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公开(公告)号：CN103105592A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201310032909.0
申请日：2013-01-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种单芯片三轴磁场传感器及制备方法。所述单芯片三轴磁场传感器至少包括：第一基底；形成于第一基底表面的至少两个第一电极及至少四个第二电极；与所述第一基底键合的第二基底，其具有与两个第一电极分别形成电容结构的单轴扭转结构、以及与至少四个第二电极分别形成电容结构的双轴扭转结构；形成于所述单轴扭转结构表面、且能在第一方向的磁场作用下产生相应磁扭矩的第一磁性薄膜结构；以及形成于所述双轴扭转结构表面、且能在第二及第三方向的磁场作用下产生相应磁扭矩的第二磁性薄膜结构。本发明的三轴磁场传感器具有灵敏度高、尺寸小、功耗低、低成本、封装简单等优点。
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公开(公告)号：CN102323738A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110203006.5
申请日：2011-07-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G04F5/14
Abstract: 本发明涉及一种槽型原子气体腔及其构造的原子钟物理系统。所述的槽型原子气体腔由设有槽的硅片和Pyrex玻璃片键合围成腔体结构构成；该腔体结构用于充入碱金属原子蒸汽和缓冲气体；所述槽的横截面为倒梯形，该槽包括底面和与底面成夹角的侧壁。所述的槽型原子气体腔基于MEMS技术制造，由 单晶硅片通过硅各向异性腐蚀形成硅槽，并通过硅-玻璃阳极键合制作槽型腔，槽型气体腔的侧壁为硅片的{111}晶面。本发明的优点是利用所述的槽型原子气体腔，通过原子腔体尺寸设计易于增加腔内两反射镜之间的距离，从而增加了激光与原子气体间的相互作用空间长度，使相干布局囚禁效应（Coherentpopulationtrapping,CPT）信号的信噪比增强，有利于提高微型CPT原子钟频率稳定度。
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公开(公告)号：CN102205941A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201110107167.4
申请日：2011-04-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于微机电系统(MEMS)制造工艺的微型原子腔气密性封装结构与方法。其特征在于应用MEMS工艺制作的微型原子腔通过支撑结构放置于玻璃或金属密封缓冲腔中，改善微型原子腔的气密性，从而提高基于微型原子腔的器件如微型原子钟等的寿命和稳定性。本发明的关键在于玻璃或金属缓冲腔结构，缓冲腔内抽真空或充入与微型原子腔内气体成分、压强接近的缓冲气体，微型原子腔器件引线穿过缓冲腔实现气密性引出。这种封装结构及方法能够有效降低微型原子腔与外界的泄漏率，解决了微型原子腔器件的寿命短的技术问题。本发明所涉及的气密封装结构，特别适合在低功耗、微小体积的微型原子钟、微型原子磁强计、微型原子陀螺仪等微型原子腔器件的应用。
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公开(公告)号：CN102183822A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201110100053.7
申请日：2011-04-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种椭圆光斑光纤准直器，其特征在于所述的椭圆光斑光纤准直器由光纤头11、平面光波导转换器12、准直微透镜13三部分依次耦合构成；其中，平面光波导转换器12通过过渡波导实现波导在宽度或厚度方向上的展宽或压缩，从单模光纤输出的圆形模场光斑，耦合进入平面光波导转换器，经过过渡波导传输后转换为椭圆模场光斑，然后再经过准直微透镜形成椭圆光斑准直光束。本发明的椭圆光斑光纤准直器的关键部件是平面光波导转换器，可采用成熟的平面波导工艺批量制作，成本低，易于实现。利用本发明的椭圆光斑光纤准直器和微镜制作光开关或衰减器，使平移微镜的移动方向与椭圆光斑的短轴方向一致，可以大大减小对于微镜行程的要求。
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公开(公告)号：CN100564243C
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200610023325.7
申请日：2006-01-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B82B3/00
Abstract: 本发明涉及一种低温圆片级微型气体盒的制作方法，其特征在于利用苯并环丁烯材料进行材料键合和半导体材料的湿法腐蚀或干法刻蚀技术，在250℃的低温条件下键合，实现芯片级气体盒的圆片级气密性封装键合，包括芯片级原子钟气体盒、高精度磁场传感器气体盒、原子反馈式微光稳频装置的原子气体盒、原子滤光器的原子气体盒或微光学法布里—珀罗腔制作，键合后BCB胶厚度为0.2μm，密z封腔体He气的气密性达2.1～5.9×10-4Pa cm3/s，键合强度大于4.65MPa以及热循环可靠性完全达到微电子器件的封装标准。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1844937A
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN200610026521.X
申请日：2006-05-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R19/00
Abstract: 本发明涉及一种基于微电子机械系统(Micro－Electronic MechanicSystem，MEMS)的光电检流计、制作及其检测方法，其特征在于采用微机械工艺制作螺旋线圈式MEMS扭转微镜。无需放大电路，将待测的直流或低频微弱电流输入驱动线圈，置于外加永磁铁产生的强磁场中，驱动线圈将受到洛伦兹力产生的力矩作用，驱动微镜偏离初始位置，利用双光纤准直器对角度非常敏感的特性进行检测，根据光信号的损耗量与扭转角度的关系，经过光电转换与信号处理后测量出电流值。这种MEMS光电检流计，输入端无需放大电路，可达到安培至皮安量级电流的直接准确测量，克服了微弱电流信号放大过程中引起的噪声干扰和漂移等技术问题，同时可以实现输入端与输出端的光电隔离，是一种体积小、结构简单、成本低、可以批量生产和抗震性好的高灵敏度光电检流计。
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公开(公告)号：CN1232867C
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：CN200310122869.5
申请日：2003-12-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于光纤超声超结构光栅的可调滤波器及调制方法。其特征在于该可调滤波器包括产生反射谱线的光纤光栅，超声辐射器，聚能器，超声吸收器，以及支架。聚能器安装在超声辐射器和光纤光栅之间，超声辐射器与聚能器面积大的端面表面粘结，聚能器呈喇叭口形状，光纤光栅的另一端安装超声吸收器。光纤超声超结构光栅的反射谱存在多个反射峰，其反射峰的波长间隔由超声波的频率决定，反射率可由超声波的功率调节。因此，可以通过改变超声波的频率和功率，调节一阶反射谱的反射波长和反射率，从而可以实现光通道的功率监测和可重构的光上下解复用器。本发明结构紧凑，调谐速度快，调谐范围宽；对光纤光栅轴线方向不施加任何应力，延长了使用寿命。
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公开(公告)号：CN1206550C
公开(公告)日：2005-06-15
申请号：CN03116501.X
申请日：2003-04-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种垂直光滑的反射微镜的制作方法，其特征在于利用硅的干法刻蚀和各向异性腐蚀相结合在绝缘层上的硅材料上制作的；具体步骤是：(1)在绝缘层上的硅上生长一层可用于硅的各向异性腐蚀的掩模；(2)在掩模上光刻出制作镜子的窗口；(3)利用步骤(2)中的光刻胶或已经光刻出镜子窗口的掩模作掩模进行硅的干法刻蚀，刻蚀出垂直、相对光滑的镜面；(4)在各向异性腐蚀液中腐蚀，而制成垂直、光滑的镜面。本发明优点在于镜面光滑，可在更小区域内制作面积是足够大镜面；无用区域小以及工艺简单，仅增加一步干法刻蚀工艺。
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公开(公告)号：CN1556426A
公开(公告)日：2004-12-22
申请号：CN200410015742.8
申请日：2004-01-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 一种反射式阵列波导调制型光开关，由输入/输出波导阵列、平板波导区、调制波导阵列、调制器阵列、反射镜阵列、可调光衰减器阵列等基本单元构成。输入/输出波导阵列，平板波导区，调制波导阵列依次以锥形波导直接耦合连接，可调光衰减器阵列制作在输入/输出波导阵列上，调制器阵列制作在调制波导阵列上，反射镜阵列制作在调制波导阵列的末端。输入光信号由平板波导区耦合进调制波导阵列，并经反射镜阵列的反射，在调制波导阵列中实现两次调相，从而使不同调制波导中的光信号产生相位调制。不同相位的光信号在平板波导区实现多光束干涉，控制光束输出到指定的输出波导，实现1×N光开关功能。且可构成N×1光开关或N×N光开关阵列。
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公开(公告)号：CN1456923A
公开(公告)日：2003-11-19
申请号：CN03128875.8
申请日：2003-05-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种法布里－珀罗(FP)腔可调光学滤波器件及制作方法。其特征在于将压电驱动方式的稳定性同MEMS批量加工的优势结合起来，并采用特殊的阻挡块结构设计保证腔体两平行镜面的平行度，降低了装配难度，从而保证器件性能。所提供的FP腔体由分解的二块压电块，一上高反膜和一下高反膜构成。上高反膜或为平面型或为凹的球面、柱面或为凹的近似球面、柱面，分别形成平面型或“平凹型”FP谐振腔。本发明工艺，结构简单，成本低廉，没有细梁等易受外界影响的部件，体积小，易于大批量制作，器件稳定可靠，性能优异。
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