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公开(公告)号：CN103790646A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410052102.8
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于光电编码器测角的航空发动机转子电驱动磁浮装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于磁浮回转轴系确定回转基准；依据光电编码器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103776368A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410051700.3
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于同心度优化的气磁复合支撑式航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气磁结合回转轴系确定回转基准；依据感应同步器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN102495528B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201110377833.6
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 基于随动防转机构双工件台同相位回转交换方法与装置属于半导体制造装备技术，该装置包含两个工件台、一个回转转接台和两个随动防转机构；在双工件台回转交换过程中，回转转接台抓卡住双工件台，绕基台中心回转，实现曝光工位和预处理工位的交换，随动防转机构控制双工件台的自转，保证双工件台在换台过程中的同相位；本发明解决了现有线性换台方案换台节拍多、冲击转矩大、现有旋转换台方案双工件台传感器和标记板相位反转、线缆缠绕及激光干涉仪目标丢失等问题，采用较小的质量平衡系统，有利于缩短平衡时间，同时简化系统、降低成本、减少换台节拍、缩短换台时间，有效提高了光刻机产率。
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公开(公告)号：CN101338790B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200810136906.0
申请日：2008-08-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 气/固两相复合回转基准方法与装置属于精密回转基准技术领域；该方法将气体润滑兼误差均化技术和固体支承兼阻尼技术复合使用，通过在气浮轴系的轴向止推气膜内施加轴向固体支承，形成以固体支承为主、气体支承为辅，或气体支承为主、固体支承为辅，或气体支承与固体支承作用相当的复合支承形式，显著提升轴向刚度和承载能力；在气浮轴系的径向气膜内施加径向固体支承，利用弹性元件的微小弹性变形耗散主轴的中、高频微振动能量，并利用弹性元件的变形储能与静摩擦特性增大定位阻尼，提高定位精度；其装置分别在轴向止推气膜和径向气膜内配装固体弹性元件；本发明可建立一种同时兼顾高精度、高刚度、大承载、低振动以及高位移灵敏度的回转基准。
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公开(公告)号：CN101403628A
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200810137530.5
申请日：2008-11-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D11/00
Abstract: 基于重力平衡的卧式气/气两相复合直线基准方法与装置属于精密仪器与测量技术领域；其方法是：在导向导轨下方构建平衡导轨，形成开式外部气体支承并作用于气浮导套下部的止推平板上，针对负载重力进行导向导轨和平衡导轨的重力平衡设计，在满足平衡导轨的承载重力条件下，使其气膜支承刚度达到最大值或处在该气膜支承刚度确定范围内；其装置包括固连于气浮导套下部上的止推平板，该止推平板与平衡导轨之间形成止推气浮偶面，止推平板上设有面向平衡导轨的节流结构，平衡导轨与导向导轨平行；本发明使气浮导套具有优异的稳定性，导轨承载能力和支承刚度大幅度提高，确保导轨在大负载、大行程下的高直线精度，结构简单，适用范围广。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100414829C
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200510002553.1
申请日：2005-01-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种基于磁-磁变换的纳米精度大输出力微驱动装置与方法。该装置包括外框架、永久磁铁、超磁致伸缩棒、预紧螺栓、微位移输出机构，还包括内框架和密纹丝杠；微位移输出机构和密纹丝杠分别固定在外框架的相对的两端上；在装置的内部永磁铁与密纹丝杠粘接在一起，位置关系保持同轴；永磁铁前端是预紧螺栓，它们之间保持一定的间隙，预紧螺栓与内框架通过螺纹连接；内框架内部超磁致伸缩棒与预紧螺栓呈同轴连接；超磁致伸缩棒的前端与微位移输出杆同轴粘接在一起。磁-磁变换微驱动避免了电-磁变换产生的发热现象，从而避免了热漂移现象，使该驱动器同时兼有纳米灵敏度大输出力、无机械漂移、高频响和大输出范围等优点。
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公开(公告)号：CN1632338A
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：CN200510009639.7
申请日：2005-01-18
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明“混合式螺旋槽动静压气体复合圆柱轴承”涉及一种高速、高刚度、大载荷超精密螺旋槽动静压气体复合圆柱轴承，在圆柱轴承工作面上，静压气浮供气点分布圆两侧分别开有人字形动压沟槽，在不增加气浮轴承耗气量的情况下，轴承承载能力比传统静压气浮轴承提高30％以上，轴承刚度比传统静压气浮轴承提高15％以上。
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公开(公告)号：CN1527022A
公开(公告)日：2004-09-08
申请号：CN200410001193.9
申请日：2004-02-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B5/20
Abstract: 本发明属于精密仪器制造及测量技术领域，特别是一种超精密回转基准空间误差自分离方法与装置。本发明的方法通过对超精密回转基准空间运动误差进行Z向逐截面分离的方法，满足高精度圆柱度仪回转基准(主轴)空间运动误差分离的需求，使其达到减小空间回转误差的目的。本发明还提供一种超精密回转基准空间误差自分离装置，它将圆度误差分离系统与圆柱度仪回转主轴系统有机地整合为一体，利用工作台回转式的单转位小角度误差分离方法，以实现对圆柱度仪回转主轴空间回转运动误差的逐截面分离，即在圆柱测量高度范围内逐一对各测量截面的回转主轴误差进行分离，继而达到减小圆柱度仪主轴空间运动误差对测量结果的影响。
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公开(公告)号：CN103790650B
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201410052237.4
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于同心度优化的磁悬浮式航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于磁浮回转轴系确定回转基准；依据光电编码器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103791859B
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201410052201.6
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于光栅测角的气动抓卡式航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气磁结合回转轴系确定回转基准；依据光栅尺确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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