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公开(公告)号：CN1554967A
公开(公告)日：2004-12-15
申请号：CN200310122869.5
申请日：2003-12-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于光纤超声超结构光栅的可调滤波器及调制方法。其特征在于该可调滤波器包括产生反射谱线的光纤光栅，超声辐射器，聚能器，超声吸收器，以及支架。聚能器安装在超声辐射器和光纤光栅之间，超声辐射器与与聚能器面积大的端面表面粘结，聚能器呈喇叭口形状，光纤光栅的另一端安装超声吸收器。光纤超声超结构光栅的反射谱存在多个反射峰，其反射峰的波长间隔由超声波的频率决定，反射率可由超声波的功率调节。因此，可以通过改变超声波的频率和功率，调节一阶反射谱的反射波长和反射率，从而可以实现光通道的功率监测和可重构的光上下解复用器。本发明结构紧凑，调谐速度快，调谐范围宽；对光纤光栅轴线方向不施加任何应力，延长了使用寿命。
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公开(公告)号：CN1232867C
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：CN200310122869.5
申请日：2003-12-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于光纤超声超结构光栅的可调滤波器及调制方法。其特征在于该可调滤波器包括产生反射谱线的光纤光栅，超声辐射器，聚能器，超声吸收器，以及支架。聚能器安装在超声辐射器和光纤光栅之间，超声辐射器与聚能器面积大的端面表面粘结，聚能器呈喇叭口形状，光纤光栅的另一端安装超声吸收器。光纤超声超结构光栅的反射谱存在多个反射峰，其反射峰的波长间隔由超声波的频率决定，反射率可由超声波的功率调节。因此，可以通过改变超声波的频率和功率，调节一阶反射谱的反射波长和反射率，从而可以实现光通道的功率监测和可重构的光上下解复用器。本发明结构紧凑，调谐速度快，调谐范围宽；对光纤光栅轴线方向不施加任何应力，延长了使用寿命。
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公开(公告)号：CN1206550C
公开(公告)日：2005-06-15
申请号：CN03116501.X
申请日：2003-04-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种垂直光滑的反射微镜的制作方法，其特征在于利用硅的干法刻蚀和各向异性腐蚀相结合在绝缘层上的硅材料上制作的；具体步骤是：(1)在绝缘层上的硅上生长一层可用于硅的各向异性腐蚀的掩模；(2)在掩模上光刻出制作镜子的窗口；(3)利用步骤(2)中的光刻胶或已经光刻出镜子窗口的掩模作掩模进行硅的干法刻蚀，刻蚀出垂直、相对光滑的镜面；(4)在各向异性腐蚀液中腐蚀，而制成垂直、光滑的镜面。本发明优点在于镜面光滑，可在更小区域内制作面积是足够大镜面；无用区域小以及工艺简单，仅增加一步干法刻蚀工艺。
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公开(公告)号：CN1448737A
公开(公告)日：2003-10-15
申请号：CN03116501.X
申请日：2003-04-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种垂直光滑的反射型微镜的制作方法，其特征在于利用硅的干法刻蚀和各向异性腐蚀相结合在绝缘层上的硅材料上制作的；具体步骤是：(1)在绝缘层上的硅上生长一层可用于硅的各向异性腐蚀的掩模；(2)在掩模上光刻出制作镜子的窗口；(3)利用步骤(2)中的光刻胶或已经光刻出镜子窗口的掩模作掩模进行硅的干法刻蚀，刻蚀出垂直、相对光滑的镜面；(4)在各向异性腐蚀液中腐蚀，而制成垂直、光滑的镜面。本发明优点在于镜面光滑，可在更小区域内制作面积是足够大镜面；无用区域小以及工艺简单，仅增加一步干法刻蚀工艺。
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