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公开(公告)号：CN103843089A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201180073760.X
申请日：2011-10-19
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01L28/60 , H01G5/16 , H01G5/18 , H01H59/0009 , H01H2001/0078 , H01H2059/0045 , H01H2059/0072 , H01L21/6835 , H01L21/687 , H02N1/006
Abstract: 提供能够抑制因热膨胀而引起的可动电极位移的可动电气设备。可动电气设备具有：支撑衬底；第一以及第二固定电极，其形成于支撑衬底上，具有相对于支撑衬底的表面大致垂直的相向电极面，在相向电极面之间划定内腔；可动部，其具有可动电极和弯曲弹簧部，可动电极的第一端接近第一固定电极，第二端接近第二固定电极，弯曲弹簧部与可动电极的第一端、第二端的至少一方连续，且包含向可动电极的厚度方向弯曲的部分；第一、第二固定件，其配置在支撑衬底上，支撑可动部的两端。
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公开(公告)号：CN102074352B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201010537486.4
申请日：2010-11-08
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01P1/2039 , H01P3/081
Abstract: 本发明涉及可变分布常数线路、可变滤波器及通信模块，可变分布常数线路包括衬底；信号线路，其设置在该衬底上，且包括彼此面对的第一线路部分和第二线路部分；可移动电极，其设置在该衬底上方，且以面向第一线路部分和第二线路部分的方式横跨第一线路部分和第二线路部分；以及驱动电极，其以面向该可移动电极的方式设置在该衬底上，通过施加在该驱动电极和该可移动电极之间的电压作用吸引该可移动电极，且改变该信号线路和该可移动电极之间的距离。
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公开(公告)号：CN101894808B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201010184335.5
申请日：2010-05-21
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H59/0009 , B81B7/007 , B81B2201/014 , H01L2224/16225 , H01L2924/1461 , H01L2924/16195 , H01L2924/19041 , H01L2924/30105
Abstract: 本发明提供了一种电子装置及其制造方法。该电子装置包括衬底；设置在衬底上方的可移动电极；设置为面向可移动电极的静止电极；设置在衬底上并且围绕可移动电极和静止电极的墙部分；膜构件，其固定到在可移动电极和静止电极上方的墙部分，并且膜构件密封包括可移动电极和静止电极的空间；以及支撑部分，除了可移动电极和静止电极之外，还将支撑部分设置在衬底上的墙部分的内侧，以从空间的内部支撑膜构件。
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公开(公告)号：CN101226856B
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN200810001293.X
申请日：2008-01-17
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H59/0009 , H01H61/04 , H01H2057/006 , H01H2061/006 , Y10T29/49105
Abstract: 一种用于传统技术中无线通讯设备的微开关器件及其制造方法，所述微开关器件包括：固定部；可移动部；第一电极，具有第一触点和第二触点；第二电极，具有与第一触点相接触的第三触点；以及第三电极，具有与第二触点相对的第四触点。在制造微开关器件的过程中，在衬底上形成第一电极，再在衬底上形成牺牲层以覆盖第一电极。然后，在牺牲层中对应于第一电极的位置形成第一凹部和较浅的第二凹部。形成第二电极，第二电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第一凹部。形成第三电极，第三电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第二凹部。然后去除牺牲层。所述微开关器件能够抑制可移动接触电极在朝着固接接触电极的方向上的波动。
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公开(公告)号：CN101752088B
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN200910221923.9
申请日：2009-11-23
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明公开了可变电容元件。可变电容元件包括：基板；设置在基板上的信号线；设置为横跨信号线并且具有被固定到基板的第一端和第二端的可移动电极；以及设置在可移动电极两端中的至少一个与基板之间的固定电容部分。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1988080B
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200610144641.X
申请日：2006-11-09
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 一种电子元件，包括衬底以及位于该衬底上的电容器单元。该电容器单元具有层叠结构，该层叠结构包括设置在该衬底上的第一电极层、与该第一电极层相对的第二电极层以及位于该第一电极层与该第二电极层之间的电介质层。该第一电极层具有多层结构，该多层结构包括与该电介质层接合的粘合金属层。该粘合金属层在该电介质层一侧设置有氧化物涂层。
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公开(公告)号：CN102190286A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110057805.6
申请日：2011-03-04
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明涉及制造MEMS器件的方法以及MEMS器件，并提供了制造优选地用于微机电系统的器件的制造方法。该方法包括以下步骤：在衬底上形成第一电极，其中第一电极至少在其一端处具有第一倾斜端部；在第一电极上形成牺牲层，其中牺牲层具有第一倾斜边缘，该第一倾斜边缘和第一倾斜端部彼此叠置，使得第一倾斜边缘的厚度随着第一倾斜端部的厚度增加而减小；在第一电极上形成第一隔离体，其中第一隔离体与第一倾斜边缘接触；在牺牲层和第一隔离体上形成梁电极；以及在形成梁电极以后去除牺牲层。
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公开(公告)号：CN102134051A
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN201010570789.6
申请日：2010-11-29
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H59/0009 , H01P1/12
Abstract: 本发明公开一种电子器件，其包括衬底，所述衬底包括有源层；信号电极，所述信号电极形成于所述有源层的表面上；第一驱动电极，所述第一驱动电极形成于所述有源层的所述表面上，并且连接到接地；和第二驱动电极，所述第二驱动地电极包括第一部分和第二部分，所述第一部分形成于所述有源层的所述表面上，所述第二部分连接到所述第一部分，并且所述第二部分设置在所述第一驱动电极上方。所述衬底具有环状凹槽，所述环状凹槽穿透所述有源层并且围绕所述第一部分。
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公开(公告)号：CN101241228B
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200810083322.1
申请日：2005-11-18
Applicant: 富士通株式会社
IPC: G02B26/08
CPC classification number: H02N1/008 , G02B26/0841
Abstract: 一种微振荡元件及微振荡元件阵列，微振荡元件包括：第一框架；振荡部件，其包括可移动操作部件、第一臂部件及第一梳齿电极，第一臂部件从可移动操作部件延伸，第一梳齿电极包括多个在与第一臂部件相交的方向上从第一臂部件延伸的第一电极齿；第一扭转接合部件，其将第一框架与振荡部件相互连接，并且限定振荡部件作振荡操作的第一振荡轴；第二梳齿电极，其与第一梳齿电极配合以使振荡部件振荡，第二梳齿电极包括多个在与第一臂部件相交的方向上延伸的第二电极齿；第二框架；及第二扭转接合部件，其将第一框架与第二框架相互连接，且限定第一框架相对于第二框架作振荡操作的第二振荡轴。本发明能够保持足够的驱动力驱动振荡部件作振荡操作。
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公开(公告)号：CN101859643A
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN201010124349.8
申请日：2010-02-26
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明公开一种可变电容元件。所述可变电容元件设置有衬底、设置在衬底上的信号线、设置在衬底上的固定电极和可动电极。可动电极包括可动部分和固定部分，可动部分跨过信号线并延伸到固定电极上方，并可相对于固定电极移动，固定部分隔着介电层固定到固定电极。
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