公开(公告)号：CN115957564A

公开(公告)日：2023-04-14

申请号：CN202211234614.7

申请日：2022-10-10

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 久保景太 ,  小岛力 ,  小野木智英 ,  宫坂满

IPC: B01D43/00

Abstract: 本发明提供一种容易在期望的位置处对微粒进行捕捉的流体装置。流体装置具备：流道(20)，其供流体(S)进行流通；超声波施加装置(40)，其包括对超声波进行发送的超声波元件，作为流道壁面，流道(20)具有将从超声波元件被发送出的超声波施加于流体(S)的超声波施加面(41)、和使从超声波施加面(41)被施加到流体(S)上的超声波进行反射的反射面(311)，反射面(311)具有凹曲面形状。

公开(公告)号：CN111084637B

公开(公告)日：2023-01-03

申请号：CN201911013466.4

申请日：2019-10-23

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 铃木博则 ,  小岛力 ,  大桥幸司 ,  松本泰幸 ,  今井克浩

IPC: A61B8/00 ,  A61B8/13 ,  H04R17/00

Abstract: 本发明提供了能够得到所期望的声音特性的超声波元件及超声波装置。超声波元件具备：元件基板，具有第一面、与第一面成为表里关系的第二面、贯通第一面至第二面的开口部以及包围开口部的隔壁部；支承膜，设置在元件基板的第一面且覆盖开口部，并具有面对开口部的第三面以及与第三面成为表里关系的第四面；压电元件，设置在支承膜的第四面，在从第三面朝向第四面的膜厚方向进行俯视观察时，配置在支承膜的与开口部重叠的区域；保护板，设置成与支承膜的第四面对置，通过粘合部件经由朝向支承膜突出的梁部接合至支承膜；以及壁部，设置在支承膜的第四面，在梁部和压电元件之间设置成朝向保护板突出。

公开(公告)号：CN114076621A

公开(公告)日：2022-02-22

申请号：CN202110857422.0

申请日：2021-07-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 小岛力 ,  小野木智英 ,  清濑摄内 ,  宫坂满 ,  佐佐木美绪

IPC: G01F1/667 ,  B06B1/06

Abstract: 本发明提供了能够提高超声波相对于流体的传递效率的流体设备。流体设备(10)具备：流路(20)，供流体(S)流通；以及超声波元件(44)，通过向流体发送超声波，使流路内的流体沿着与流体的流通方向正交的第一方向产生驻波(SW)，超声波元件具有：振动部(421)，具有与流体接触的流体接触面(422)；以及压电元件(43)，设置于振动部，使振动部向流体接触面的法线方向挠曲振动，在将法线方向上的振动部的厚度设为t，将流体的介质的音速设为C，将在振动部内传递的纵波的平均音速设为C’，将第一方向的流路的尺寸设为L，将驻波的模式次数设为n时，满足式

公开(公告)号：CN108243379B

公开(公告)日：2021-10-12

申请号：CN201711379618.3

申请日：2017-12-19

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 小岛力 ,  大桥幸司 ,  岩井光 ,  清濑摄内

IPC: A61B8/00 ,  H04R17/00 ,  H01L41/047 ,  H01L41/08

Abstract: 本发明涉及一种超声波器件以及超声波装置，振动部、第一电极、压电体和第二电极沿该顺序的层叠方向依次层叠，在从层叠方向的俯视观察下，第一电极的外周缘比压电体的外周缘大，压电体具备：能动部，设置于振动部内；以及引出部，与能动部连接，并跨过振动部的内外而设置，引出部的宽度尺寸比能动部的宽度尺寸小，第二电极设置于能动部以及引出部上。

公开(公告)号：CN108212724B

公开(公告)日：2021-06-08

申请号：CN201711270107.8

申请日：2017-12-05

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 小岛力

IPC: B06B1/06

Abstract: 本申请公开了一种超声波器件以及超声波装置，超声波器件具备：基板，在第一面上具有第一槽部以及第二槽部；振动膜，设于第一面，用于封闭第一槽部以及第二槽部；第一压电元件，设于振动膜，在从基板的厚度方向观察的俯视下与第一槽部重叠；以及第二压电元件，设于振动膜，在俯视下与第二槽部重叠，在基板上设有连结第一槽部和第二槽部的第三槽部，在基板上设有第四槽部，该第四槽部在俯视下沿着远离第一压电元件以及第二压电元件的方向延伸，并与第三槽部连结，设有连结第二面和第四槽部的孔部，该第二面和基板的第一面构成正反面。

公开(公告)号：CN111208498A

公开(公告)日：2020-05-29

申请号：CN201911141035.6

申请日：2019-11-20

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 小岛力 ,  大桥幸司 ,  铃木博则 ,  小野木智英

IPC: G01S7/521 ,  G01S15/08 ,  H04R17/00 ,  H04R19/00

Abstract: 本发明提供了一种能够容易地进行制造的超声波元件及超声波装置。超声波元件的特征在于，具备：配置成3行3列的格子状的9个超声波阵列单元；对于各超声波阵列单元输入输出驱动信号的9个驱动旁路布线；被施加共通电位且与8个超声波阵列单元连接的第一共通旁路布线；与未连接有第一共通旁路布线的超声波阵列单元连接的第二共通旁路布线；以及使第一共通旁路布线和第二共通旁路布线连接的第三共通旁路布线。在相邻配置的超声波阵列单元之间配置有驱动旁路布线、第一共通旁路布线以及第二共通旁路布线中的任意一个。第三共通旁路布线配置在与连接有第二共通旁路布线的超声波阵列单元相邻配置的超声波阵列单元的内部。

公开(公告)号：CN110324769A

公开(公告)日：2019-10-11

申请号：CN201910235759.0

申请日：2019-03-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 大桥幸司 ,  小岛力

IPC: H04R17/00 ,  G10K9/122

Abstract: 一种超声波传感器以及超声波装置，抑制驱动特性的降低的同时，实现超声波的发送声压的增大。超声波传感器具备：振动板，具备多个振动部；壁部，设置于所述振动板，包围所述振动部；第一压电元件，设置于多个所述振动部中、规定数量的所述振动部；以及第二压电元件，设置于未设置所述第一压电元件的所述振动部，其中，所述第一压电元件能够进行驱动信号的输入输出，且与至少一个其他的所述第一压电元件并联连接，在一个方向上相邻的所述第一压电元件之间，配置有所述第二压电元件。

公开(公告)号：CN106416297B

公开(公告)日：2019-03-22

申请号：CN201580004620.5

申请日：2015-06-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 小岛力

IPC: H04R17/00 ,  A61B8/00 ,  H01L41/047 ,  H01L41/113 ,  H01L41/29 ,  H04R31/00

Abstract: 本发明涉及超声波传感器以及其制造方法。本发明提供一种不会降低元件的特性而使阻抗减少、且从呈阵列状配置的元件高效引出配线而提高可靠性的超声波传感器。超声波传感器(1)的特征在于，具备沿第一方向以及第二方向排列的多个超声波元件(10)，多个超声波元件(10)分别具备第一电极(14)、压电体层(15)以及第二电极(16)，对多个超声波元件的至少一部分进行分组，第一电极(14)以及上述第二电极(16)的至少一方按照被分组的超声波元件(10)而被共用化，对被共用化的第一电极(14)以及第二电极(16)的一方连接旁路配线(21)，旁路配线(21)的下述α值大于连接于旁路配线(21)的第一电极(14)或第二电极(16)的α值，旁路配线(21)的每个单位长度的电阻值小于第一电极(14)或第二电极(16)的每个单位长度的电阻值。α值＝(构成材料的杨氏模量)×(配线或电极的截面积)。

公开(公告)号：CN108878637A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201810418879.X

申请日：2018-05-03

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 大桥幸司 ,  小岛力 ,  松田洋史 ,  铃木博则 ,  田中秀一

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/053 ,  H01L41/23 ,  H01L41/25 ,  H01L41/29

CPC classification number: B06B1/067 ,  A61B8/14 ,  A61B8/4427 ,  A61B8/4455 ,  A61B8/4494 ,  B06B1/0629 ,  B06B2201/76 ,  G01N29/245 ,  G01N2291/02466 ,  G01N2291/02475 ,  H01L24/13 ,  H01L24/16 ,  H01L24/81 ,  H01L41/0475 ,  H01L41/053 ,  H01L41/0825 ,  H01L41/23 ,  H01L41/29 ,  H01L2224/13644 ,  H01L2224/13655 ,  H01L2224/81193 ,  H01L2224/81424 ,  H01L2224/81439 ,  H01L2224/81444 ,  H01L2224/81447 ,  H01L2224/81455 ,  H01L2224/81464 ,  H01L2224/81466 ,  H01L2224/81471 ,  H01L2224/81484 ,  H01L2224/81901 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01024 ,  H01L41/25

Abstract: 本发明涉及安装结构体、超声波器件、超声波探头及超声波装置。安装结构体具备：第一基板，具有设置有功能元件的第一面；配线部，设置在第一面的与功能元件不同的位置上，并连接于功能元件；第二基板，具有与第一面相对的第二面；以及导通部，设置于第二面，与配线部连接，并连接于功能元件，其中，功能元件与第二基板的最短距离比配线部和导通部连接的位置与第二基板的距离更长。

公开(公告)号：CN108282729A

公开(公告)日：2018-07-13

申请号：CN201711453330.6

申请日：2017-12-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 大泽荣治 ,  小岛力

IPC: H04R17/00 ,  A61B8/00

CPC classification number: A61B8/4494 ,  A61B5/0035 ,  A61B8/08 ,  A61B8/0833 ,  A61B8/13 ,  A61B8/15 ,  A61B8/4444 ,  A61B8/56 ,  B06B1/0622 ,  G01N2291/106 ,  H04R17/00

Abstract: 本发明提供一种高收发敏感度的超声波器件、超声波探头以及超声波装置。超声波器件具备：基板，具有开口部以及包围所述开口部的隔壁；振动部，封闭所述开口部的一端侧；以及压电元件，设于所述振动部，当将所述开口部的开口宽度尺寸设为W，并将所述基板的厚度尺寸设为H时，W/H为0.66至0.92。