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公开(公告)号：CN1635933A
公开(公告)日：2005-07-06
申请号：CN03804287.8
申请日：2003-02-20
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所
Inventor： 村田和广
CPC classification number: B05B5/0533 , B05B5/0255 , B41J2/01 , B41J2/04 , B41J2/14 , B41J2002/14395
Abstract: 一种超细流体喷射设备，包括配置在超细直径喷嘴末端附近的一基片，向喷嘴提供溶液，并向喷嘴中的溶液施加可选波形电压，以便向基片表面喷射超细直径的流体液滴；其中喷嘴末端的附近的电场强度根据喷嘴直径的降低，充分大于喷嘴与基片之间作用的电场；且其中使用麦克斯韦尔应力及电湿作用，通过降低喷嘴直径等降低电导率，并改进通过电压控制的喷射速率的可控制性；且其中通过使用带电液滴适度的蒸发并通过电场对液滴的加速，指数地改进着陆精确性。
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公开(公告)号：CN107148323B
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN201580043271.8
申请日：2015-08-11
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: B22F3/10 , B22F1/00 , H01L21/288 , H01B13/00
Abstract: 本发明涉及金属材料的处理装置，其具有：内部收纳样品的密闭容器，从由该密闭容器排出的气体抽出氧分子的氧泵，将该气体返回该密闭容器中的循环装置，以及处于该密闭容器内、将从该循环装置返回的该气体进行等离子体化，照射该样品的等离子体化装置。
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公开(公告)号：CN101623954B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN200910166780.6
申请日：2005-12-09
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所
Inventor： 村田和广
CPC classification number: B41J2/1637 , B41J2/162 , B41J2/1628 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646
Abstract: 本发明提供一种能够整体转印图案的具有细喷嘴孔的喷嘴板，以及制造其的方法。而且，提供在基片上以所需形状、在所需位置处形成细喷嘴孔的方法，以及由该方法获得的喷墨喷嘴板。而且，提供整体转印喷墨喷嘴板能够具有高成像效率，并能够通过简化喷嘴控制器而减少成本；以及制造其的方法。本发明中，在凝固材料的板中的细喷嘴孔由以下形成：基于计算机中的数据，根据细喷墨工艺在基片上形成三维结构，在除形成三维结构的部分之外的部分涂覆凝固材料，并且然后硬化并且去除凝固材料。
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公开(公告)号：CN100519012C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200480031492.5
申请日：2004-09-10
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 播磨化成株式会社
CPC classification number: H05K3/125 , C09D5/24 , C09D17/006 , H01B1/02 , H01B1/22 , H05K2201/0257 , H05K2203/013
Abstract: 本发明提供一种分散液，其可以利用于具有极微细的图案形状并且截面形状的厚度与最小宽度的比率高的导电体层的形成，在以高精度描绘微细的图案形状时，具有可以适用喷墨法的高的流动性，作为导电体媒介而仅利用金属纳米粒子。根据本发明，作为能够以微细的液滴的形状喷射、进行层叠涂布的金属纳米粒子分散液，使平均粒子径1～100nm的金属纳米粒子在沸点80℃以上的分散溶媒中分散，分散溶媒的容积比率选择为55～80体积%的范围，分散液的液粘度(20℃)，选择在2mPa·s～30mPa·s的范围，通过喷墨法等作为微细的液滴进行喷射时，在飞行期间，随着液滴中所含的分散溶媒蒸散而浓缩，作为浓稠的分散液，而可以涂布。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101142487A
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200580049139.4
申请日：2005-12-09
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所
Inventor： 村田和广
CPC classification number: G01R3/00 , G01R1/06711 , G01R1/06755 , Y10T29/49126
Abstract: 一种简化了制造过程并节省能量和材料的探针卡制造方法。提供了一种可以灵活应对端子间距减小、端子布置的变化、端子布置频繁改变的探针卡，以及这种探针卡的制造方法。此外，提供了在不需要为每次液体喷射进行烧结处理的情况下在短时间内形成要成为探针的精细凸块的探针卡制造方法。此外，提供了通过在探针卡与半导体芯片接触时展示出缓冲压力的效果而可以与半导体芯片均匀接触的探针卡，还提供制造该探针卡的方法。包含金属超精细微粒的液体材料通过精细喷墨方法喷射到衬底上并形成精细凸块。
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公开(公告)号：CN100429005C
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200480026239.0
申请日：2004-08-06
Applicant: 夏普株式会社 , 柯尼卡美能达控股株式会社 , 独立行政法人产业技术总合研究所
IPC: B05C5/00
Abstract: 喷嘴的喷出孔直径为0.01～25μm，并由电压施加单元在喷嘴与衬底之间施加设定成大于等于作为启动流体排出的电压条件的最低可排出电压(30)的上限电压(10)的脉冲电压。在脉冲电压上升沿前，设定极性与上限电压(10)相同且绝对值小于最低可排出电压(30)的第1下限电压(20a)，而且紧接在脉冲电压上升沿后，设定极性与上限电压(10)相反的第2下限电压(20b)。由此，能提供一种静电吸引型流体排出方法和装置，谋求喷嘴微细化、微小流体排出、击中位置高精度化和驱动电压的低电压化，同时还提高排出起止特性，提高驱动频率，并能进行排出量的脉冲时间控制。
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公开(公告)号：CN100398320C
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN03824809.3
申请日：2003-09-22
Applicant: 夏普株式会社 , 柯尼卡美能达控股株式会社 , 独立行政法人产业技术总合研究所
IPC: B41J2/06
Abstract: 一种静电吸引式流体喷射装置，是喷嘴(4)形成为与以往的作为流体的墨水(2)的静电吸引过程中形成的泰勒锥形状的前端部同等的弯液面相当的形状的装置。喷嘴(4)的墨水排出孔(4b)的直径设定为与所述弯液面(14)的墨水即将排出的前端部的直径大致相同，且设定为与排出后不久的墨水(2)的液滴直径同等以下。由此，本发明可提供一种可使既可满足高分辨率和安全性两方面、且通用性好的记录装置实用化的静电吸引式流体喷射装置。
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公开(公告)号：CN1849178A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN200480026239.0
申请日：2004-08-06
Applicant: 夏普株式会社 , 柯尼卡美能达控股株式会社 , 独立行政法人产业技术总合研究所
IPC: B05C5/00
Abstract: 喷嘴的喷出孔直径为0.01～25μm，并由电压施加单元在喷嘴与衬底之间施加设定成大于等于作为启动流体排出的电压条件的最低可排出电压(30)的上限电压(10)的脉冲电压。在脉冲电压上升沿前，设定极性与上限电压(10)相同且绝对值小于最低可排出电压(30)的第1下限电压(20a)，而且紧接在脉冲电压上升沿后，设定极性与上限电压(10)相反的第2下限电压(20b)。由此，能提供一种静电吸引型流体排出方法和装置，谋求喷嘴微细化、微小流体排出、击中位置高精度化和驱动电压的低电压化，同时还提高排出起止特性，提高驱动频率，并能进行排出量的脉冲时间控制。
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公开(公告)号：CN1694812A
公开(公告)日：2005-11-09
申请号：CN03824809.3
申请日：2003-09-22
Applicant: 夏普株式会社 , 柯尼卡美能达控股株式会社 , 独立行政法人产业技术总合研究所
IPC: B41J2/06
Abstract: 一种静电吸引式流体喷射装置，是喷嘴(4)形成为与以往的作为流体的墨水(2)的静电吸引过程中形成的泰勒锥形状的前端部同等的弯液面相当的形状的装置。喷嘴(4)的墨水排出孔(4b)的直径设定为与所述弯液面(14)的墨水即将排出的前端部的直径大致相同，且设定为与排出后不久的墨水(2)的液滴直径同等以下。由此，本发明可提供一种可使既可满足高分辨率和安全性两方面、且通用性好的记录装置实用化的静电吸引式流体喷射装置。
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