整体转印喷墨喷嘴板及制造其的方法

    公开(公告)号:CN101142086A

    公开(公告)日:2008-03-12

    申请号:CN200580049077.7

    申请日:2005-12-09

    Inventor: 村田和广

    Abstract: 本发明提供一种能够整体转印图案的具有细喷嘴孔的喷嘴板,以及制造其的方法。而且,提供在基片上以所需形状、在所需位置处形成细喷嘴孔的方法,以及由该方法获得的喷墨喷嘴板。而且,提供整体转印喷墨喷嘴板能够具有高成像效率,并能够通过简化喷嘴控制器而减少成本;以及制造其的方法。本发明中,在凝固材料的板中的细喷嘴孔由以下形成:基于计算机中的数据,根据细喷墨工艺在基片上形成三维结构,在除形成三维结构的部分之外的部分涂覆凝固材料,并且然后硬化并且去除凝固材料。

    探针卡及其制造方法
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101142487B

    公开(公告)日:2010-05-26

    申请号:CN200580049139.4

    申请日:2005-12-09

    Inventor: 村田和广

    CPC classification number: G01R3/00 G01R1/06711 G01R1/06755 Y10T29/49126

    Abstract: 一种简化了制造过程并节省能量和材料的探针卡制造方法。提供了一种可以灵活应对端子间距减小、端子布置的变化、端子布置频繁改变的探针卡,以及这种探针卡的制造方法。此外,提供了在不需要为每次液体喷射进行烧结处理的情况下在短时间内形成要成为探针的精细凸块的探针卡制造方法。此外,提供了通过在探针卡与半导体芯片接触时展示出缓冲压力的效果而可以与半导体芯片均匀接触的探针卡,还提供制造该探针卡的方法。包含金属超精细微粒的液体材料通过精细喷墨方法喷射到衬底上并形成精细凸块。

Patent Agency Ranking