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公开(公告)号：CN107421470A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201710379041.X
申请日：2017-05-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
CPC classification number: G01B11/26
Abstract: 一种双路自准直仪，涉及光学自准直仪领域。解决了现有随着测量距离的增加，使得测量环境波动直接影响测量精度，从而降低了测量精度的问题。绿光光源发出的光作为测量光；红光光源发出的光作为校准光，两个光源发出的光分别通过分光镜、准直镜，在1号二向色镜处汇合，在此处绿光发生反射，依次通过1号二向色镜、反射镜、1号准直镜、1号分光镜，成像在1号面阵CCD的光敏面处；红色激光经1号二向色镜透射后入射至2号二向色镜，经2号二向色镜透射后，入射至角锥棱镜，红光经角锥棱镜的反射后，依次经1号二向色镜、2号准直镜、2号分光镜透射后，成像在2号面阵CCD的光敏面。本发明主要适用于较大测量距离的光路的应用。
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公开(公告)号：CN105091740B
公开(公告)日：2017-11-14
申请号：CN201510443527.6
申请日：2015-07-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 一种基于标定高分辨率频率扫描干涉仪色散啁啾斜率补偿色散的方法，本发明涉及基于标定高分辨率频率扫描干涉仪色散啁啾斜率补偿色散的方法。本发明的目的是为了解决现有激光频率扫描干涉仪测量分辨率低的问题。通过以下技术方案实现的：步骤一、求解外腔调频激光器发出的光经过辅助干涉光路长臂后的时域信号和外腔调频激光器发出的光经过辅助干涉光路短臂后，在光纤色散效应条件下形成的拍频；步骤二、根据步骤一中得到的拍频，对被测目标进行采样，求解被测目标的测量信号；步骤三、根据步骤二中得到的被测目标的测量信号，求解色散啁啾补偿斜率。本发明应用于高分辨率频率扫描领域。
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公开(公告)号：CN105259548B
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201510717190.3
申请日：2015-10-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于FMCW绝对距离测量技术中色散失配校正方法，本发明涉及色散失配校正方法。本发明是要传统的色散软件测量精度提高效果不明显的问题而提出的一种用于FMCW绝对距离测量技术中色散失配校正方法。该方法是通过一、得到辅助干涉仪存在色散的辅助干涉仪信号I(f)；二、组成测量干涉仪信号Im；三、利用Im(f)计算出Iend(m)；四、计算得到目标反射光的干涉信号与参考光的干涉信号经辅助干涉仪采用后的数值信号Im(m)，五、以啁啾信号的和中各啁啾信号分量的系数P(k)作为信号的距离谱；六、判断被测目标距离范围为R1～R2；七、Im(m)进行分解；同时对步骤四中信号的距离谱的分辨率进行优化等步骤实现的。本发明应用于色散失配校正领域。
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公开(公告)号：CN103344198B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201310316915.9
申请日：2013-07-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种用于微小球面表面轮廓检测的倍程式移相衍射干涉测量仪及测量方法，涉及光学检测领域。解决了传统时域移相干涉测量装置存在单次测量检测范围过小和测量精度低的问题。它包括短相干激光器、空间滤波器、分光棱镜、直角反射镜、偏振分光棱镜、λ/4波片、4f扩束系统、显微物镜、平面反射镜、角锥棱镜、移相器、光纤耦合镜、单模光纤和光纤准直镜、λ/2波片、偏振分光棱镜、偏振片、面阵CCD和计算机，通过计算机控制移相器使面阵CCD获得四幅干涉图样，计算机通过干涉图样获得干涉图像间的定位关系，从而求解出干涉场内每一像素点对应的初始相位差，进而求出光程差，实现球面形貌测量。本发明适用于微小球面表面轮廓检测。
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公开(公告)号：CN105091740A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510443527.6
申请日：2015-07-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 一种基于标定高分辨率频率扫描干涉仪色散啁啾斜率补偿色散的方法，本发明涉及基于标定高分辨率频率扫描干涉仪色散啁啾斜率补偿色散的方法。本发明的目的是为了解决现有激光频率扫描干涉仪测量分辨率低的问题。通过以下技术方案实现的：步骤一、求解外腔调频激光器发出的光经过辅助干涉光路长臂后的时域信号和外腔调频激光器发出的光经过辅助干涉光路短臂后，在光纤色散效应条件下形成的拍频；步骤二、根据步骤一中得到的拍频，对被测目标进行采样，求解被测目标的测量信号；步骤三、根据步骤二中得到的被测目标的测量信号，求解色散啁啾补偿斜率。本发明应用于高分辨率频率扫描领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102829715B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201210299780.5
申请日：2012-08-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/04
Abstract: 一种基于折返式的大口径长工作距自准直显微监测仪，涉及一种大口径长工作距自准直显微监测仪。它是为了解决现有的显微测量仪的测量距离短、监测系统的显微分辨率较低、监测视场较窄的问题。光源出射的光经分划板、二号分光镜、二号反射镜、一号分光镜后入射至待测目标，经待测目标反射后的光束沿原光路返回，返回光路在分光镜出分出透射光并入射至准直CCD；经待测目标反射后光束还先后经过一号发射镜、主物镜后由一号分光镜分成反射光和透射光，透射光入射至小视场CCD；反射光先后经一号次物镜、三号反射镜、二号次物镜和大视场CCD后入射至大视场CCD。本发明适用于显微监测。
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公开(公告)号：CN103151703B
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201310050542.5
申请日：2013-02-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: Littrow结构可调谐外腔式激光器及其无跳模扫频调节方法，属于激光调谐技术领域。它解决了现有Littrow结构外腔式激光器无法实现大范围无跳模调谐的问题。激光器包括半导体激光器、液晶空间光调制器和闪耀光栅；方法为使半导体激光器发射的激光束经过液晶空间光调制器后入射在闪耀光栅上，经闪耀光栅后原路返回的一级衍射光在所述可调谐外腔式激光器的内腔和外腔之间形成谐振，最后由闪耀光栅的零级出射；绕轴点O旋转闪耀光栅，并同时改变液晶空间光调制器的电压使液晶空间光调制器的折射率，在旋转闪耀光栅调谐的过程中，从而实现所述可调谐外腔式激光器的无跳模扫频调节。本发明适用于激光器的调节。
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公开(公告)号：CN103344198A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310316915.9
申请日：2013-07-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种用于微小球面表面轮廓检测的倍程式移相衍射干涉测量仪及测量方法，涉及光学检测领域。解决了传统时域移相干涉测量装置存在单次测量检测范围过小和测量精度低的问题。它包括短相干激光器、空间滤波器、分光棱镜、直角反射镜、偏振分光棱镜、λ/4波片、4f扩束系统、显微物镜、平面反射镜、角锥棱镜、移相器、光纤耦合镜、单模光纤和光纤准直镜、λ/2波片、偏振分光棱镜、偏振片、面阵CCD和计算机，通过计算机控制移相器使面阵CCD获得四幅干涉图样，计算机通过干涉图样获得干涉图像间的定位关系，从而求解出干涉场内每一像素点对应的初始相位差，进而求出光程差，实现球面形貌测量。本发明适用于微小球面表面轮廓检测。
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公开(公告)号：CN103196361A
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201310063729.9
申请日：2013-02-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于微球表面形貌快速检测的短相干瞬时移相干涉测量仪及测量方法，涉及光学检测空间物体三维形貌的领域。本发明解决了现有同类技术检测效率低、横向分辨能力差、孤立缺陷点容易遗漏、参考面制造困难且精度低等问题。干涉测量仪中，参考光经单模光纤传递给光纤准直器，准直后形成入射参考光束；测量光束经多次反射后形成与入射参考光束垂直的入射测量光束，入射参考光束和入射测量光束入射第三偏振分光棱镜后合束，依次经第四、第五偏振分光棱镜分成四束平行光束，四束平行光束经波片阵列分别加入不同的移相量后在面阵CCD上形成四个光斑。本测量方法是通过对四个光斑进行图像处理获得被测微球的球面形貌。本发明适用于微球表面形貌的快速检测。
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公开(公告)号：CN103091681A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201310050971.2
申请日：2013-02-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于重反射技术的调频连续波干涉仪，属于光学领域。本发明为解决现有采用线性调频激光干涉技术的干涉仪不能达到很高的精度问题。它的调频激光器输出的激光束经准直透镜准直后输出准直平行光束，并入射至分光棱镜，经分光棱镜反射的光束入射至第一角锥棱镜，再返回入射至分光棱镜，再透射出去形成参考光束，该参考光束经聚焦透镜汇聚在点探测器的光敏面上；经分光棱镜透射的光束入射至第二角锥棱镜；第二角锥棱镜反射后形成的向上偏移光束入射至第三角锥棱镜，经第三角锥棱镜、第二角锥棱镜和分光棱镜依次反射后形成测量光束，该测量光束经聚焦透镜汇聚在点探测器的光敏面上。本发明作为一种干涉仪。
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