对上述液体的液面照射光；受光元件，其接收被上述液面反射出的光和被上述管路内的底面的液底反射出的光；存储部，其预先存储从上述发光元件到上述管路内的上述液底的距离V0；以及计算处理部，若用V1表示基于上述受光元件的输出信号求出的距离数据的上侧的包络线的平均值所表示的距离并用V2表示下侧的包络线的平均值所表示的距离，则在测量上述水位时，在对上述距离数据和上述距离V0进行比较后的比较结果表示上述受光元件的输出信号中包含与由于上述管路内的液底的反射而产生的超过上述距离V0的距离相对应的第一信号成分的情况下，使用V1－V0来计算水位D1，在表示包含与因上述液面的反射而产生的小于上述距离V0的距离相对应的第二信号成分的情况下，使用V0－V2来计算水位D2。
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公开(公告)号：CN106574888B
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201480080896.7
申请日：2014-07-25
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G01N15/0205 , G01N15/0255 , G01N15/1404 , G01N15/1459 , G01N25/18 , G01N27/128 , G01N27/16 , G01N2015/0046 , G01N2015/1486
Abstract: 本发明涉及测量颗粒以及气体的测量装置、测量系统以及测量方法，测量装置(10)具备：第一流路(F1)；加热部(17)，其设置于第一流路(F1)的一端侧；气体感测部(15)，其设置于第一流路(Fa)的一端侧，且能够利用从加热部(17)接受到的热来感测气体；颗粒测量部(10a)，其在第一流路(F1)的比加热部(17)靠上方光学测量通过第一流路(F1)的颗粒。
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