公开(公告)号：CN107148323A

公开(公告)日：2017-09-08

申请号：CN201580043271.8

申请日：2015-08-11

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 白川直树 ,  村田和广

IPC: B22F3/10 ,  B22F1/00 ,  H01L21/288 ,  H01B13/00

Abstract: 本发明涉及金属材料的处理装置，其具有：内部收纳样品的密闭容器，从由该密闭容器排出的气体抽出氧分子的氧泵，将该气体返回该密闭容器中的循环装置，以及处于该密闭容器内、将从该循环装置返回的该气体进行等离子体化，照射该样品的等离子体化装置。

公开(公告)号：CN107148323B

公开(公告)日：2020-05-29

申请号：CN201580043271.8

申请日：2015-08-11

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 白川直树 ,  村田和广

IPC: B22F3/10 ,  B22F1/00 ,  H01L21/288 ,  H01B13/00

Abstract: 本发明涉及金属材料的处理装置，其具有：内部收纳样品的密闭容器，从由该密闭容器排出的气体抽出氧分子的氧泵，将该气体返回该密闭容器中的循环装置，以及处于该密闭容器内、将从该循环装置返回的该气体进行等离子体化，照射该样品的等离子体化装置。