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公开(公告)号:CN214150461U
公开(公告)日:2021-09-07
申请号:CN202022296678.2
申请日:2020-10-15
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 一种基于结构光照明频域拓展原理的光学元件表面缺陷高分辨自动检测装置,包括激光光源、准直透镜、声光调制器、空间滤波器、偏振控制模块、反射镜、光阑、空间光调制器、透镜、遮光板、全息衍射片、分光镜、显微物镜、面阵探测器以及可实现声光调制器、偏振方向控制器、空间光调制器、面阵探测器同步的控制系统。同时,本实用新型还公开了一种光学元件表面缺陷高分辨自动检测方法,解决了现有激光干涉结构光照明散斑噪声强、成像调制度各向异性的问题,能够自动进行照明光方向与相位同步切换、偏振态实时匹配,提高了系统稳定性,无需对样品特殊处理或添加荧光剂即可实现光学元器件表面缺陷或微结构的超衍射极限尺度快速测量。
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公开(公告)号:CN205655982U
公开(公告)日:2016-10-19
申请号:CN201620273998.7
申请日:2016-04-05
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/02
Abstract: 本实用新型涉及光学领域,具体提供了一种透镜的透射率测试系统,所述系统包括测试光发生装置、光阑、光阑控制装置、积分球、光谱测试装置以及光谱分析装置,所述测试光发生装置用于提供测试光,所述光阑设置于所述测试光发生装置与所述积分球之间,所述光阑与所述积分球之间用于放置被测透镜,所述积分球的入光孔位于所述被测透镜的焦点位置,所述光阑控制装置用于控制所述光阑的移动以使所述测试光透过所述光阑的通光孔到所述被测透镜预定位置,所述光谱测试装置设置于所述积分球的出光孔方向,用于对所述积分球的输出光进行光谱测试,所述光谱分析装置与所述光谱测试装置电连接,用于对所述光谱测试装置获得的光谱进行光谱分析。
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公开(公告)号:CN205562427U
公开(公告)日:2016-09-07
申请号:CN201521133673.0
申请日:2015-12-30
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Inventor: 姜宏振 , 郑芳兰 , 刘勇 , 刘旭 , 李东 , 杨一 , 陈竹 , 任寰 , 张霖 , 周信达 , 郑垠波 , 原泉 , 石振东 , 巴荣声 , 李文洪 , 于德强 , 袁静 , 丁磊 , 马可 , 马玉荣 , 冯晓璇 , 陈波 , 杨晓瑜
IPC: G01N21/95
Abstract: 本实用新型公开了一种反射型合成孔径数字全息术的光学元件表面疵病检测装置,属于光学检测技术领域中的光学元件表面疵病的检测装置,其目的在于提供一种可测量表面疵病深度跃变范围达λ波长量级的反射型合成孔径数字全息术的光学元件表面疵病检测装置。其技术方案为:包括第一激光器、第一显微物镜、针孔、第一透镜、第二反射镜、第二分光棱镜、第三反射镜、第二透镜、第三分光棱镜、第二显微物镜、衰减器、计算机、CCD相机、第三显微物镜和二维平移台。本实用新型适用于对表面疵病横向尺寸较大的光学元件的表面疵病进行检测。
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公开(公告)号:CN205301164U
公开(公告)日:2016-06-08
申请号:CN201620035889.1
申请日:2016-01-15
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Inventor: 张霖 , 马玉荣 , 杨一 , 任寰 , 石振东 , 马骅 , 原泉 , 冯晓璇 , 陈波 , 杨晓瑜 , 马可 , 李东 , 姜宏振 , 刘勇 , 巴荣声 , 周信达 , 郑垠波
IPC: G01N21/31 , G01N21/33 , G01N21/359
Abstract: 本实用新型涉及一种实时高效的非线性光谱特性测量装置,包括入射光路、测量光路、监测光路、开孔测量光路、闭孔测量光路、计算机处理系统;所述入射光路包括依次设置的白光激光光源、波片、偏振片、第一分束镜;所述监测光路包括第一光谱仪、第二光谱仪、第三光谱仪,所述第一光谱仪、第二光谱仪、第三光谱仪分别与计算机处理系统电连接。本实用新型采用白光激光光源1及滤波轮与传统Z扫描方法相结合的方式,可快速获取材料在多波长下的非线性吸收系数和非线性折射系数,从而得到宽波长范围内材料的光学非线性吸收光谱和非线性折射光谱特性。
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公开(公告)号:CN204431117U
公开(公告)日:2015-07-01
申请号:CN201520096731.0
申请日:2015-02-11
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B25B11/00
Abstract: 本实用新型公开了一种斜端面光学元件透射波面误差检测的专用夹具,涉及专用夹具技术领域中的斜端面光学元件专用夹具,其目的在于提供一种斜端面光学元件摆放角度可调的斜端面光学元件透射波面误差检测的专用夹具。其技术方案为:包括用于调节斜端面光学元件摆放角度的刻度盘,所述刻度盘可绕刻度盘的轴线转动,所述刻度盘上设置有用于放置斜端面光学元件的V型槽,所述V型槽的左侧面向内凹陷形成容纳腔,所述容纳腔内放置有调节转轴,且所述调节转轴的轴线与V型槽的左侧面之间的距离小于调节转轴的半径。本实用新型适用于一种斜端面光学元件透射波面误差检测的专用夹具。
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公开(公告)号:CN204431116U
公开(公告)日:2015-07-01
申请号:CN201520096586.6
申请日:2015-02-11
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B25B11/00
Abstract: 本实用新型公开了一种大尺寸钕玻璃片透射波面误差检测夹具,涉及专用夹具技术领域中的大尺寸钕玻璃片透射波面误差检测的夹持装置,其目的在于提供一种大尺寸钕玻璃片透射波面误差检测夹具,使其能够同时实现大尺寸钕玻璃片的安全夹持、摆放角度的调节更加方便快捷。其包括底座,底座顶面连接有底座转盘,底座转盘顶部连接有支撑架,支撑架可随底座转盘一起绕底座的轴线转动,支撑架顶面从左往右依次设置有工型左滑轨、底部凹形夹块和工型右滑轨,工型左滑轨上设置有可沿工型左滑轨长度方向移动的左支撑臂,左支撑臂上设置有左侧凹形夹块;工型右滑轨上设置有可沿工型右滑轨长度方向移动的右支撑臂,右支撑臂上设置有右侧凹形夹块。
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