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公开(公告)号：CN103449357B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201310174801.5
申请日：2013-05-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81B3/0075 , B81B2207/07 , B81B2207/096 , B81C1/00238 , B81C1/00674 , B81C2203/0109 , H01L2224/16225 , H01L2924/19105
Abstract: 本发明涉及用于实现混合集成部件的措施。部件（100）包括ASIC构件（10）、具有微机械结构（21）的第一MEMS构件（20）和第一罩晶片（30），微机械结构在第一MEMS衬底（10）整个厚度上延伸，第一罩晶片装配在微机械结构（21）上方。微机械结构（21）具有可偏转的结构元件（23）。在微机械结构（21）和构件（10）之间存在间隙。在构件（10）背侧装配第二MEMS构件（40）。第二构件（40）的微机械结构（41）在第二MEMS衬底（40）的整个厚度上延伸并且包括可偏转的结构元件。在该微机械结构（41）和构件（10）之间存在间隙并且在该微机械结构（41）上方装配第二罩晶片（50）。
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公开(公告)号：CN101573792B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN200780049134.0
申请日：2007-11-01
Applicant: 明锐有限公司
Inventor： 东敏·陈 , 福林·熊 , 威廉·斯潘塞·沃利三世
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B3/0005 , B81B3/0075 , B81B2201/042 , B81C2201/112
Abstract: 本发明涉及用于防止微机械系统中抗粘连的优先沉积润滑剂。本发明的实施例大体设计由于存在润滑剂而改善了可用寿命的器件，该润滑剂减小了机电器件中的各个运动部件之间发生粘连的可能性。本发明的实施例还大体包括器件及形成器件的方法，该器件具有一个或多个表面或区域，所述表面或区域上布置有某体积的润滑剂，用作“新鲜”润滑剂的现成供应以防止器件内的相互作用元件之间发生粘连。在一个方面，该体积的润滑剂内的成分形成气相或蒸气相，降低了所形成的器件中与粘连相关的失效的几率。在一种示例中，本发明的各方面特别有利于制造和使用微机械器件，例如MEMS器件、NEMS器件或其他类似的热学或流体器件。
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公开(公告)号：CN101657961B
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN200880002194.1
申请日：2008-04-04
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 工藤祐治
CPC classification number: F03G7/005 , B81B3/0075 , B81B2201/032 , B81B2203/0118 , Y10S310/80 , Y10T29/42
Abstract: 本发明的目的在于提高导电性高分子膜与固体电解质膜彼此之间的粘合性、可靠地完成弯曲型动作的导电性高分子致动器的动作。本发明的导电性高分子致动器具有固体电解质膜和在上述固体电解质膜的至少一个面上的导电性高分子膜的叠层结构，其中，上述固体电解质膜由有机聚合物和离子液体的混合物构成，上述有机聚合物含有偏氟乙烯/六氟丙烯共聚物[P(VDF/HFP)]、聚偏氟乙烯(PVDF)、全氟磺酸/PTFE共聚物、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚氧化乙烯(PEO)、聚丙烯腈(PAN)中的至少一种以上，上述导电性高分子膜由聚乙烯二氧噻吩(PEDOT)和聚苯乙烯磺酸(PSS)的混合物构成，并且，上述导电性高分子膜中含有聚乙二醇。
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公开(公告)号：CN101657961A
公开(公告)日：2010-02-24
申请号：CN200880002194.1
申请日：2008-04-04
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 工藤祐治
CPC classification number: F03G7/005 , B81B3/0075 , B81B2201/032 , B81B2203/0118 , Y10S310/80 , Y10T29/42
Abstract: 本发明的目的在于提高导电性高分子膜与固体电解质膜彼此之间的粘合性、可靠地完成弯曲型动作的导电性高分子致动器的动作。本发明的导电性高分子致动器具有固体电解质膜和在上述固体电解质膜的至少一个面上的导电性高分子膜的叠层结构，其中，上述固体电解质膜由有机聚合物和离子液体的混合物构成，上述有机聚合物含有偏氟乙烯/六氟丙烯共聚物[P(VDF/HFP)]、聚偏氟乙烯(PVDF)、全氟磺酸/PTFE共聚物、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚氧化乙烯(PEO)、聚丙烯腈(PAN)中的至少一种以上，上述导电性高分子膜由聚乙烯二氧噻吩(PEDOT)和聚苯乙烯磺酸(PSS)的混合物构成，并且，上述导电性高分子膜中含有聚乙二醇。
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公开(公告)号：CN101573792A
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：CN200780049134.0
申请日：2007-11-01
Applicant: 明锐有限公司
Inventor： 东敏·陈 , 福林·熊 , 威廉·斯潘塞·沃利三世
IPC: H01L23/58
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B3/0005 , B81B3/0075 , B81B2201/042 , B81C2201/112
Abstract: 本发明涉及用于防止微机械系统中抗粘连的优先沉积润滑剂。本发明的实施例大体设计由于存在润滑剂而改善了可用寿命的器件，该润滑剂减小了机电器件中的各个运动部件之间发生粘连的可能性。本发明的实施例还大体包括器件及形成器件的方法，该器件具有一个或多个表面或区域，所述表面或区域上布置有某体积的润滑剂，用作“新鲜”润滑剂的现成供应以防止器件内的相互作用元件之间发生粘连。在一个方面，该体积的润滑剂内的成分形成气相或蒸气相，降低了所形成的器件中与粘连相关的失效的几率。在一种示例中，本发明的各方面特别有利于制造和使用微机械器件，例如MEMS器件、NEMS器件或其他类似的热学或流体器件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103449357A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310174801.5
申请日：2013-05-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81B3/0075 , B81B2207/07 , B81B2207/096 , B81C1/00238 , B81C1/00674 , B81C2203/0109 , H01L2224/16225 , H01L2924/19105
Abstract: 本发明涉及用于实现混合集成部件的措施。部件（100）包括ASIC构件（10）、具有微机械结构（21）的第一MEMS构件（20）和第一罩晶片（30），微机械结构在第一MEMS衬底（10）整个厚度上延伸，第一罩晶片装配在微机械结构（21）上方。微机械结构（21）具有可偏转的结构元件（23）。在微机械结构（21）和构件（10）之间存在间隙。在构件（10）背侧装配第二MEMS构件（40）。第二构件（40）的微机械结构（41）在第二MEMS衬底（40）的整个厚度上延伸并且包括可偏转的结构元件。在该微机械结构（41）和构件（10）之间存在间隙并且在该微机械结构（41）上方装配第二罩晶片（50）。
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公开(公告)号：CN103420321A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310176308.7
申请日：2013-05-14
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81B3/0075 , B81C1/00626 , B81C1/00674 , B81C2201/0112 , B81C2201/014 , B81C2203/0109
Abstract: 本发明涉及混合集成的构件和用于其制造的方法。本发明提出一种措施，通过该措施明显提高在实现构件（100）的MEMS结构元件（10）的微机械结构时的设计自由度，所述构件包括用于MEMS结构元件（10）的载体（20）和用于MEMS结构元件（10）的微机械结构的盖（30），其中，所述MEMS结构元件（10）通过托脚结构（21）装配在载体（20）上。根据本发明，所述MEMS结构元件（10）以层结构的形式实现并且所述MEMS结构元件（10）的微机械结构（11）延伸经过该层结构的至少两个功能层（3，5），所述至少两个功能层通过至少一个中间层（4）相互分开。
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公开(公告)号：CN103011054A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210344319.7
申请日：2012-09-17
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B06B1/0292 , B81B3/0075 , B81B2201/0221 , B81B2203/0127 , B81B2203/0315 , B81B2203/0392 , H04R19/005 , H04R31/00
Abstract: 本发明涉及一种机电换能器的制造方法。提供一种由绝缘层的平坦性的变化导致的击穿强度的变化更小的机电换能器的制造方法。在机电换能器的制造方法中，在第一基板上形成第一绝缘层，并且，通过去除第一绝缘层的一部分来形成隔离壁，并且，在去除了第一绝缘层的一部分之后的第一基板的区域上形成第二绝缘层。然后，通过在隔离壁上接合第二基板来形成间隙，并且，由第二基板形成隔着间隙与第二绝缘层相对的振动膜。在形成隔离壁时，沿与第一基板垂直的方向的间隙侧的高度变得比中心部分的高度低。
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公开(公告)号：CN101920928A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010200250.1
申请日：2010-06-09
Applicant: 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司
CPC classification number: B81C99/008 , B81B3/0075 , B81B2201/035 , B81C1/00031 , B81C1/00087 , B81C1/00119 , B81C2201/0132 , B81C2201/032 , C25D1/003 , C25D1/20 , C25D5/022 , G04B13/022 , G04B13/026 , G04D3/0069
Abstract: 本发明涉及制造复合微机械部件(41，41’)的方法(1)，包括如下步骤：a)提供(10)基材(9，9’)，该基材包括由导电的可微加工材料制成的水平顶层(21)和水平底层(23)，顶层和底层通过电绝缘的水平中间层(22)彼此紧固；b)在顶层中蚀刻至少一种图案(26)直至中间层，以在基材内形成至少一个腔室(25)；c)在基材的顶部涂覆(16)电绝缘的涂层；d)有方向性地蚀刻(18)涂层和中间层，以将该涂层限制为只存在于在顶层形成的各垂直壁(51，52)上；e)通过将电极与基材的导电的底层连接进行电沉积(5)，以形成复合部件的至少一个金属部分(33，43，43’)；f)从基材释放复合部件。本发明涉及微机械部件领域，特别用于钟表机芯。
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公开(公告)号：CN107809717A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201611158765.3
申请日：2016-12-14
Applicant: 现代自动车株式会社
Inventor： 俞一善
CPC classification number: H04R19/04 , B81B3/0075 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , B81C1/00158 , B81C2201/0109 , B81C2201/013 , H01L51/0048 , H04R19/005 , H04R31/00 , H04R31/003 , H04R2201/003 , H04R2231/003
Abstract: 本申请涉及一种高灵敏度麦克风及其制造方法。该高灵敏度麦克风包括：基板，其具有设置于其中央部分中的穿透部分；振动膜，其设置在基板上并覆盖穿透部分；固定膜，其安装在振动膜上方，通过介于两者之间的空气层而与振动膜隔开，并该固定膜具有在朝向空气层的方向上穿孔的多个进气口；以及多个支柱，其作为固定膜和振动膜之间的竖直弹性柱，并通过摩擦力机械地固定振动膜而所施加的电压无关。
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