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公开(公告)号：CN1248413C
公开(公告)日：2006-03-29
申请号：CN02142124.2
申请日：2002-08-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H3/10 , H03H9/02551
Abstract: 旨在适用适合于采用了平面内旋转ST切割水晶片的弹性表面波装置具有的3次函数的温度特性的弹性表面波装置的温度特性调整方法。一种采用了欧拉角处于(0°，113～135°，±(40～49°))的平面内旋转ST切割水晶片的弹性表面波装置的温度特性调整方法。按照采用了具有3次函数温度特性的平面内旋转ST切割水晶片的弹性表面波装置的温度特性在-40～+85℃的温度范围内具有极值的原则把上述欧拉角的范围设定到影线部4及5的区域内，利用该影线部4及5的区域，使温度特性围绕拐点周围旋转，为使使用温度范围内的频率变动量幅度达到最小而进行调整。
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公开(公告)号：CN118590007A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410218912.X
申请日：2024-02-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件，其小型且基波模式的CI值比二次谐波模式的CI值小。振动器件具有：振动元件；以及基座，振动元件借助导电性粘接剂固定于该基座，其中，振动元件包含：基部；振动臂，其与基部连接，在第1方向上延伸；以及支承臂，其在和第1方向垂直的第2方向上与振动臂排列配置，在第1方向上延伸，并通过导电性粘接剂固定于基座，在设支承臂的第1方向上的支承臂的基端的位置为P0、导电性粘接剂的中心位置为Pa、P0与Pa之间的长度为Da时，满足0.2×L1≥Da≥0.4×L1。
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公开(公告)号：CN118432565A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410119422.4
申请日：2024-01-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件的制造方法，能够减小连结部的残留部分。一种压电基板的制造方法包括：通过湿蚀刻来制造压电基板，该压电基板具有振动元件、框部以及将框部和振动元件连结的连结部；以及在连结部处折取振动元件，并从框部分离，在通过湿蚀刻来制造压电基板中，在连结部形成有第一槽部、第一突出部以及第二突出部，所述第一突出部具有规定连结部的外形的第一外形边和规定与第一槽部的边界的第二外形边，第一外形边与第二外形边之间的距离随着远离振动元件的外形边而变小，所述第二突出部具有规定连结部的外形的第三外形边和规定与第一槽部的边界的第四外形边，所述第三外形边与所述第四外形边之间的距离随着远离振动元件的外形边而变小。
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公开(公告)号：CN116707476A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310703026.1
申请日：2019-01-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/02 , H03H9/13 , G01C19/5663 , G01C19/5628 , G01C19/5621 , G01C19/5656
Abstract: 提供振动元件及其制造方法、物理量传感器、惯性计测装置。该振动元件的特征在于，具有：基部；振动臂，所述振动臂从所述基部起延伸，具有臂部和施重部；以及施重膜，所述施重膜配置在所述施重部上，所述施重部具有处于正反关系的第1主面和第2主面，所述施重部的重心位于比所述臂部的厚度方向的中心面靠所述第1主面侧的位置，所述施重膜的重心位于比所述中心面靠所述第2主面侧的位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110724917A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201910963833.0
申请日：2014-07-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动片、振子、振荡器、电子设备和移动体。所述振动片具有：基部；以及从所述基部沿第1方向延伸并沿与所述第1方向垂直的第2方向排列的多个振动臂，所述振动臂具有设置在沿所述第1方向以及所述第2方向的第1面上的激励电极，所述激励电极具有：配置在所述第1面侧的第1电极；配置在所述第1电极的与所述第1面侧相反的一侧的第2电极；以及配置在所述第1电极与所述第2电极之间的压电膜，所述压电膜是在晶界中含有Cu的氮化铝膜，所述第2电极由含有TiN的材料形成。
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公开(公告)号：CN105322908B
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201510272020.9
申请日：2015-05-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供电子器件、电子设备和移动体。电子器件抑制振动片的振动特性下降且实现小型化，电子设备和移动体具有该电子器件。振子(电子器件)(1)具有：具有振动臂(28、29、30)的振动片(2)；支承振动片(2)且俯视时呈矩形的基部(3)；以及设置在振动片(2)的与基部(3)相反侧的盖体(7)，基部(3)的长边(302)和短边(303)延伸的方向与振动臂(28、29、30)延伸的方向相交。在设振动臂(28、29、30)与(Y)轴方向所成的角度为θ时，角度θ超过0°且小于90°。
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公开(公告)号：CN104333338A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201410347246.6
申请日：2014-07-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 压电膜制造方法、振动片、振子、振荡器、设备和移动体。与现有的制造方法相比，能够提高作为压电膜的功能，并且能够通过抑制应力迁移来提高压电膜的可靠性。压电膜制造方法包括以下工序：在N2气体和Ar气体的混合气氛中，将Al-Cu合金(52)作为成膜材料，使用溅射法形成压电体(13)。
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公开(公告)号：CN102195608A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110064912.1
申请日：2011-03-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山崎隆
IPC: H03H9/21
CPC classification number: H03H9/21 , H03H9/02086 , H03H9/0547 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供一种能够减少不需要的振动模式，从而有效地进行驱动的振动体、振动装置以及电子设备。为此，振动装置的振动体具有：基部；两个振动臂，其以从基部起向Y轴方向延伸、并在与Y轴方向正交的X轴方向上排列的方式而被设置；激励电极，其在各个振动臂上各设置一对，并通过通电而使振动臂振动，其中，在一对激励电极中的至少一个激励电极上，局部地形成有多个在其厚度方向上贯穿的微小的孔，由此，调节了振动臂的振动特性。
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公开(公告)号：CN102035499A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN201010502124.1
申请日：2010-09-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/215 , H03H9/0547 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，抑制了因热弹性损失引起的Q值的降低，提高了弯曲振动的效率。振动臂部在一方的主面上具有沿着振动臂部的第1方向设置的第1槽部，在另一方的主面上具有第2槽部和第3槽部，该第2槽部在第2方向上与第1槽部并列地设置，该第3槽部在第1方向上与第1槽部并列地设置，且相比于第1槽部，被设置在基部侧，在一方的主面上具有第4槽部，该第4槽部在第1方向上与第2槽部并列地设置，且相比于第2槽部，被设置在基部侧，第1槽部的深度与第2槽部的深度之和、以及第3槽部的深度与第4槽部的深度之和大于一方的主面与另一方的主面之间的距离。
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