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公开(公告)号：CN210710732U
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201921150671.0
申请日：2019-07-22
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及MEMS设备。一种用于制造MEMS设备的工艺包括形成第一组件，第一组件包括：介电区域；再分布区域；以及多个单元部分。第一组件的每个单元部分包括：被布置在介电区域中的裸片；以及多个第一和第二连接元件，它们延伸至再分布区域的相对面并且通过在再分布区域中延伸的路径被连接在一起，第一连接元件被耦合至裸片。工艺进一步包括：形成包括多个相应的单元部分的第二组件，多个相应的单元部分中的每个相应的单元部分包括半导体部分和第三连接元件；机械耦合第一和第二组件，以将第三连接元件连接至对应的第二连接元件；并且然后去除第二组件的每个单元部分的半导体部分的至少一部分，从而形成对应膜。
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公开(公告)号：CN217479067U
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202122975703.4
申请日：2021-11-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 公开了一种微机械装置及微机械系统。该装置包括：本体；间隔元件，耦接至本体；第一电极结构，耦接至间隔元件且叠加至本体并与本体交叠且与本体电绝缘，第一电极结构、本体和至少一间隔元件界定具有在间隔元件的相应侧壁中相对的侧壁间延伸的第一尺寸的第一掩埋腔；第一压电元件，耦接且叠加至并交叠第一电极结构，第一压电元件与第一掩埋腔交叠，第一压电元件具有在第一压电元件的相应侧壁中的相对侧壁间延伸的小于第一掩埋腔的第一尺寸的第二尺寸；本体、第一电极结构和掩埋腔形成第一电容式超声换能器，第一电极结构和第一压电元件形成第一压电超声换能器。本实用新型的技术以简单的方式获得了高通用性、适应性的微机械装置和微机械系统。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN217323375U
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202120950316.2
申请日：2021-05-06
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B81B3/00
Abstract: 本公开的各实施例涉及微机电结构致动器以及微流体阀。微机电结构致动器由以下部件形成：基底，围绕腔体；可变形结构，悬置在腔体上；致动结构，由第一压电材料的第一压电区域形成，由可变形结构支撑并且被配置为引起可变形结构的变形；以及检测结构，由第二压电材料的第二压电区域形成，由可变形结构支撑并且被配置为检测可变形结构的变形。压电电阻器是在存在机械应力的情况下经历电阻变化并且因此允许通过电压或电流检测来检测可变形结构的变形的设备。然而，该检测是主动检测，并且因此意味着具有高能耗的电流的通过。
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公开(公告)号：CN215974953U
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202120946692.4
申请日：2021-05-06
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉MEMS致动器、流量调节器和扬声器。MEMS致动器包括围绕腔体的本体的MEMS致动器；在腔体上的可变形结构，可变形结构包括可移动部分和连续布置的多个可变形元件，多个可变形元件将可移动部分连接到本体。可变形结构还包括将可移动部分、多个可变形元件和本体耦联在一起的多个臂。可变形结构还包括多个加强结构，多个加强结构中的相应一个加强结构与多个臂中的相应一个臂集成。MEMS致动器还包括在所述可变形元件上的至少一组多个致动结构。
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公开(公告)号：CN215834253U
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202022802512.3
申请日：2020-11-27
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本实用新型的实施例提供了用于硬盘存储器系统的读/写设备以及存储器系统。该读/写设备包括固定结构；膜区域，包括被约束到固定结构的第一膜和第二膜以及介于第一膜与第二膜之间的中心部分；第一压电致动器和第二压电致动器，分别被机械地耦合到第一膜和第二膜；以及读/写头，被固定到膜区域的中心部分。可以控制第一压电致动器和第二压电致动器以导致第一膜和第二膜的对应的变形，第一膜和第二膜的所述变形导致读/写头相对于固定结构的对应的移动。本实用新型的实施例提供了对读/写设备的改进，可以使得读/写头相对于滑块平移，并且所述平移的程度明显高于根据现有技术的解决方案可以获得的程度。
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公开(公告)号：CN207481454U
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201721268995.5
申请日：2017-09-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司 , 意法半导体公司
CPC classification number: B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1626 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2002/14403 , B41J2002/14419
Abstract: 本公开涉及流体喷射装置、打印头和打印机。用于流体的喷射装置包括固体主体，固体主体包括：第一半导体主体，包括用于容纳流体的室、与室流体连接的喷嘴、以及操作性地连接到室的致动器，以在使用时在流体中生成一个或多个压力波，使得流体从喷嘴喷射；以及第二半导体主体，包括用于将流体馈送到室的、耦合到第一半导体主体的通道，使得通道与室流体连接。第二半导体主体集成了阻尼腔，在阻尼腔之上延伸有阻尼膜，阻尼腔和阻尼膜横向延伸到通道，以馈送流体。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN205426393U
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201520972088.3
申请日：2015-11-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及一种压力传感器、压力测量设备以及制动系统，压力传感器(15)带有双测量刻度，包括：柔性本体(16，34)，设计成根据压力(P)而经受偏转；压阻转换器(28，29；94)，用于检测偏转；第一聚焦区域(30)，设计成在第一操作条件过程中将压力(P)的第一值(PINT1)集中在柔性本体的第一部分(19)中，以便使柔性本体的第一部分发生偏转；以及第二聚焦区域(33)，设计成在第二操作条件过程中将所述压力(P)的第二值(PINT2)集中在柔性本体的第二部分(17)中，以便使柔性本体的第二部分发生偏转。压阻转换器将柔性本体的第一部分的偏转关联至第一压力值(PINT1)，并且将柔性本体的第二部分的偏转关联至第二压力值(PINT2)。
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