公开(公告)号：CN113394334A

公开(公告)日：2021-09-14

申请号：CN202110583370.2

申请日：2021-05-27

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘迎春 ,  张洪军 ,  刘琳婧 ,  姜桂铖 ,  杨彬 ,  曹文武

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/083 ,  H01L41/09 ,  H01L41/257 ,  H01L41/277 ,  H01L41/297 ,  H01L41/43

Abstract: 本发明公开了一种基于正交极化与周期结构设计的压电叠堆致动器及其制备方法，属于集成电路装备制造领域。本发明解决了现有压电叠堆致动器极化方向与电场方向不能正交相容的问题。本发明通过设计图案电极及压电单元层的排列，构建正交极化与周期结构设计的压电叠堆致动器，该压电叠堆致动器因非180°电畴翻转产生的应变，是线性压电效应的～5倍，在20kV/cm驱动电场下，输出应变高于0.6％，远优于现有压电叠堆致动器。

公开(公告)号：CN111596154A

公开(公告)日：2020-08-28

申请号：CN202010420648.X

申请日：2020-05-18

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 张洪军 ,  李方喆 ,  柯华 ,  罗蕙佳代 ,  曹璐 ,  唐晓慧

IPC: G01R31/00 ,  G01R31/12 ,  G01R31/16 ,  G01R29/22 ,  G01R1/04

Abstract: 一种测试小试样变温电性能的辅助夹具，特别涉及一种材料电学性能测试用夹具。本发明的目的是要解决使用现有电学性能测试仪器配套夹具对厚度200μm以下的功能陶瓷试样进行测试时容易导致试样断裂的问题。一种测试小试样变温电性能的辅助夹具由基座、上电极模块、下电极模块、接线模块和加热模块组成。本发明的优点在于特别适合功能陶瓷小试样的电学性能测试，本发明可用于辅助测量功能陶瓷的电学性能，尤其是基于平行板电容器方式进行测量的导电、介电、铁电、压电和耐压性能；本发明的优点在于使用摇杆式上电极，其活动灵活，整体轻质，对试样施加压力小。本发明可获得一种测试小试样变温电性能的辅助夹具。

公开(公告)号：CN111592346A

公开(公告)日：2020-08-28

申请号：CN202010421696.0

申请日：2020-05-18

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 柯华 ,  田晶鑫 ,  罗蕙佳代 ,  曹璐 ,  唐晓慧 ,  邢苗 ,  张洪军

IPC: C04B35/40 ,  C04B35/622 ,  C04B35/626 ,  C04B35/634 ,  C04B35/638 ,  C04B35/64

Abstract: 一种高纯高致密的A/B位多离子共掺杂铁酸铋基陶瓷及其制备方法，它涉及一种多离子共掺杂的高铁电性能的铁酸铋基陶瓷及其制备方法。本发明的目的是要解决现有方法合成的铁酸铋陶瓷相纯度差和致密化程度低，进而导致陶瓷漏电流大和铁电极化过小的问题。一种高纯高致密的A/B位多离子共掺杂铁酸铋基陶瓷的化学通式为：Bi1-xRexFe1-yByO3；制备方法：一、称料；二、烘干、过筛；三、素坯成型；四、陶瓷烧结。本发明制备的铁酸铋基陶瓷具有高的纯度和致密度，同时漏电流较小，展现了优异的铁电性能。本发明可获得一种高纯高致密的铁酸铋基陶瓷。

公开(公告)号：CN104529436A

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201510032959.8

申请日：2015-01-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 柯华 ,  张洪军 ,  张利伟 ,  王猛 ,  应鹏展 ,  谢星驰 ,  罗蕙佳代

IPC: C04B35/475 ,  C04B35/622

Abstract: 一种高致密度Bi4-xNdxTi3O12铁电陶瓷的制备方法，本发明涉及铁电陶瓷领域。本发明要解决现有掺钕的钛酸铋的制备方法存在产物杂质相多，致密度低，铁电性差的问题。制备方法：将次硝酸铋和硝酸钕溶于醋酸中，加入乙二醇溶液后，与加入乙二醇溶液的钛酸四丁酯溶液混合搅拌得Bi3.15Nd0.85Ti3O12溶胶，将溶胶干燥，研磨，焙烧，晶化后得Bi3.15Nd0.85Ti3O12纳米粉体，将纳米粉体填装于高强石墨制成的模具中，在氩气保护气氛下，单向加压，高温烧结制得高致密度的铁电陶瓷。本发明用于一种高致密度Bi4-xNdxTi3O12铁电陶瓷的制备。