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公开(公告)号：CN104914682A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510353872.0
申请日：2015-06-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 光刻机换台过程中公转电机残留震荡抑制的控制方法，它属于光刻机双工件台框架运动控制的高精度快速定位控制的技术领域。它的方法步骤为：一：在线状态下给公转电机施加阶跃给定，幅值为10度，通过上位机保存公转电机在该给定下的运行曲线数据；二：把上位机保存的曲线数据，作为simulink仿真中的Y_，进行离线整形；三：在离线情况下，运用改进的蚁群算法得到最优输入整形器参数；四：给公转电机施加S曲线给定，目标位置为30度，利用得到的最优输入整形器参数在在线状态下进行输入整形，直接对输入进行整形，对公转电机进行开环前馈控制。本发明能对公转电机的S曲线给定进行输入整形，可以使公转电机实现快速定位，定位时间由6S减少到2S。
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公开(公告)号：CN103309355B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201310187795.7
申请日：2013-05-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D3/00
Abstract: 多轴支撑气浮平台的质心偏移容许干扰的测量与监控方法，属于超精密仪器设备平台技术领域。本发明为了解决现有支撑平台的调平状态受限，应用范围狭窄的问题。它首先设定质心偏移量阈值，然后将质心偏移量G(x0，y0)与质心偏移量阈值进行比较，当质心偏移量G(x0，y0)小于质心偏移量阈值时，对支撑腿的伸缩长度进行补偿；当质心偏移量G(x0，y0)大于质心偏移量阈值时，通过控制气足的喷嘴喷气使承载平台在水平混凝土基座上平动，跟随承载平台上负载的运动以调整相对位移量(x2，y2)，直到将质心偏移量G(x0，y0)调至质心偏移量阈值范围之内。本发明用于气浮平台的质心偏移容许干扰的测量与监控。
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公开(公告)号：CN104765370A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201510178044.8
申请日：2015-04-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D1/02
Abstract: 有环境干扰下考虑侧滑角的UUV航迹视线导引法，涉及欠驱动水下无人航行器在进行轨迹跟踪控制方法。传统的UUV航迹视线导引法在有环境干扰的情况下，存在稳定航迹误差，本发明为了消除稳定航迹误差，直接引入侧滑角β＝a tan(v/u)对期望艏向指令进行了修正，根据修正后的艏向期望角ψd＝βi-α(t)-β对艏向角度进行调整，能够消除稳定航迹误差，实现对UUV航迹的精确跟踪。本发明适用于欠驱动水下无人航行器在进行轨迹跟踪控制。
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公开(公告)号：CN103983189A
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201410208605.X
申请日：2014-05-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明涉及基于二次平台线阵CCD的水平位置坐标的计算方法，属于超精密仪器设备测量系统的测量技术领域。本发明针对现有方法误差较大，致使整个线阵CCD测量系统的误差不符合指标或增加整个测量系统的硬件成本；二次平台系统仿真精确性和稳定性下降，影响全物理仿真的结果的问题。提出一种基于二次平台线阵CCD的水平位置测量方法：连接二次平台线阵CCD，将所有的线阵CCD摆放到预定的高度和位置；旋转半导体激光器，此时在系统中每过0.375ms都会有一个线阵CCD被扫过，从而发出一个有效的Z坐标数据；将所有实时得到的Z坐标数据进行计算处理，得到二次平台在水平位置的坐标。本发明适用于超精密仪器设备测量。
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公开(公告)号：CN103944707A
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201410198632.3
申请日：2014-05-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 全双工与半双工转换器及转换方法，涉及全双工与半双工通信兼容技术。它为了解决解决采用RS422串口通信的数据处理卡与采用RS485串口通信的信号采集卡直接进行通信时，存在数据丢失或误码率高的问题。本发明在半双工信号采集模块与全双工数据处理模块之间设置了三态门集成电路，实现了数据处理卡422串口的发送端与接收端的物理隔离。通过软件实现的各功能模块通过查询接收模块接收数据反馈标志的方式，解决了全双工和半双工端口通信兼容问题，不存在数据丢失及误码现象，保证了数据收发的准确性。本发明适用于采用RS422串口通信的数据处理卡与采用RS485串口通信的信号采集卡之间的通信。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103856113A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201410128678.8
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 一种基于磁悬浮平面电机的空间模拟器及其控制方法，属于航空航天方向物理仿真试验领域。本发明是为了克服现有航空航天设备抗扰动能力差、不能长时间运行以及由此导致的仿真效果差的问题。磁悬浮平面电子动子的读数头将读取的动子在平面光栅的位置信息通过FPGA控制板卡发送至无线发送/接收模块，并由地面的无线接收/发送模块接收，然后传输至上位机中，上位机根据动子实际位置信息和目标位置信息获得发送姿态控制指令，并将该姿态控制指令发送给电流控制器，电流控制器控制磁悬浮平面电机的动子向目标位置移动。本发明适用于航空航天研究领域中模拟外太空微干扰和微重力的实验环境。
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公开(公告)号：CN103455424A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310428609.4
申请日：2013-09-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于VxWorks操作系统的动态内存泄漏检测方法及装置，涉及一种动态内存泄漏检测方法及装置。为了解决目前动态内存泄漏检测的检错效率低且速度慢的问题。它通过改写内存分配函数malloc()和内存释放函数free()得到函数LC_malloc()和函数LC_free()，以日志的形式记录分配和释放信息，实现动态内存的跟踪；通过TCP通信协议，使用数据发送缓冲队列，将日志信息从安装有VxWorks操作系统的工控机上传到上位机；在上位机中，从日志文件中读入日志事件项，并对比内存的分配和释放，从日志文件中分析并检测出内存泄露。它适用于动态内存泄漏检测。
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公开(公告)号：CN102707577B
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201210162271.8
申请日：2012-05-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 宏微双机构伺服控制系统及其控制方法，属于精密伺服运动平台建模与控制技术领域。它解决了在双机构伺服系统的控制中，要求微动台的机械谐振高，加工难度大并且不易控制的问题。它包括微动台子控制系统和宏动台子控制系统，通过将宏动台和微动台的相对速度vr作为微动电机M1反电动势的来源，将宏动台和微动的相对位移yr作为反馈施加到宏动台部分，将参考指令R施加给微动台子系统，并将零输入参考指令作为宏动台的输入，将微动台的惯性力F直接施加到宏动台上，建立具有明确物理意义的宏微双机构伺服系统的控制模型。本发明适用于宏微双机构的伺服控制。
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公开(公告)号：CN103335632A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310236763.1
申请日：2013-06-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01C9/00
Abstract: 一种高精度高频响的平台倾角测量装置及采用该装置测量平台倾角的方法，涉及一种平台倾角测量装置及采用该装置测量平台倾角的方法。它是为了解决现有倾角测量传感器对平台倾角的测量精度低、频响低的问题。在平台运动基座边缘的一个圆周上均匀安装一定数量的线阵CCD，安装在平台上的旋转光源通过扫描线阵CCD在其屏幕上留下一系列光点，线阵CCD输出的光点高度信号输入到CPU中，将当前平台平面为相邻三个CCD上光点构成的平面，在CPU中通过空间几何关系计算获得平台在两个相互垂直方向的倾角。本发明适用于超精密仪器设备平台技术领域的应用。
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公开(公告)号：CN103292127A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310187886.0
申请日：2013-05-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G05D3/12 , F16F15/00 , F16F15/002 , F16M11/121 , F16M11/18 , F16M11/26 , F16M11/32 , G05B15/02 , G05B19/27 , G05B2219/49276
Abstract: 多轴支撑气浮平台的测量控制系统，属于超精密仪器设备平台技术领域。本发明为了解决现有支撑平台的调平状态受限，应用范围狭窄的问题。它包括负载反馈单元、执行单元、位置测量单元、安全保护单元、控制器、旋转电机和直线光源，负载反馈单元包括M个压力传感器和四个差动传感器；执行单元包括M个伺服音圈电机和M个伺服音圈电机驱动器；位置测量单元包括平面光栅、M个直线光栅、线阵CCD、倾角传感器、M个电子水平仪和室内GPS；安全保护单元包括2M个接近传感器和M个温度传感器，线阵CCD由不少于六个CCD组成。本发明用于气浮平台的测量控制。
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