-
公开(公告)号：CN105137717A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510474801.6
申请日：2015-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 基于Compact Differential Evolution算法的光刻机掩模台微动台的机械参数软测量方法，属于半导体制造装备技术领域及机械参数测量领域。为了解决现有工件台微动部分机械参数估计算法精度差的问题。所述方法包括如下步骤：步骤一：根据掩模台微动台的机械机构及其理论设计，建立微动台的理想运动学模型，确定待测机械参数，建立掩模台微动台含差模型；步骤二：给定位置输入，驱动微动台运动产生位移，将实际输出位移与通过建立的掩模台微动台含差模型计算出的输出位移值做差，作为导优的目标函数；步骤三：根据目标函数，利用Compact Differential Evolution优化学习算法确定待辨识的机械参数。它用于微动台的机械参数求取。
-
公开(公告)号：CN105005180A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201510475149.X
申请日：2015-08-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于拨杆机构的双工件台换台自转装置，本发明属于半导体制造装备的技术领域。它的第一抓卡机构抓卡在第一环形座上，第二抓卡机构抓卡在第二环形座上，第一直线滑动轴承安装在第一上平台下端面上，第二直线滑动轴承安装在第二上平台下端面上；第一直线导杆的一端垂直安装在第一随动导杆驱动器上，第二直线导杆的一端垂直安装在第二随动导杆驱动器上；第一直线导杆的另一端滑动镶嵌在第一直线滑动轴承内，第二直线导杆的另一端滑动镶嵌在第二直线滑动轴承内。本发明将工件台自转的旋转运动转化为拨杆驱动器的直线运动，可以减小控制系统的设计难度；解决了以往旋转换台方案硅片台相位反转与光学系统配套难的问题。
-
公开(公告)号：CN105004264A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201510434375.3
申请日：2015-07-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 基于VME总线的多路激光干涉仪数据的同步读取方法，属于高精度运动控制系统的信号采集与数据通信技术领域，本发明为解决读取多路激光干涉仪数据时，相互冲突、未加区分识别以及缺失同步性的问题。本发明应用VME总线通信机制，设计同步传输-存储卡产生同步时钟、数据存储信号、地址信号以及读使能信号，完成单块干涉信号处理卡到同步传输-存储卡的信号交互，用来实现最多四路激光干涉仪数据的同步读取，然后扩展到多块干涉信号处理卡，通过添加高位地址线的方法来区分干涉信号处理卡，从而解决了读取不同卡时地址冲突的问题，最终实现了任意路激光干涉仪数据的同步读取。
-
公开(公告)号：CN104914683A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510353919.3
申请日：2015-06-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种三自由度光刻机双工件台框架气浮补偿方法，本发明属于光刻机双工件台框架运动控制的高精度控制定位的技术领域。它的方法步骤为：在框架的一个长边同一侧固定安装第一三角光传感器、第二三角光传感器，在框架的短边上固定安装第三三角光传感器；设传感器的测量值在初始值的基础上变化了△m1,△m2,△m3，利用△m1,△m2求角度θ；以第二三角光传感器为研究对象，计算三个运动对第二三角光传感器读数的影响；得出框架沿Y方向偏移的距离△Y，在X向偏移的距离△X；根据θ,△X,△Y的值进行电机给定补偿；补偿公转电机控制给定，补偿X/Y电机的控制给定。本发明可以实现光刻机双工件台的换台补偿，对于外界的对框架的干扰可以实时动态补偿宏动电机的控制给定，达到顺利换台的目的。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104029829A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410277196.9
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于双频激光干涉仪的垂向伺服机构测量装置及利用其实现高精度垂向运动的方法，属于物理仿真领域。所述伺服机构测量装置包括气路部分、线性电机部分、传感器部分和垂向运动部分。本发明通过高压气瓶为内套筒腔部提供恒压气体，并通过气压控制器调节比例阀开度使外套筒部分得到重力补偿；通过外部工控机发送位置指令给控制器，控制器控制定子内部磁场实现垂向运动，驱动动子带动外套筒垂向运动；双频激光干涉仪实时测量当前位移量，并根据压力、温度、湿度测量单元测量的当前气压、温度、湿度对测量值实时校正，从而控制线性电机部分实现外套筒的高精度垂向运动。本发明具有控制方便、摩擦力小、行程长、精度高等优点。
-
公开(公告)号：CN103869834A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201410128664.6
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D3/12
Abstract: 基于经验模态法的三轴气浮台质心智能调节方法，解决了现有气浮台质心信调节方法的调节精度低，稳定性差的问题，本发明采用三组质心调节机构对三轴气浮台质心进行调节，每组质心调节机构包括电机和质量块，电机用于带动质量块移动，三组质心调节机构均布并安装在三轴气浮台载物平台上，且每组质心调节机构均能够上下移动；采用电子倾角仪测量三轴气浮台载物平台的X轴方向的角度信息，采用电子倾角仪测量三轴气浮台载物平台的Y轴方向的角度信息，采用工控机控制电机移动，实现轴气浮台的质心调节。本发明适用于三轴气浮台质心调节。
-
公开(公告)号：CN103868648A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201410128649.1
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M1/12
Abstract: 三轴气浮仿真实验平台的质心测量方法，属于物理仿真领域，本发明为解决现有测量气浮台质心技术存在的问题。本发明方法包括以下步骤：步骤一、采用双轴倾斜角传感器测量、获取X轴角速度ωx和Y轴角速度ωy；采用角加速度传感器测量、获取Z轴角速度ωz；步骤二、列出三轴气浮仿真实验平台的运动学方程：步骤三、列出三轴气浮仿真实验平台的动力学方程：步骤四、对步骤三所述动力学方程的三个公式分别在时间t0、t1和t2内进行积分，并与步骤二的运动学方程联立求解，获取三轴气浮仿真实验平台的质心位置（rx，ry，rz）。
-
公开(公告)号：CN103863585A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201410128807.3
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 三自由度空间模拟器，属于航空航天领域模拟设备领域。为了解决空间仿真试验设备存在通用性不强、成本高、机械结构复杂和维护费用昂贵的问题。它包括两自由度平动部分和单自由度旋转部分，所述模拟器的支撑面之间采用高压气瓶利用气浮原理设计，两自由度平动部分通过气浮导轨、气浮槽、X轴光栅尺和Y轴光栅尺实现水平XY方向的水平运动，单自由度旋转部分通过旋转轴、反作用飞轮和圆光栅尺实现360°顺逆时针方向的运动，所述模拟器还包括三个通信控制器，分别采集X轴方向、Y轴方向和旋转轴方向的位置信息，同时还用于驱动模拟器的喷嘴进行喷气。它用于航空航天实验模拟外太空微重力和微干扰环境。
-
公开(公告)号：CN103847986A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201410128695.1
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 带有随动线缆台的气浮台，属于航天器的仿真测试设备技术领域。本发明为了解决现有气浮台由于供气的高压气瓶的容量有限，而造成其运行时间短的问题。它包括气浮、测量、随动线缆台、载物台及上位机五个部分，底座上所有的部件均处于气浮状态，两个随动线缆台用于提供外部的气路和电路的接口，由此保障模拟工作持续的进行，运行时间不受限制；两个位置传感器分别检测两个元件之间的相对位置关系，再通过上位机的控制，通过控制各元件喷嘴的喷气，来保持设备的同步。本发明为航天器的仿真测试气浮台。
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
49
records
(took 0.035 seconds)
