公开(公告)号：CN101639488B

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：CN200910075247.9

申请日：2009-08-22

申请人： 中北大学

发明人： 马喜宏 ,  熊继军 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  秦丽 ,  石云波 ,  周鹏斌

IPC分类号： G01P21/00

摘要： 本发明涉及MEMS类传感器-微加速度计的测试方法，具体是一种微加速度计可靠性强化试验测试方法。能够了解微加速度计在温度、振动和湿度综合应力环境下的失效模式，方便产品研发，改善产品整体性能，步骤如下：1、微加速度计于温度应力下的强化测试步骤；2、微加速度计于温度、振动综合应力下的强化测试步骤；3、微加速度计于温度、振动、湿度综合应力下的强化测试步骤。本发明兼顾温度、振动和湿度三应力对微加速度计内部结构的影响。通过对微加速度计逐步施加温度、振动和湿度三应力，了解与微加速度计功能失效前和失效时对应的三应力情况，以便解决微加速度计的缺陷，提高微加速度计的整体性能、可靠性，利于高可靠性微加速度计新产品开发。

公开(公告)号：CN101639488A

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：CN200910075247.9

申请日：2009-08-22

申请人： 中北大学

发明人： 马喜宏 ,  熊继军 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  秦丽 ,  石云波 ,  周鹏斌

IPC分类号： G01P21/00

摘要： 本发明涉及MEMS类传感器-微加速度计的测试方法，具体是一种微加速度计可靠性强化试验测试方法。能够了解微加速度计在温度、振动和湿度综合应力环境下的失效模式，方便产品研发，改善产品整体性能，步骤如下：1.微加速度计于温度应力下的强化测试步骤；2.微加速度计于温度、振动综合应力下的强化测试步骤；3.微加速度计于温度、振动、湿度综合应力下的强化测试步骤。本发明兼顾温度、振动和湿度三应力对微加速度计内部结构的影响。通过对微加速度计逐步施加温度、振动和湿度三应力，了解与微加速度计功能失效前和失效时对应的三应力情况，以便解决微加速度计的缺陷，提高微加速度计的整体性能、可靠性，利于高可靠性微加速度计新产品开发。