-
公开(公告)号：CN113853280A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202080030816.2
申请日：2020-07-09
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 一种机器人控制装置，用于对保持基板并进行搬运的机器人的动作进行控制，其特征在于，在末端执行器位于比载置位置靠上方的第1示教点时，成为末端执行器保持基板而在载置位置未载置基板的第1状态，在末端执行器位于比载置位置靠下方的第2示教点时，成为末端执行器不保持基板而在载置位置载置基板的第2状态，通过使机器人进行末端执行器从第1及第2示教点中的任意一个移动到任意另一个的第1动作，从而能够在第1状态与第2状态之间进行切换，在第1动作的中途，不进行末端执行器是否通过了载置位置的判断，且不使末端执行器停止。
-
公开(公告)号：CN107251211B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201580075959.4
申请日：2015-02-13
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/16 , B25J13/08
Abstract: 该衬底搬送机械手(1)具备：机械臂(4)，具备具有保持衬底(S)的衬底保持机构的末端执行器(7)；臂驱动机构(9、10、11)，用来驱动机械臂(4)；升降驱动机构(8)，用来升降驱动末端执行器(7)；机械手控制机构(12)，控制臂驱动机构(9、10、11)、升降驱动机构(8)及衬底保持机构；及衬底检测机构(20)，检测衬底(S)的上下方向的位置，且具有与末端执行器(7)的升降动作连动地进行升降的衬底检测传感器(20)。可精度良好地检测搬送对象的衬底的上下方向的位置，并基于其检测结果而控制机械手动作。
-
公开(公告)号：CN111356563A
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201880075578.X
申请日：2018-09-10
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J19/06
Abstract: 用于对具有多个驱动部且进行规定的工序动作的机器人进行监视的监视方法，其特征在于包括：准备运转工序，将规定的工序动作进行一次以上，在多个工序部分的各者中，对于进行动作的驱动部，检测所设定的所有监视参数；分级工序，对于准备运转工序中检测出的所有监视参数的各者，基于规定的负荷评价方法导出负荷程度，从负荷程度大者起依序将检测出的所有监视参数进行分级；以及通常运转工序，主要对分级工序中分级为上位的监视参数，针对检测出该监视参数的工序部分中的驱动部进行监视。
-
公开(公告)号：CN110891744A
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201880049169.2
申请日：2018-07-31
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J19/06 , H01L21/677
Abstract: 特征在于，是用于监控对工件（W）进行作业的机器人（20）的状态的状态监控系统（10），执行以下步骤：从传感器获取状态数据并导出劣化指标参数的步骤（S1）；判定劣化指标参数是否超过针对比需要事后维修的级别低的级别预设的第一阈值的步骤（S2）；进一步对判定为劣化指标参数超过第一阈值的频次是否超过了预设的频次的阈值进行判定的步骤（S4）；和在判定为所述频次超过了频次的阈值时以停止以外的方式抑制机器人（20）的动作的步骤（S5）。
-
公开(公告)号：CN107251211A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201580075959.4
申请日：2015-02-13
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/16 , B25J13/08
Abstract: 该衬底搬送机械手(1)具备：机械臂(4)，具备具有保持衬底(S)的衬底保持机构的末端执行器(7)；臂驱动机构(9、10、11)，用来驱动机械臂(4)；升降驱动机构(8)，用来升降驱动末端执行器(7)；机械手控制机构(12)，控制臂驱动机构(9、10、11)、升降驱动机构(8)及衬底保持机构；及衬底检测机构(20)，检测衬底(S)的上下方向的位置，且具有与末端执行器(7)的升降动作连动地进行升降的衬底检测传感器(20)。可精度良好地检测搬送对象的衬底的上下方向的位置，并基于其检测结果而控制机械手动作。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107206588A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201580075322.5
申请日：2015-02-04
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J9/10 , H01L21/677
CPC classification number: B25J9/1641 , B25J9/12 , B25J11/0095 , G05B19/298 , G05B2219/34013 , H01L21/67259 , H01L21/68707 , Y10S901/02 , Y10S901/14 , Y10S901/23
Abstract: 机械手的偏移自动调整装置（2）具备参数最佳化部（27），该参数最佳化部（27）在偏移评价值大于规定的阈值的情形时，使控制参数设定部（23）重新设定多个控制参数中的任一个控制参数，且反复地分别使控制参数设定部（23）、机械手控制部（22）、偏移取得部（25）及判定部（26）进行重新设定上述控制参数、使末端执行器（15）直线移动、取得偏移及进行判定，直至上述偏移评价值达到上述规定的阈值以下为止，使多个控制参数的组合最佳化。
-
公开(公告)号：CN107000223A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201480083989.5
申请日：2014-12-25
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J19/06 , H01L21/677
CPC classification number: B25J9/1666 , B25J9/06 , B25J9/1664 , H01L21/68707
Abstract: 机械手的障碍物自动回避方法具备：几何模型表现步骤（S40），将机械手（100）表现为几何模型（M）；假想姿势算出步骤（S30），算出与初始轨道上的规定点对应的机械手的假想姿势（Pp）；干扰判定步骤（S50），判定假想姿势的几何模型是否干扰禁止进入区域；经过姿势决定步骤（S70），判定为干扰时，算出假想斥力将几何模型的干扰部分自禁止进入区域推出至动作区域的状态的姿势，将算出的姿势决定为经过姿势；更新轨道决定步骤（S80），将自当前姿势经由经过姿势变化为最终姿势时手部的轨道决定为更新轨道（Tb）；及将最新的经过姿势决定步骤中决定的经过姿势假设为初始轨道决定步骤中的当前姿势，反复执行自初始轨道决定步骤至更新轨道决定步骤的步骤。
-
公开(公告)号：CN113165169B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202080006356.X
申请日：2020-04-10
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
Inventor： 吉田雅也 , 阿维什·阿肖克·巴瓦尼 , 曾铭 , 布兰东·李 , 里安·勒
IPC: B25J9/06 , B25J9/10 , B25J9/16 , H01L21/677
Abstract: 基板搬运机器人(10)具备：基台(31)；手(12)，具有载置基板(W)的基板载置部(12a)；多关节构造的机器人臂(11)，基端部与基台连结，前端部与手连结，包括多个关节(61、62、63)；机器人臂驱动机构(20)，包括驱动源(22)、和将驱动源的驱动力传递至机器人臂的关节来使关节位移的驱动力传递部(23)；机器人控制部(41)，控制驱动源的动作以使手在目标位置采取目标姿势，机器人控制部使手从手拾起基板的位置即第1目标位置(L3)的下方的第1下方位置(L1)上升到第1目标位置的上方的第1上方位置(L4)，并在从第1下方位置到第1下方位置与第1目标位置之间的第1中间位置(L2)的第1区间(A1)使多个关节的至少1个单向地位移。
-
公开(公告)号：CN113226660B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN201980085153.1
申请日：2019-12-19
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
IPC: B25J9/06 , H01L21/677
Abstract: 本发明的位置修正方法具备如下步骤，即：通过以使手部成为预先决定的第一初始姿势的方式使上述手部移动，从而使上述手部与目标物对置的步骤；摆动手部来检测上述目标物遮挡上述检测光时的上述旋转轴的旋转角的第一位置检测步骤；通过以使手部成为预先决定的第二初始姿势的方式使上述手部移动，从而使上述手部与目标物对置的步骤；摆动上述手部来检测上述目标物遮挡上述检测光时的上述旋转轴的旋转角的第二位置检测步骤；以及基于以上述第一初始姿势取得的目标物的位置、与以上述第二初始姿势取得的目标物的位置之差，求出上述第二轴以及上述第三轴的旋转角修正量的修正量运算步骤。
-
公开(公告)号：CN108604563B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN201680073320.7
申请日：2016-12-13
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明的衬底搬送机器人(1)具备：末端执行器(7)，设置在机器臂(4)，且具有保持衬底(S)的衬底保持机构(13)；臂驱动机构(9、10、11)，驱动机器臂(4)；机器人控制机构(12)，控制臂驱动机构；以及保持力检测机构(33)，检测衬底保持机构的衬底保持力。机器人控制机构(12)构成为基于根据由保持力检测机构(33)检测出的衬底保持力而决定的末端执行器(7)的加速度及速度的至少一者的上限值，而控制臂驱动机构(9、10、11)。本发明即使在末端执行器的衬底的保持力下降的情况下，无论衬底有无位置偏移，均能够一边继续进行衬底搬送动作，一边确实地防止衬底的位置偏移或坠落。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
49
records
(took 0.027 seconds)
