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公开(公告)号:CN111527697B
公开(公告)日:2023-09-12
申请号:CN201880084099.4
申请日:2018-11-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor: 井上和则
Abstract: 弹性波装置(10A)具备:基板(11);功能元件(12),配置在基板(11)上;覆盖层(14),配置在基板(11)上使得覆盖功能元件(12);和保护层(15),对覆盖层(14)进行覆盖。覆盖层(14)具有呈凸状弯曲的弯曲部(142)。在弯曲部(142)与基板(11)之间形成中空空间(17),功能元件(12)配置在中空空间(17)内。弹性波装置(10A)还具备在弯曲部(142)与保护层(15)之间沿着弯曲部(142)的表面配置的导电部(16)。
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公开(公告)号:CN116210154A
公开(公告)日:2023-06-02
申请号:CN202180063301.7
申请日:2021-09-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种抑制频率特性的纹波的弹性波装置以及弹性波装置的制造方法。弹性波装置具备:支承基板;压电层,在第1方向上观察,与支承基板重叠;和第1电极以及第2电极,设置在压电层的至少第1主面,彼此相互对置,且为彼此不同的电位。在压电层的第2主面与支承基板之间存在空间部,空间部被压电层覆盖。第1电极以及第2电极分别具有在第1方向上与空间部重叠的重叠部分和在第1方向上不与空间部重叠的非重叠部分。在第1方向上,在和第1电极的非重叠部分与第2电极的非重叠部分之间的区域重叠的支承基板的至少一部分,设置有具有与支承基板的结晶性不同的结晶性的衰减层。
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公开(公告)号:CN114731152A
公开(公告)日:2022-07-08
申请号:CN202080079207.6
申请日:2020-11-09
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 电子部件(100)具备基板(110)、形成在基板(110)上的功能元件(120)、支承体(140)、覆盖部(150)和对覆盖部(150)进行覆盖的保护层(160)。支承体(140)在基板(110)上配置于形成了功能元件(120)的区域的周围。覆盖部(150)与基板(110)对置地配置并被支承体(140)支承。通过基板(110)、支承体(140)及覆盖部(150)形成中空空间(190)。功能元件(120)形成在中空空间(190)的内部。若将支承体(140)中与基板(110)侧的面相反的面设为第1面(141),则保护层(160)的一部分不隔着覆盖部(150)地与支承体(140)的第1面(141)相接。
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公开(公告)号:CN111527697A
公开(公告)日:2020-08-11
申请号:CN201880084099.4
申请日:2018-11-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor: 井上和则
Abstract: 弹性波装置(10A)具备:基板(11);功能元件(12),配置在基板(11)上;覆盖层(14),配置在基板(11)上使得覆盖功能元件(12);和保护层(15),对覆盖层(14)进行覆盖。覆盖层(14)具有呈凸状弯曲的弯曲部(142)。在弯曲部(142)与基板(11)之间形成中空空间(17),功能元件(12)配置在中空空间(17)内。弹性波装置(10A)还具备在弯曲部(142)与保护层(15)之间沿着弯曲部(142)的表面配置的导电部(16)。
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公开(公告)号:CN119137864A
公开(公告)日:2024-12-13
申请号:CN202380041215.5
申请日:2023-05-17
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor: 井上和则
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供能够抑制裂纹的扩展的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备:具有支承基板的支承构件;设置于支承构件并具有相互对置的第1主面(14a)以及第2主面(14b)的压电层(14);和设置于压电层(14)的第1主面(14a)以及第2主面(14b)之中的至少一者的(IDT)电极(11)。(IDT)电极(11)具有:相互对置的第1汇流条部(26)以及第2汇流条部(27);和包括一端连接于第1汇流条部(26)的至少1根第1电极指(28)以及一端连接于第2汇流条部(27)的至少1根第2电极指(29)的多个电极指。第1电极指(28)和第2电极指(29)彼此相互交错对插。在从与第1电极指(28)以及第2电极指(29)延伸的方向正交的方向观察时,相邻的第1电极指(28)以及第2电极指(29)相互重叠的区域为交叉区域(F)。在支承构件设置有空洞部(10a)。空洞部(10a)在俯视下与交叉区域(F)重叠。第1汇流条部(26)以及第2汇流条部(27)之中的至少一者具有:在俯视下不与空洞部(10a)重叠的外侧汇流条(26a、27a);和从外侧汇流条向交叉区域(F)侧延伸并与多个电极指之中不连接于该外侧汇流条的电极指对置的至少1根突起电极(26c、27c)。突起电极在俯视下与空洞部(10a)的外周缘重叠。
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公开(公告)号:CN118947061A
公开(公告)日:2024-11-12
申请号:CN202380031559.8
申请日:2023-03-29
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 弹性波装置具备:支承基板,在内部具有空洞部;压电体层,设置在支承基板上;功能电极,设置在压电体层上,该功能电极的至少一部分在沿着支承基板和压电体层的层叠方向观察的俯视下与空洞部重叠;以及至少1个构造体,设置在压电体层上,热线膨胀系数比压电体层小。构造体包含如下的区域,即,位于压电体层的设置有功能电极的区域以外的区域并且在沿着层叠方向观察的俯视下不与空洞部重叠的区域。
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公开(公告)号:CN118591987A
公开(公告)日:2024-09-03
申请号:CN202380018002.0
申请日:2023-01-20
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 弹性波装置具备:支承基板,包含支承构件和设置在所述支承构件上的中间层;压电体层,设置在中间层上;以及功能电极,设置在压电体层上。压电体层具有在支承构件、中间层以及压电体层的层叠方向上贯通压电体层的贯通孔。支承基板具有:空洞部,设置于在层叠方向上与功能电极的一部分重叠的位置;以及凹部,设置于空洞部的在层叠方向上与贯通孔重叠至少一部分的位置,并向远离压电体层的方向凹陷。
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公开(公告)号:CN118044117A
公开(公告)日:2024-05-14
申请号:CN202280066510.1
申请日:2022-09-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor: 井上和则
IPC: H03H9/25
Abstract: 弹性波装置具备:弹性波元件,包含元件基板、设置在元件基板上的压电体层、设置在压电体层上的功能电极、以及设置在压电体层上并与功能电极电连接的布线电极,在元件基板中,在沿着元件基板和压电体层的层叠方向观察的俯视下与功能电极的一部分重叠的位置设置有空洞部;安装基板,具有外部端子;金属凸块,将布线电极和外部端子连接;密封树脂,对弹性波元件以及金属凸块进行密封;以及衰减部,设置在元件基板的外表面中的、除了与压电体层的接触面以外的至少一部分,使无用波衰减。
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