公开(公告)号：CN101198815A

公开(公告)日：2008-06-11

申请号：CN200580050125.4

申请日：2005-08-10

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： W·F·芬斯 ,  G·W·奥克斯 ,  糸井茂

IPC: F16K27/00

CPC classification number: F16K27/003 ,  F15B13/0817 ,  F15B13/0871 ,  F15B13/0892 ,  F15B13/0896

Abstract: 本发明提供一种集成化流体控制装置，其能够从对管线的通路进行连接的管线间连接机构中消除焊接部位，并能够抑制零件数的增加，从而能够更容易地应对管线的增设和改变。对横向相邻的管线进行连接的管线连接机构(50)包括：形成于第一管线的双向连接块状接头(64)上的横向突出部(64b)；形成于第二管线的双向连接块状接头(64)上并能够供横向突出部(64b)嵌入的凹部(64c)；形成于双向块状接头(64)的接头内分支通路(82)；设于第一管线的开关阀(54)的主体(54a)上，且将阀主体内主通路(89)与接头内分支通路(82)的接头主体上表面开口(82a)始终连通的第一阀主体内分支通路(90A)；设于第二管线的开关阀(54)的主体(54a)上，且将阀主体内主通路(89)与接头内分支通路(82)的横向突出部(64b)上表面开口始终连通的第二阀主体内分支通路(90B)。

公开(公告)号：CN101198815B

公开(公告)日：2010-05-12

申请号：CN200580050125.4

申请日：2005-08-10

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： W·F·芬斯 ,  G·W·奥克斯 ,  糸井茂

IPC: F16K27/00

CPC classification number: F16K27/003 ,  F15B13/0817 ,  F15B13/0871 ,  F15B13/0892 ,  F15B13/0896

Abstract: 本发明提供一种集成化流体控制装置，其能够从对管线的通路进行连接的管线间连接机构中消除焊接部位，并能够抑制零件数的增加，从而能够更容易地应对管线的增设和改变。对横向相邻的管线进行连接的管线连接机构(50)包括：形成于第一管线的双向连接块状接头(64)上的横向突出部(64b)；形成于第二管线的双向连接块状接头(64)上并能够供横向突出部(64b)嵌入的凹部(64c)；形成于双向块状接头(64)的接头内分支通路(82)；设于第一管线的开关阀(54)的主体(54a)上，且将阀主体内主通路(89)与接头内分支通路(82)的接头主体上表面开口(82a)始终连通的第一阀主体内分支通路(90A)；设于第二管线的开关阀(54)的主体(54a)上，且将阀主体内主通路(89)与接头内分支通路(82)的横向突出部(64b)上表面开口始终连通的第二阀主体内分支通路(90B)。

公开(公告)号：CN1914445A

公开(公告)日：2007-02-14

申请号：CN200480041489.1

申请日：2004-11-30

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 坪田宪士 ,  山路道雄 ,  糸井茂 ,  筱原努 ,  德田伊知郎

IPC: F16K31/122

CPC classification number: F16K7/14 ,  F16K31/1221

Abstract: 流体控制器(71)具备：自动开关时工作部件(75)，其通过向形成于套筒(73)内的压缩流体导入室(90)内进行压缩流体的导入或排出而上下移动，使阀芯压板(5)抵抗压缩螺旋弹簧(77)的弹压力移动至打开位置；手动开关时工作部件(74)，其通过手动操作而上下移动，通过被移动至下方而直接将阀芯压板(5)推压至下方。

公开(公告)号：CN1464950A

公开(公告)日：2003-12-31

申请号：CN02802325.0

申请日：2002-04-24

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 糸井茂

IPC: F16K7/14

CPC classification number: F16K31/1221 ,  F16K1/42 ,  F16K7/14 ,  F16K7/16

Abstract: 提供用于半导体制造装置等的金属隔膜阀是使通过阀本体的流入路、从阀室流至流出路，通路阻力小，虽然小型，但通过的流量大；本发明的金属隔膜阀由备有流入路(6)阀室(8)流出路(7)的阀体(2)、金属隔膜(3)、驱动装置(4)、环状沟(5)构成，并具有以下特征：前述环状沟(5)的沟宽相比流出路(6)的直径要大，同时，与环状沟(5)流出路(6)之间交叉部分的有效横截面积要比流出路(6)的横截面积大。

公开(公告)号：CN100439780C

公开(公告)日：2008-12-03

申请号：CN200480041489.1

申请日：2004-11-30

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 坪田宪士 ,  山路道雄 ,  糸井茂 ,  筱原努 ,  德田伊知郎

IPC: F16K31/122

CPC classification number: F16K7/14 ,  F16K31/1221

Abstract: 流体控制器(71)具备：自动开关时工作部件(75)，其通过向形成于套筒(73)内的压缩流体导入室(90)内进行压缩流体的导入或排出而上下移动，使阀芯压板(5)抵抗压缩螺旋弹簧(77)的弹压力移动至打开位置；手动开关时工作部件(74)，其通过手动操作而上下移动，通过被移动至下方而直接将阀芯压板(5)推压至下方。

公开(公告)号：CN1265112C

公开(公告)日：2006-07-19

申请号：CN02802325.0

申请日：2002-04-24

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 糸井茂

IPC: F16K7/14

CPC classification number: F16K31/1221 ,  F16K1/42 ,  F16K7/14 ,  F16K7/16

Abstract: 提供用于半导体制造装置等的金属隔膜阀是使通过阀本体的流入路、从阀室流至流出路，通路阻力小，虽然小型，但通过的流量大；本发明的金属隔膜阀由备有流入路(6)阀室(8)流出路(7)的阀体(2)、金属隔膜(3)、驱动装置(4)、环状沟(5)构成，并具有以下特征：前述环状沟(5)的沟宽相比流出路(6)的直径要大，同时，与环状沟(5)流出路(6)之间交叉部分的有效横截面积要比流出路(6)的横截面积大。