公开(公告)号：CN113639640B

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN202111098145.6

申请日：2021-09-18

Applicant: 哈尔滨工业大学 ,  上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 王明义 ,  康凯 ,  孙钦伟 ,  李立毅 ,  夏海

IPC: G01B11/00 ,  G01B7/00

Abstract: 一种动子无线缆的直线电机精确位置检测方法，涉及电机行程位置检测技术领域。本发明是为了解决光栅/磁栅位置传感器不适用动子无线缆的直线电机，而线性霍尔位置传感器又难以满足精密检测需求的问题。本发明将栅尺固定在动子上，将N个读数头固定在初级上，采集第k个采样周期主读数头的读数和第n个读数头跳变为主读数头时的读数计算第k个采样周期运动距离增量，并将该运动距离增量累加到第k‑1个采样周期动子前端与初级底座首端之间的距离上，从而确定第k个采样周期时动子的位置。

公开(公告)号：CN107546137B

公开(公告)日：2019-11-26

申请号：CN201610470114.1

申请日：2016-06-23

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 郭耸 ,  孙见奇 ,  陈飞彪 ,  朱岳彬 ,  王天明 ,  夏海

IPC: H01L21/60 ,  H01L21/78

Abstract: 本发明公开了一种芯片键合装置及其键合方法，芯片键合装置包括：至少一个用于对芯片进行分离的分离模块；至少一个用于对所述芯片和一基底进行键合的键合模块；一传输装置，所述传输装置将所述芯片在所述分离模块以及所述键合模块之间传输，所述传输装置包括至少一条导轨以及至少一个用于承载所述芯片的传输载体，每条所述导轨上设置有至少一所述传输载体；以及一控制装置，所述控制装置分别控制所述分离模块、键合模块和传输装置。本发明通过该芯片键合装置进行芯片键合方法，能够实现芯片批量拾取、芯片批量传输、芯片和基底批量键合，可以有效提高芯片键合的产率，并且提高芯片键合的精度。

公开(公告)号：CN106653671B

公开(公告)日：2019-08-23

申请号：CN201510731089.3

申请日：2015-10-30

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司 ,  上海微高精密机械工程有限公司

Inventor： 郑清泉 ,  方洁 ,  夏海

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明公开了一种吸盘及其吸附方法，包括吸盘主体，所述吸盘主体的中心设有用于基底交接的通孔，所述吸盘主体上设有至少一个凸出吸盘主体且与所述通孔同心分布的密封环，所述密封环上开设有环形凹槽，所述环形凹槽内设有若干与外部真空源连通的真空孔，吸附所述基底时，从所述真空孔通入真空，位于所述密封环与所述基底之间的环形凹槽形成为真空腔。本发明采用环形真空腔的结构，能够逐步改善基底与环形真空腔之间的间隙，内圈的环形真空腔吸附后会减小相邻外圈环形真空腔与基底之间的间隙，最终实现对翘曲基底的有效吸附。

公开(公告)号：CN107783378A

公开(公告)日：2018-03-09

申请号：CN201610766749.6

申请日：2016-08-30

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 赵娟 ,  张霖 ,  夏海 ,  陈明

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种光刻机垂向微动结构和控制方法，其将光刻机曝光台下方设置至少四个传感器，并使用包含能够测量冗余位置的测量转换矩阵的计算分析系统，对四个传感器所发送的位置信号进行分析，以光刻机曝光台的期望位置为目标，分析光刻机曝光台垂向运动至期望位置时的加速度，由于使用上述计算分析系统能够将冗余位置测量出，因此在计算分析的时候能够将这些无用的冗余数据过滤，精确地分析出光刻机曝光台垂向运动至期望位置时所需的驱动力和加速度，因此本发明相对于现有技术能够提高对光刻机曝光台垂向微动控制的精度。

公开(公告)号：CN206806294U

公开(公告)日：2017-12-26

申请号：CN201720188375.4

申请日：2017-02-28

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 朱岳彬 ,  郭耸 ,  陈飞彪 ,  夏海

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

Abstract: 本实用新型公开了一种芯片键合装置，包括芯片吸取分离单元、键合手模块、基片供应单元和芯片对准系统，所述芯片对准系统设于所述芯片吸取分离单元与所述基片供应单元之间，所述键合手模块包括第一运动台、设置在所述第一运动台上的多个键合手和用于驱动所述第一运动台运动的第一驱动装置，所述键合手通过所述第一运动台往返于所述芯片吸取分离单元、芯片对准系统和基片供应单元之间，实现一个所述键合手转位至芯片拾取工位从所述芯片吸取分离单元吸取芯片时，其他键合手中至少有键合手在芯片对准工位通过所述芯片对准系统进行芯片位置识别和/或在芯片键合工位将芯片键合在所述基片供应单元的基片上，提高了生产效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN208432548U

公开(公告)日：2019-01-25

申请号：CN201821238233.5

申请日：2018-08-02

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 赵丽丽 ,  程海林 ,  潘炼东 ,  夏海

IPC: G01N21/88

Abstract: 本实用新型公开了一种用于显示面板缺陷检测的图像采集装置，包括：第一图像采集组件和第二图像采集组件，第一图像采集组件沿第一方向采集待检测显示面板的图像；第二图像采集组件被配置为能够绕待检测显示面板移动，以与第一方向呈一定角度的多个第二方向采集待检测显示面板的图像。上述的用于显示面板缺陷检测的图像采集装置实现从多个角度自动对被测显示面板进行图像采集，能够有效降低劳动强度，提高显示面板图像采集效率及缺陷检测效率，满足显示面板产线自动化发展需求。