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公开(公告)号：CN118381279B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410823240.5
申请日：2024-06-25
Applicant: 中北大学
IPC: H02K35/04
Abstract: 本发明属于电机技术领域，尤其涉及一种电磁式旋转能量采集器，解决了现有能量采集器难以有效地捕获低频能源的技术问题，其包括中心轴、上磁铁套筒、下磁铁套筒和旋转机构，旋转机构包括线圈套筒、上盖、下盖以及位于线圈套筒内部的线圈组件；线圈套筒外壁中部沿周向向外延伸有用于连接风叶的支撑环，上磁铁套筒位于支撑环的上侧，下磁铁套筒位于支撑环的下侧，上磁铁套筒的内侧固定连接有多块上磁铁，下磁铁套筒的内侧固定连接有多块下磁铁，上盖上侧的中心轴上连接有顶盖，下盖下侧的中心轴上连接有底盖。本发明能量转换效率高、能量传动损耗小，拓宽了能量采集器在不同频率下的适用性，满足了低频环境下的能量采集的需求。
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公开(公告)号：CN118655743A
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202411139176.5
申请日：2024-08-20
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及非金属元素碳基荧光材料领域，尤其涉及一种基于光刻、退火的碳基荧光材料图案化方法及其应用。本发明所述的方法是利用匀胶机将SU‑8旋涂于预先准备的硅片衬底上，通过掩膜曝光和显影的过程制备出图案化的SU‑8薄膜，将图案化的SU‑8薄膜放入真空退火炉中，在高温下SU‑8发生分解和交联反应，最后致使SU‑8转变为碳基材料，成功制备出图案化的碳基荧光薄膜。本发明独特的退火过程改善了材料的化学键结构，这不仅提升了材料的化学稳定性，也优化了其光学属性。因此，通过本发明，可以在不牺牲任何光学性能的情况下，实现复杂图案的高质量制备。
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公开(公告)号：CN118534231A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202410714475.0
申请日：2024-06-04
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及测量电变量技术领域，尤其涉及一种基于PCB的可拆卸式声表面波器件测试装置，解决了现有测试装置需要焊接导线进行测试，存在焊线困难、极易由于焊锡过多而造成引脚短路或压电晶体受高温后性能不稳定的技术问题，其包括透光底座和四块印刷电路板，透光底座包括支撑底板和透光PC板；印刷电路板从前到后依次设置有弹簧探针组、直插式三脚排针组和SMA射频座组。该测试装置能以接触式电连接完成对不同尺寸声表面波器件的回波损耗、插入损耗、工作频率等参数的测量，以及能在显微镜下完成对微流体中粒子在接受信号激励时运动情况的观测，并且具有使用方法简单、被测器件装卸简易、器件损耗小、量程大等优点。
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公开(公告)号：CN117989940A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410278397.4
申请日：2024-03-12
Applicant: 中北大学
IPC: F42B35/02
Abstract: 本发明涉及类似线性尺寸的计量或角度的计量技术领域，尤其涉及基于位置敏感探测器的行进间炮口偏移测量装置及方法，解决了现有静态测量炮口偏移量的装置误差大且无法测量行进间的炮口偏移量的技术问题；其包括第一激光器、第二激光器、第一PSD、第二PSD、信号处理装置、信号采集装置和计算机，第一、二PSD对称安装至炮口的两侧，第一、二激光器安装至炮尾的两侧，第一激光器的激光入射至第一PSD，第二激光器的激光入射至第二PSD，第一PSD和第二PSD的信号输出端依次经过所述信号处理装置和所述信号采集装置再与所述计算机的信号输入端相连。其能够在往复运动过程中实现行进间炮口平动和转动的实时精确测量。
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公开(公告)号：CN117723172A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311758631.5
申请日：2023-12-20
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及磁体、磁性材料的选择技术领域，尤其涉及一种基于磁柱的仿生柔性力传感器，解决现有电磁式柔性传感器由于受限的磁微粒数量及磁化强度再加上部分机械能被弹性衬底吸收，导致线圈内的磁场强度减小的技术缺陷；其包括柔性顶部罩层、柔性支撑层、磁体组件和至少一组相导通的堆叠线圈，柔性顶部罩层罩设在柔性支撑层上表面且与柔性支撑层固定连接，二者之间形成空腔结构；磁体组件位于空腔结构的中间区域且与柔性顶部罩层的顶部固定连接，磁体组件包括至少一根位于竖直方向的磁柱；柔性支撑层的中间开有通孔，当磁体组件在柔性顶部罩层的带动下向下运动时通孔用于避让磁体组件；堆叠线圈相堆叠后粘接至柔性支撑层的下表面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117012541B
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311264390.9
申请日：2023-09-28
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于电感、线圈技术领域，尤其涉及一种高密度柔性微纳线圈的可控剥离制备方法，解决了背景技术中的技术问题，其包括准备刚性硅基底并在上表面粘贴聚酰亚胺胶带，在聚酰亚胺胶带上制作单层MEMS微纳线圈，之后旋涂光敏性聚酰亚胺膜；重复制作线圈以及旋涂光敏性聚酰亚胺膜，直至线圈的总层数达到要求；最终在最顶层旋涂作为应力绝缘层的光敏性聚酰亚胺膜进行封装；将成品整体浸泡于丙酮溶液，一定时间后将多层微纳线圈整体从刚性硅基底上剥离，得到柔性微纳线圈。聚酰亚胺胶带下表面的聚氨酯胶与有机溶剂丙酮发生反应，减少胶带的粘附力，应力绝缘层的张应力驱动膜层结构产生
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公开(公告)号：CN116887662B
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311139761.0
申请日：2023-09-06
Applicant: 中北大学
IPC: H10N30/30 , H10N30/853 , H10N30/01 , G01H11/08 , G01R29/24
Abstract: 本发明属于半导体器件加工制造技术领域，具体为一种基于传动梁结构的硅基铌酸锂压电振动传感器及制备方法。所述传感器包括Si基底，Si基底表面生长一层SiO2薄膜后与LiNbO3晶片键合后构成Si‑LiNbO3键合片；Si‑LiNbO3键合片经MEMS工艺形成基底边框、中心质量块及四条悬臂传动梁；悬臂传动梁由呈垂直布置的宽梁和窄梁构成，宽梁端部与中心质量块的侧面连接，窄梁端部与基底边框的侧面连接；四条悬臂传动梁规则布置于基底边框和中心质量块之间。本发明设计合理，由于铌酸锂在高温环境下可以保持很好的压电特性，这对于极端环境下的振动信号监测具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN116944006A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202311203223.3
申请日：2023-09-19
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于半导体技术领域，尤其涉及一种d11工作模式驱动的PMUT单元及其制备方法，解决了现有PMUT性能较低的技术问题，该方法包括在SOI片上表面制备压电层；在压电层上制作上电极；在SOI片下表面沉积二氧化硅层，在二氧化硅层的下表面向上刻蚀漏出SOI片的埋层；对二氧化硅层和SOI片中的埋层进行腐蚀，得到PMUT单元的空腔结构。本发明提供的PMUT单元采用压电材料表面横向伸缩工作模式膜薄压电层与振动层产生位移差，实现弯曲振动，可用于超声成像，同时可提高输出电压及相应灵敏度；该方法避免了压电层图形化过程中刻蚀工艺复杂、困难问题，该方法简单，可应用于医疗、工业、生物特征识别等领域。
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公开(公告)号：CN116566159A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310840865.8
申请日：2023-07-11
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于发电技术领域，尤其涉及一种叠层滑轨式振动能量采集器，解决了背景技术中的技术问题，其包括多个相连的能量采集单元；能量采集单元包括第一半圆筒、第二半圆筒、第三半圆筒、上端盖和下端盖，第一半圆筒、第二半圆筒拼接成圆筒结构；第二半圆筒开有滑槽，第三半圆筒设有与滑槽滑动配合的限位卡块，第一半圆筒上设置有多个线圈插槽，第三半圆筒上设置有多个磁铁插槽，相邻滑动磁铁的同极相对，上、下端盖连接至圆筒结构的两端，第一半圆筒底部设有卡环，卡环与下端盖间设有固定磁铁。该结构叠层式集成化设计，形成多个滑动磁铁‑线圈发电单元，提升了输出功率，变频调整可使能量采集单元与外部工作环境发生共振以达到最大输出。
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公开(公告)号：CN115697016B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202211687980.8
申请日：2022-12-28
Applicant: 中北大学
IPC: H10N30/01 , H10N30/072 , H10N30/30 , G01H11/08
Abstract: 本发明属于半导体器件加工制造技术领域，具体为一种基于d15和d22的叉指型压电振动传感器及制备方法，通过将铌酸锂和硅基片在低温条件下键合在一起，再进行减薄和抛光工艺；在铌酸锂表面通过溅射和剥离工艺制备叉指电极；此后，在铌酸锂表面刻蚀压电悬臂梁和质量块；在硅基片背面进行空腔和器件释放从而完成压电振动传感器件的制备。本发明制备的压电振动传感器通过差分电荷的形式进行电荷采集，极大地改善了矩形悬臂梁应力分布不均匀导致的的电荷分布不均匀问题，制造工艺简单，成品率高和重复性好，适用于宽频高加速度的测试环境中，对于极端环境中振动信号采集具有很好的应用价值。
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