涂布装置及涂布方法
    36.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119768899A

    公开(公告)日:2025-04-04

    申请号:CN202380061904.2

    申请日:2023-03-08

    Abstract: 根据实施方式,提供一种能够形成均匀的涂布膜的、用于通过弯月面法来形成涂布膜的涂布装置和涂布方法。该涂布装置具备:涂布棒;基材输送部件,输送所述基材;多个喷嘴,向所述涂布棒的表面供给所述涂布液;以及涂布液供给部件,向所述喷嘴供给所述涂布液,在所述喷嘴各自的上游侧具备涂布液供给量调整部件,所述涂布液供给量调整部件调整向所述喷嘴供给的涂布液的供给量。

    涂敷头、涂敷装置以及涂敷方法
    37.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119744203A

    公开(公告)日:2025-04-01

    申请号:CN202380061041.9

    申请日:2023-03-08

    Abstract: 根据实施方式,提供涂敷头、涂敷装置以及涂敷方法,能够形成均匀的涂敷膜且用于通过狭缝涂敷来形成涂敷膜。该涂敷头具备:歧管,在内部暂时存积涂敷液;狭缝,排出存积在上述歧管内的涂敷液;以及多个涂敷液供给口,向上述歧管导入涂敷液,上述歧管具有柱状形状,与上述涂敷头的长度方向大致平行地配置在上述涂敷头的内部,在上述歧管的长度方向的两端配置有上述多个涂敷液供给口。

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