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公开(公告)号：CN105452742B
公开(公告)日：2017-09-12
申请号：CN201480034078.3
申请日：2014-08-08
申请人： 株式会社富士金
CPC分类号： F16K51/02 , F16K15/063 , F16K15/186 , F16K31/1221 , F16K31/1226 , G05D16/0619 , G05D16/18 , Y10T137/7877 , Y10T137/7878
摘要： 真空阀(1)具有：设定当连通被开放时的1次侧通路的流体压力的设定值的开放压力设定机构(6)；和与1次侧通路的流体压力无关地将连通强制开放的强制开放机构(7)。开放压力设定机构(6)具有：固定于阀杆(5)的弹簧支承件(17)；下端支承于弹簧支承件(17)的压缩螺旋弹簧(18)；和推动压缩螺旋弹簧(18)的上端并其能够沿轴向移动的调整螺丝(19)。强制开放机构(7)具有：在弹簧支承件(17)的下方能够上下移动地与阀杆(5)嵌合的活塞(21)；和通过压缩空气使活塞(21)向上方移动而使活塞(21)与弹簧支承件(17)一体地向上方移动的活塞驱动机构(22)。
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公开(公告)号：CN107003236A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580063098.8
申请日：2015-11-20
申请人： 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学
IPC分类号： G01N21/27 , C23C16/52 , G01N21/33 , H01L21/205
摘要： 提供一种能够通过简单的方法以不破坏的方式准确且迅速地测定规定的化学成分的直至极微量区域的浓度的浓度测定方法以及能够准确、迅速且实时地测定被测定对象中的化学成分的直至纳米级的极微量浓度范围的浓度、并具备在各种形态和方式中能够被具体化的万能性的浓度测定方法。利用分时法向被测定对象分别照射针对被测定对象而言的光吸收率不同的第一波长的光和第二波长的光，由共通的光接收传感器接收通过各波长的光的该照射而从被测定对象以光学的方式通过的各波长的光，形成同该接收相应地从所述光接收传感器输出的同第一波长的光相关的信号与同第二波长的光相关的信号的差动信号，根据该差动信号导出被测定对象中的化学成分的浓度。
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公开(公告)号：CN106164549A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201680000963.9
申请日：2016-02-05
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： F16K7/17 , F16K31/122
CPC分类号： F16K7/17 , F16K31/122 , F16K31/1221 , F16K31/1225
摘要： 本发明提供一种流体控制器，其抑制了因用于设定单元的部件追加、追加的加工而引起的成本的增加，消除了阀杆上方移动量的设定值变化的问题。形成为隔膜按压件(7)的外周缘部的上表面与按压接合件(15)的内周缘部的下表面隔着第1隙间(A)而对置。通过将第1隙间(A)设定为规定值而对隔膜按压件(7)向上方的移动量进行设定。
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公开(公告)号：CN105190142A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201480004461.4
申请日：2014-03-17
申请人： 株式会社富士金
摘要： 本发明通过实现在流量控制装置等中使用的压电元件驱动式金属隔膜控制阀的构造的简单化和小型化、组装及维护检修的容易化，不会造成半导体制造装置用集成化气体供给装置等的大型化，就可以应对供给气体种类、供给电路数量的增加的要求。本发明由下述部件构成：包括具有阀座(6)的上方敞口的阀室用孔部(1a)和与之连通的流体入口通路(7a)以及流体出口通路(7b)的阀主体(1)；在阀座(6)的上方相对状配设并且外周缘固定于阀室用孔部(1a)的底面的倒碟形的金属隔膜阀体(2)；螺纹旋插到阀室用孔部(1a)中并按压固定金属隔膜阀体(2)的外周缘的压紧螺钉(5)；通过压紧螺钉(5)内部并插入到阀室用孔部(1a)内，在前端部的底壁下方具备隔膜压件(3)，并且在侧壁上相对且贯通状地设置有从侧壁的上端到达中间部的长方形的切口(22a)的下部支承筒体(22)；螺接到下部支承筒体(22)的上端部而形成支承筒体(23)的圆筒状的上部支承筒体(21)；载置在下部支承筒体(22)的底壁上的具有保持部(8a)的碟簧承受台(8)；载置在碟簧承受台(8)上的碟簧(18)；插通下部支承筒体(22)的切口(22a)而水平配设，中央具有保持碟簧保持部(8a)的前端部的碟簧承受台引导孔(19)，并且在两端部设置有螺栓插入孔(20)的支承台架(16)；载置在支承台架(16)的碟簧承受台引导孔(19)的上方的下部承受台(9)；插入下部承受台(9)的上方的支承筒体(23)内的压电元件(10)；具备引导筒(24a)和从其下端部向两侧突出的凸缘部(24c)，使支承筒体(23)以能够向上下方向移动的方式插通到引导筒(24a)内，并且使凸缘部(24c)与支承台架(16)的两端部相对，利用固定用螺栓(17)与所述支承台架(16)一并被固定于阀主体(1)的引导体(24)；和螺接在上部支承筒体(21)的上端部的定位螺母(12)，通过压电元件(10)的伸长将支承筒体(23)推向上方，利用金属隔膜阀体(2)的弹力使其从阀座(6)分离。
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公开(公告)号：CN102678725A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210065635.0
申请日：2012-03-09
申请人： 东京毅力科创株式会社 , 株式会社富士金
CPC分类号： F16B39/101 , F16B39/103 , Y10T29/49826 , Y10T29/53 , Y10T403/50
摘要： 本发明涉及一种螺栓的防松装置及其安装方法以及安装夹具。本发明提供一种螺栓的防松装置，其部件的构造简化、且能够容易地进行安装作业。具有：分别以不能相对旋转的方式嵌合在多根螺栓(5)的各头部上的多个嵌合部件(2、3)；横跨多个嵌合部件(2、3)地被嵌合的卡合部件(4)。各嵌合部件(2、3)的外周面(2b、3b)为非圆形，在卡合部件(4)上设有与多个嵌合部件(2、3)的各非圆形外周面(2b、3b)对应的多个卡合孔(非圆形卡合部)(8a、8b)。
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公开(公告)号：CN101233350B
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200680028029.4
申请日：2006-05-10
申请人： 株式会社富士金
CPC分类号： F16J3/02 , F16K7/14 , F16K31/1225 , F16K31/1226
摘要： 在直接接触型金属隔膜阀中，在保持适当的流量系数Cv的状态下使阀的耐久性即能够保证的阀的连续开闭动作次数大幅增加，并且抑制阀座的经时变形，使上述Cv值的经时变动变得更少。在直接接触型金属隔膜阀中，令上述金属隔膜通过多片金属钢薄板和镍钴合金薄板的层叠体构成且形成为使中央部向上方隆起的圆形的倒盘形，并且将上述金属薄膜的最大隆起高度Δh的55～70％的距离限制为阀的最大阀行程ΔS。
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公开(公告)号：CN100439780C
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200480041489.1
申请日：2004-11-30
申请人： 株式会社富士金
IPC分类号： F16K31/122
CPC分类号： F16K7/14 , F16K31/1221
摘要： 流体控制器(71)具备：自动开关时工作部件(75)，其通过向形成于套筒(73)内的压缩流体导入室(90)内进行压缩流体的导入或排出而上下移动，使阀芯压板(5)抵抗压缩螺旋弹簧(77)的弹压力移动至打开位置；手动开关时工作部件(74)，其通过手动操作而上下移动，通过被移动至下方而直接将阀芯压板(5)推压至下方。
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公开(公告)号：CN101233350A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200680028029.4
申请日：2006-05-10
申请人： 株式会社富士金
CPC分类号： F16J3/02 , F16K7/14 , F16K31/1225 , F16K31/1226
摘要： 在直接接触型金属隔膜阀中，在保持适当的流量系数Cv的状态下使阀的耐久性即能够保证的阀的连续开闭动作次数大幅增加，并且抑制阀座的经时变形，使上述Cv值的经时变动变得更少。在直接接触型金属隔膜阀中，令上述金属隔膜通过多片金属钢薄板和镍钴合金薄板的层叠体构成且形成为使中央部向上方隆起的圆形的倒盘形，并且将上述金属薄膜的最大隆起高度Δh的55～70％的距离限制为阀的最大阀行程ΔS。
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公开(公告)号：CN100406799C
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200380100688.0
申请日：2003-10-31
申请人： 株式会社富士金
摘要： 一种流体接头及其设计方法，其中，垫圈(4)的突起(7)的截面形状呈梯形，该梯形由成为外周面的缩径锥形面(7a)、成为内周面的扩径锥形面(7b)及成为前端面的平坦面(7c)划分而成。垫圈(4)的硬度、突起(7)的锥形面(7a、7b)之间的夹角角度、突起高度及突起前端的平坦面(7c)的面积设定为使紧固接头时的推力值处于规定的最小值与最大值之间。
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