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公开(公告)号：CN103090787A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201310033407.X
申请日：2013-01-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于被测表面荧光激发的共焦显微测量装置属于表面形貌测量技术领域；该测量装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的准直扩束器和偏振分光镜；配置在偏振分光镜反射光路上的四分之一波片、探测物镜和被测件；配置在偏振分光镜透射光路上的收集物镜、针孔和探测器；所述的探测器中含有窄带滤光片；所述的被测件由微位移载物台承载，表面采用真空蒸发镀膜法进行镀膜；这种通过镀膜改变被测面的表面特性的设计，保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统，解决了高NA和高斜率表面检测的难题，适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。
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公开(公告)号：CN101581604B
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN200910071681.X
申请日：2009-03-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于Nipkow盘的衍射多光谱成像装置及方法属于成像光谱技术领域；该装置包括衍射透镜、由挡光板、Nipkow盘及微透镜阵列盘组成的层析及成像系统、探测器、相对位置固定机构、第一及第二旋转驱动机构、直线驱动器；相对位置固定机构解锁，第一及第二旋转驱动机构能够分别驱动挡光板与微透镜阵列盘及Nipkow盘旋转；相对位置固定机构锁紧，第一驱动机构驱动层析及成像系统扫描入射光像方焦平面直接获得某单一波长入射光的二维图象及光谱信息；直线驱动器驱动层析及成像系统沿衍射透镜光轴扫描即可获得被探测光谱范围内所有波长入射光的图像及光谱信息；本发明具有低杂散光、高光谱分辨率、高空间分辨率的特点。
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公开(公告)号：CN101469972B
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200810212341.X
申请日：2008-09-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种长焦深超分辨二次共焦测量装置，其包括设置于同一光路上的激光器、准直扩束镜组、偏振分光镜和四分之一波片、超分辨滤波器、可调光阑，以及分光镜，还包括一个数据处理装置，其能够从所述点探测器获得并记录微驱动装置带动探测聚焦物镜处于不同位置时探测器探测到的光信号；并能够根据四步移相法将所述探测器的多个光信号分别转化为多个相位值。本发明针通过光瞳滤波对测量光斑横向衍射模式进行压缩的同时，使其轴向衍射模式得到扩展，从而在不牺牲轴向分辨力的情况下，提高横向分辨力、扩展轴向量程范围。
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公开(公告)号：CN101666628A
公开(公告)日：2010-03-10
申请号：CN200910072943.4
申请日：2009-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 大口径凸非球面两轴拼接测量装置属于光学检测领域；包括：隔振基座、光学波面干涉仪；还包括：安装在隔振基座上的立式超精密气浮回转台和卧式超精密回转轴；卧式超精密回转轴上固定有Z型悬臂梁，其末端固定有直线导轨，直线导轨上配置光学波面干涉仪；立式超精密气浮回转台的回转轴线与卧式超精密回转轴的回转轴线正交，干涉仪光轴通过其交点；被测非球面的光轴与立式超精密气浮回转台的回转轴线重合，且非球面近球心点、干涉仪的测量波前焦点、卧式超精密回转轴的回转轴线与立式超精密气浮回转台的回转轴线的交点，三点重合或或立体同心度非常小；该方案机构简单，测量链短，利用回转运动的精度优势，可实现大口径凸非球面的高精度检测。
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公开(公告)号：CN119780040A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411921166.7
申请日：2024-12-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出一种相位差分相干傅里叶散射表面颗粒检测装置及方法，属于柔性衬底表面颗粒检测技术领域，解决了可见光波段低照明功率条件下纳米级颗粒检测灵敏度低的问题，其中检测装置包括：激光器、准直透镜、第一光阑、偏振态调制模块、第一分光棱镜、平面反射镜、压电驱动器、无限远校正显微物镜、样品、三维压电扫描台、二维粗调位移台、第二分光棱镜、管镜、相机、宽场照明光源、第二光阑、第一透镜、第三光阑、第二透镜、二象限光电探测器、弱信号放大电路、数据采集模块、计算机控制系统。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115981120A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202310182378.7
申请日：2023-03-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种用于光刻系统的基于数字微镜阵列的光栅对准测量装置，属于光刻技术领域；本发明采用双波长激光光束进行照明，利用调制系统对照明光束进行调制，使用空间滤波器允许光栅对准标记的特定级次衍射光束透过，并利用数字微镜阵列对透过空间滤波器的衍射光束进行偏折，最后利用多通道光电探测模块对透过参考光栅标记的干涉信号进行同步探测与处理，实现了数字微镜阵列替代传统对准测量中的光楔阵列或光楔板来对多级次衍射光束进行偏折，提高了系统的工艺适用性。本发明结合数字微镜阵列、多通道光电探测模块和空间滤波技术，解决了复杂光束偏转光路影响探测信号稳定性和一致性的问题，从而提高了系统的对准性能。
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公开(公告)号：CN115953357A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202211553713.1
申请日：2022-12-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种金属表面缺陷语义分割网络及相应策略，以解决金属表面缺陷语义分割中存在的数量与分布严重不均衡、低对比度、边界信息较弱等技术难题，属于计算机视觉领域。本发明包括多尺度注意力特征融合模块、归一化均方频率类别权重策略、偏置权重训练采样策略、以及类别与边界损失计算策略。以上方法依次通过双注意力融合不同尺度的特征信息、调整类别权重系数因子、增大对缺陷样本的关注度、融合边界损失来解决上述技术难题。实践证明，本方法可以提高对金属表面缺陷的细节捕捉能力，满足工业对于金属表面缺陷检测的迫切需求。
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公开(公告)号：CN115797694A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211553726.9
申请日：2022-12-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06V10/764 , G06V10/774 , G06V10/40 , G06N3/08 , G06N3/04
Abstract: 本发明涉及显示面板缺陷检测技术领域，其公开了一种基于多尺度孪生神经网络的显示面板微缺陷分类方法，所述分类方法包括以下步骤：(1)获取数据集；(2)构建直接分类模型；(3)在大样本数据集上训练直接分类模型；(4)优化模型结构直至经可视化卷积特征方法判断其学习到各类别的正确特征；(5)以直接分类模型的特征提取网络作为分支搭建多尺度孪生神经网络；(6)将面板缺陷数据集划分为训练集和测试集；(7)训练多尺度孪生神经网络；(8)比较待测样本经特征提取网络得到的特征向量与各类别样本均值向量的相似程度，相似程度最高的类别即为待测样本的类别。本发明提出的少样本分类方法，具有较好的泛化性能和分类正确率。
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公开(公告)号：CN110638424B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN201910886847.7
申请日：2019-09-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种用于活体生物样品三维成像的扫描光片谐波显微成像方法及装置，属于光学显微成像技术领域；本发明采用柱面镜形成激光光片并通过扫描光片进行生物样品二次、三次谐波的面状激发，接着在垂直于激发光路方向上直接进行谐波信号的宽场成像。本发明装置包括激光光片生成系统、样品扫描旋转系统、谐波信号宽场成像系统、以及图像重建与数据处理系统。本发明利用扫描光片代替了传统谐波显微成像模式中的点扫描激发探测方式，能极大提升谐波显微成像的成像速度，实现高帧率、大视场、高探测深度的三维谐波显微成像。
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公开(公告)号：CN109884052B
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN201910045336.2
申请日：2019-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/84
Abstract: 基于CCD探测的减法式谐波显微成像方法属于非线性光学显微成像领域；用CCD相机代替传统谐波显微成像中的光电倍增管，作为谐波信号探测器。飞秒激光器发出的脉冲经过整形扩束后由显微物镜会聚在样品内部形成谐波信号发生所需的激发光斑。样品激发出的谐波信号，被同一物镜收集后经过管镜、滤光片后被CCD相机探测。计算机控制CCD有效像素个数来形成不同大小的等效共焦针孔。用小针孔获得的谐波信号减去乘上系数后的大针孔下形成的谐波信号，由计算机将减法处理后的谐波信号整合成最终的谐波图像。白光光源搭配CCD可在获得亮场图像的同时，定位样品中感兴趣的成像区域。该方法可有效提升谐波显微成像的分辨率，且系统结构简单，调试方便，操作简单。
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