梁岛塔形压阻式三轴MEMS高量程加速度传感器阵列

    公开(公告)号:CN102928622A

    公开(公告)日:2013-02-13

    申请号:CN201210392440.7

    申请日:2012-10-17

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及MEMS传感器,具体是一种梁岛塔形压阻式三轴MEMS高量程加速度传感器阵列。本发明解决了现有压阻式MEMS加速度传感器耦合过大、机械精度低、以及体积和质量过大的问题。梁岛塔形压阻式三轴MEMS高量程加速度传感器阵列,包括第一六梁双岛T形结构传感器、第二六梁双岛T形结构传感器、以及四梁锥台结构传感器;所述第一六梁双岛T形结构传感器包括X轴加速度传感器、Z轴低量程加速度传感器、以及第一正方形硅基框架;所述第二六梁双岛T形结构传感器包括Y轴加速度传感器、Z轴中量程加速度传感器、以及第二正方形硅基框架。本发明适用于测量高量程的冲击加速度。

    半捷联惯性测量系统静态轴向角速率传递函数建模方法

    公开(公告)号:CN102096733B

    公开(公告)日:2012-08-29

    申请号:CN201110025594.8

    申请日:2011-01-24

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及惯性导航测量技术,具体是一种半捷联惯性测量系统静态轴向角速率传递函数建模方法。本发明解决了目前尚无一种半捷联惯性测量系统角速率传递函数的建模方法的问题。半捷联惯性测量系统静态轴向角速率传递函数建模方法,该方法是采用如下步骤实现的:(1)提出假设前提;(2)进行理论建模;(3)进行试验建模;(4)获取不同系统输入情况下的系统输出数据;(5)拟合数据图;(6)观察数据图;(7)完成试验建模。本发明首先从理论分析入手建立理论模型;然后设计合理的试验方案,以试验手段建立试验模型,从而解决了目前尚无一种半捷联惯性测量系统角速率传递函数的建模方法的问题。

    主动式半捷联惯性测量装置驱动系统的精确控制方法

    公开(公告)号:CN102608912A

    公开(公告)日:2012-07-25

    申请号:CN201210078220.7

    申请日:2012-03-23

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及惯性导航控制技术,具体是一种主动式半捷联惯性测量装置驱动系统的精确控制方法。本发明解决了目前尚无一种能够有效提高主动式半捷联惯性测量装置驱动系统的控制品质的方法的问题。主动式半捷联惯性测量装置驱动系统的精确控制方法,该方法是采用如下步骤实现的:a.采用大量程陀螺、小量程陀螺、高速模拟-数字转化采集电路构成转速复合测量-转速误差补偿系统;b.采用两个高精度加速度计构成陀螺g值敏感性补偿系统;c.采用逐次逼近PID整定方法对驱动系统的PID控制器进行参数整定;d.采用伺服电机与高精度编码器构成高动态响应驱动电机执行系统。本发明适用于高转速、小体积飞行器的姿态、轨迹测量。

    一种适用于高旋弹药的主动式半捷联惯性测量装置

    公开(公告)号:CN102155886B

    公开(公告)日:2012-04-25

    申请号:CN201110025530.8

    申请日:2011-01-24

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及半捷联惯性测量装置,具体是一种适用于高旋弹药的主动式半捷联惯性测量装置。本发明解决了现有半捷联惯性测量装置系统参数设计难度大、以及通用性较低的问题。一种适用于高旋弹药的主动式半捷联惯性测量装置包括半捷联结构机械支撑模块、微惯性测量组合减旋模块、以及惯性姿态解算模块;所述半捷联结构机械支撑模块包括半捷联外筒、半捷联内筒、转轴、支撑轴承、以及滑环。本发明通过设计合理的减旋装置给微惯性测量组合创造出了一个旋转轴向相对稳定的工作平台,彻底有效地解决了现有半捷联惯性测量装置系统参数设计难度大、以及通用性较低的问题,能够满足常规高旋弹药的各种测试需求。

    一种适用于高转速飞行体姿态测量的半捷联式结构

    公开(公告)号:CN102175242A

    公开(公告)日:2011-09-07

    申请号:CN201110025476.7

    申请日:2011-01-24

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及惯性导航测量技术,具体是一种适用于高转速飞行体姿态测量的半捷联式结构。本发明解决了传统惯性导航系统不适用于高转速飞行体姿态测量的问题。一种适用于高转速飞行体姿态测量的半捷联式结构包括轴向负荷承载区、径向负荷承载区、惯性测量组合及解算电路区、质量偏置区、以及外框架;轴向负荷承载区包括第一半球和第二半球;径向负荷承载区包括第一球轴承和第二球轴承;惯性测量组合及解算电路区包括前轴、内筒、以及后轴。本发明实现了微惯性测量组合在旋转方向与载体不捷联,其它两个方向与载体捷联,从而有效解决了传统惯性导航系统不适用于高转速飞行体姿态测量的问题,适用于高转速飞行体的姿态测量。

    一种适用于高旋弹药的主动式半捷联惯性测量装置

    公开(公告)号:CN102155886A

    公开(公告)日:2011-08-17

    申请号:CN201110025530.8

    申请日:2011-01-24

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及半捷联惯性测量装置,具体是一种适用于高旋弹药的主动式半捷联惯性测量装置。本发明解决了现有半捷联惯性测量装置系统参数设计难度大、以及通用性较低的问题。一种适用于高旋弹药的主动式半捷联惯性测量装置包括半捷联结构机械支撑模块、微惯性测量组合减旋模块、以及惯性姿态解算模块;所述半捷联结构机械支撑模块包括半捷联外筒、半捷联内筒、转轴、支撑轴承、以及滑环。本发明通过设计合理的减旋装置给微惯性测量组合创造出了一个旋转轴向相对稳定的工作平台,彻底有效地解决了现有半捷联惯性测量装置系统参数设计难度大、以及通用性较低的问题,能够满足常规高旋弹药的各种测试需求。

    微加速度计可靠性强化试验测试方法

    公开(公告)号:CN101639488B

    公开(公告)日:2011-06-22

    申请号:CN200910075247.9

    申请日:2009-08-22

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及MEMS类传感器-微加速度计的测试方法,具体是一种微加速度计可靠性强化试验测试方法。能够了解微加速度计在温度、振动和湿度综合应力环境下的失效模式,方便产品研发,改善产品整体性能,步骤如下:1、微加速度计于温度应力下的强化测试步骤;2、微加速度计于温度、振动综合应力下的强化测试步骤;3、微加速度计于温度、振动、湿度综合应力下的强化测试步骤。本发明兼顾温度、振动和湿度三应力对微加速度计内部结构的影响。通过对微加速度计逐步施加温度、振动和湿度三应力,了解与微加速度计功能失效前和失效时对应的三应力情况,以便解决微加速度计的缺陷,提高微加速度计的整体性能、可靠性,利于高可靠性微加速度计新产品开发。

Patent Agency Ranking