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公开(公告)号：CN105530578B
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201510624882.3
申请日：2015-09-25
Applicant: 现代自动车株式会社
Inventor： 俞一善
Abstract: 一种传声器及制造传声器的方法，该制造传声器的方法包括制备衬底以及在衬底上形成氧化层图案并且在衬底的背面上形成氧化层。通过将导电离子注入到衬底中而在衬底上形成振动膜。通过去除氧化层图案在衬底和振动膜上相继形成牺牲层和固定电极。在固定电极上形成第一光刻胶层图案，并且通过使固定电极图案化而形成进气口。在氧化层的背面上形成第二光刻胶层图案，并且通过蚀刻氧化层以及衬底的背面来形成穿孔，振动膜的一部分通过该穿孔露出。在固定电极和振动膜之间形成空气层。
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公开(公告)号：CN105704629B
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201410710074.4
申请日：2014-11-28
Applicant: 现代自动车株式会社
Abstract: 本发明提供一种麦克风及制造该麦克风的方法。所述麦克风包括具有贯通孔的衬底、设置在衬底上以覆盖贯通孔的振动单元和设置在振动单元的上方并与振动单元间隔开的固定电极。另外，振动单元包括设置在所述贯通孔上的第一部分和第二部分，以及设置在衬底上的第三部分。另外，第一部分与第三部分彼此间隔开，并且第二部分连接在第一部分与第三部分之间并包括第一压电部和第二压电部。
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公开(公告)号：CN104752342B
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201410433157.3
申请日：2014-08-28
Applicant: 现代自动车株式会社
IPC: H01L21/77
Abstract: 本发明提供一种接合半导体基板的方法，其可包括：在第一半导体基板上形成对准键；在第一半导体基板和对准键上形成绝缘层；在绝缘层上形成第一金属层图案和第二金属层图案；在第二半导体基板上形成第一突起和第二突起，以及位于第一突起与第二突起之间的对准凹部；分别在第一突起和第二突起上形成第三金属层图案和第四金属层图案；以及接合第一半导体基板和第二半导体基板，其中当接合第一半导体基板和第二半导体基板时，对准键位于对准凹部。
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公开(公告)号：CN108966098A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201711224635.X
申请日：2017-11-29
Inventor： 俞一善
CPC classification number: H04R19/04 , H04R7/16 , H04R19/005 , H04R31/003 , H04R2231/003 , H04R2410/03 , H04R19/016 , H04R2201/003 , H04R2231/001
Abstract: 本公开提供了一种麦克风及其制造方法。麦克风包括：固定膜，设置在基底上；隔膜，与固定膜间隔开，其中，空气层位于固定膜与隔膜之间；支撑层，被构造成将隔膜支撑在固定膜上；以及阻尼孔，被构造成使空气层中的空气流动到支撑层的非感测区域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107979799A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201710077955.0
申请日：2017-02-14
Applicant: 现代自动车株式会社
Inventor： 俞一善
CPC classification number: H04R19/005 , B81B7/0061 , B81B2201/0257 , B81B2203/04 , B81C1/00166 , H04R19/04 , H04R31/003 , H04R31/006 , H04R31/00
Abstract: 本发明提供麦克风及其制造方法。本发明提供微电子机械系统(MEMS)麦克风。MEMS麦克风包括：基底，其包括音频孔，并且沿着上表面边缘在预定段处具有氧化物层；振动电极，其由支撑层支撑，所述支撑层在音频孔相对应的上部，以从氧化物层向中心内侧分离的状态，沿着上表面边缘形成；固定电极，其形成在氧化物层的上部，并且支撑层的一侧接合到固定电极的下表面的一侧；和背板，其形成在固定电极的上部，并且支撑层的另一侧接合到背板的下表面的一侧。
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公开(公告)号：CN107809717A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201611158765.3
申请日：2016-12-14
Applicant: 现代自动车株式会社
Inventor： 俞一善
CPC classification number: H04R19/04 , B81B3/0075 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , B81C1/00158 , B81C2201/0109 , B81C2201/013 , H01L51/0048 , H04R19/005 , H04R31/00 , H04R31/003 , H04R2201/003 , H04R2231/003
Abstract: 本申请涉及一种高灵敏度麦克风及其制造方法。该高灵敏度麦克风包括：基板，其具有设置于其中央部分中的穿透部分；振动膜，其设置在基板上并覆盖穿透部分；固定膜，其安装在振动膜上方，通过介于两者之间的空气层而与振动膜隔开，并该固定膜具有在朝向空气层的方向上穿孔的多个进气口；以及多个支柱，其作为固定膜和振动膜之间的竖直弹性柱，并通过摩擦力机械地固定振动膜而所施加的电压无关。
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公开(公告)号：CN106877837A
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201610412729.9
申请日：2016-06-13
Applicant: 现代自动车株式会社
Inventor： 俞一善
CPC classification number: H03H9/02244 , B81B3/0021 , B81B2201/0271 , B81B2203/0118 , B81B2203/0136 , B81B2207/015 , G01C19/5719 , G01P15/097 , H03H9/02393 , H03H2009/02165 , H03H2009/02291 , H03H9/17 , H03H9/02
Abstract: 本发明提供一种MEMS谐振器包括：主基板，其在所述主基板的中心形成接收部；质量体，其具有通过主基板的两侧弹性支承的一个端部和中心部；驱动单元，其配置在主基板上的接收部的一侧，并且通过施加至质量体的一个端部的两侧的电压产生驱动扭矩，从而相对于主基板移动质量体的位置；以及，调谐部，其包括相对于第二弹性构件对称设置的一对调谐单元，并且具有梁构件，上述梁构件通过驱动每个调谐单元的操作来改变第二弹性构件的长度，从而控制频率。
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公开(公告)号：CN105722002A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201410738235.0
申请日：2014-12-05
Applicant: 现代自动车株式会社
Abstract: 本发明公开了扩音器及制造扩音器的方法。扩音器包括具有穿透孔的基板、布置在基板上的覆盖穿透孔的振动膜、以及布置在振动膜上的第一电极。第一电极包括彼此分离的第一部分和第二部分。此外，扩音器包括布置在第一电极的第二部分上的压电层、布置在压电层上的第二电极、以及固定电极。此外，第一电极的第一部分布置在振动膜的大致中心部分，并且第一电极的第二部分布置在振动膜的边缘部分。
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公开(公告)号：CN105530579A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201510651989.7
申请日：2015-10-10
Applicant: 现代自动车株式会社
Inventor： 俞一善
CPC classification number: H04R7/10 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/00
Abstract: 本发明提供一种麦克风及其制造方法。该麦克风包括包含穿透孔的基板、布置在基板上并覆盖穿透孔的振动膜以及包括多个空气进口的布置在振动膜上并与振动膜分离的固定电极。振动膜包括布置在基板上并覆盖穿透孔的第一亚振动膜、布置在第一亚振动膜上并包括多个槽的第二亚振动膜、以及布置在第一亚振动膜与第二亚振动膜之间并将第一亚振动膜与第二亚振动膜连接的连接层。第一亚振动膜是柔性的且第二亚振动膜是刚性的。
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