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公开(公告)号：CN118706408B
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202410983254.3
申请日：2024-07-22
Applicant: 同济大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种连续激光作用下光学元件热效应的测试装置，涉及激光技术领域，包括连续激光准直系统、样品温度测试系统、波前相位测试系统、光束质量测试系统、计算机，连续激光准直系统接收连续激光发射装置发射的大功率激光束，并输出测试激光，测试激光经过样品温度测试系统产生反射光和透射光，反射光和透射光分别进入波前相位测试系统或光束质量测试系统。本发明采用上述结构的一种连续激光作用下光学元件热效应的测试装置，能够实现连续激光作用下的光学元件温升测试、波前形状和相位畸变测试以及光束质量测试的多种性能测试。
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公开(公告)号：CN118730494A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410983251.X
申请日：2024-07-22
Applicant: 同济大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种用于高功率激光系统的高精度原位性能检测装置，涉及高功率激光系统领域，包括振动宽温原位平台和集成化多功能检测平台，振动宽温原位平台包括振动平台和安装在振动平台上的宽温平台，待测高功率激光系统固定在宽温平台内，集成化多功能检测平台包括调整架和设置于调整架上的集成平台，集成平台的上方设置有光束进入装置、光束探测器、功率能量检测装置、光轴位置检测装置、可见激光调节装置。本发明采用上述结构的一种用于高功率激光系统的高精度原位性能检测装置，通过振动、温度可调节的模拟真实环境场景的原位安装平台，实现高功率激光系统多性能参数的原位的检测。
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公开(公告)号：CN118706408A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410983254.3
申请日：2024-07-22
Applicant: 同济大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种连续激光作用下光学元件热效应的测试装置，涉及激光技术领域，包括连续激光准直系统、样品温度测试系统、波前相位测试系统、光束质量测试系统、计算机，连续激光准直系统接收连续激光发射装置发射的大功率激光束，并输出测试激光，测试激光经过样品温度测试系统产生反射光和透射光，反射光和透射光分别进入波前相位测试系统或光束质量测试系统。本发明采用上述结构的一种连续激光作用下光学元件热效应的测试装置，能够实现连续激光作用下的光学元件温升测试、波前形状和相位畸变测试以及光束质量测试的多种性能测试。
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公开(公告)号：CN117991427A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410284689.9
申请日：2024-03-13
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明公开了一种低损耗、高反射率的193nm薄膜及其制备方法，包括基底、薄膜，所述薄膜设置在所述基底上；膜系结构为Sub/(HL)^n/Air，其中，Sub为薄膜元件基板，Air为出射介质空气，H和L分别为1/4中心波长光学厚度的高折射率材料薄膜层和低折射率材料薄膜层，n为高低折射率材料的膜堆数。本发明采用上述一种低损耗、高反射率的193nm薄膜及其制备方法，能够有效抑制193nm高反射薄膜中的LaF3薄膜的结晶，进而降低反射膜的粗糙度、抑制散射损耗，并提高薄膜的反射率；而且有效提升了电子束蒸发193nm LaF3/AlF3多层高反膜的反射率和成膜质量，同时制作成本低，易于推广，在紫外光刻领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN117977373A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410135403.0
申请日：2024-01-31
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种用于量子级联激光器的散热装置，包括微通道散热部件和冷却部件，微通道散热部件一面安装量子级联激光器，另一面设有导热通道且与冷却部件贴合，冷却部件完全覆盖并密封导热通道；导热通道为波浪结构，内部通有冷却液。与现有技术相比，本发明具有通过设置有波浪结构导热通道的微通道散热部件，使具有高换热系数的冷却液进行循环冷却换热，带走激光器产生的热量，换热效率高；冷却部件完全覆盖并密封导热通道，避免了导热通道内冷却液的泄露；半导体热电制冷片根据热敏电阻反馈的温度实时调整温度，实现对量子级联激光器的精确控温等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117740332A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202311552507.3
申请日：2023-11-21
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种双波长光束抖动和指向性的测量装置及方法，该装置包括：激光输出模块：该模块包括He‑Ne激光器和电机，用于电机与待测激光器或He‑Ne激光器连接；能量平衡模块：该模块包括分光镜和衰减片，分光镜设于待测激光器之后，衰减片设于分光镜之后；光斑分离模块：该模块包括楔形棱镜与消色差透镜，楔形棱镜设于分光镜与消色差透镜之间，消色差透镜设于楔形棱镜之后；快门：设于消色差透镜与衰减片之间，用于控制测量启停；CCD：设于衰减片之后，用于分区采集双波长光束的光斑数据，并实时拟合质心，计算双波长光束的抖动性和指向性。与现有技术相比，本发明实现了对双波长光束的指向性与抖动性进行准确、快速的实时测量。
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公开(公告)号：CN117089817B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202310781874.4
申请日：2023-06-29
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明公开了一种基于卡尔曼滤波数据融合的光学薄膜混合监控方法，属于光学薄膜监控技术领域，光学薄膜监控过程中通过石英晶振监控和宽光谱监控方法获得膜层厚度和沉积速度的估计值，随后使用数据融合方法获得膜厚的最优估计值，光学薄膜混合监控方法包括以下步骤：1)设置当前膜层的目标厚度；2)使用卡尔曼滤波器进行数据融合，获得最优估计值；3)当最优估计值到达目标厚度时，停止该层膜的沉积。相较于单一监控方式和混合监控方法下的计算制造厚度误差，此方法可以有效提高光学薄膜厚度监控的精度，对于高性能光学薄膜的制备具有重要意义。(56)对比文件李华.卡尔曼滤波器在热轧GM厚度控制中的应用研究.自动化与仪器仪表.2017,(10),第26-28页.赵汝进;马孜;姚远程;何长涛.基于广义卡尔曼滤波的光学膜厚监控信号处理.激光技术.2007,(04),第78-81页.任豪;王巧彬;罗宇强;李康业.复合光路光学镀膜宽光谱膜厚监控系统.激光与光电子学进展.2010,(05),第139-143页.赵汝进;马孜;姚远程;何长涛.基于自适应卡尔曼滤波的光学监控信号处理.光学仪器.2006,(04),第83-87页.殷浩;应雄纯;宗杰.光学膜厚监控方法.红外与激光工程.2008,(04),第164-168页.杨春华;夏文建;李蓬;余文峰;程祖海.用复合监控法镀制的TEA CO_2激光器增透膜.光学与光电技术.2007,(01),第78-81页.潘洪昌;张豪杰;张甫光;江绍基.数字滤波在光学镀膜宽光谱监控中的应用.光学仪器.2006,(04),第70-74页.
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公开(公告)号：CN117089817A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202310781874.4
申请日：2023-06-29
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明公开了一种基于卡尔曼滤波数据融合的光学薄膜混合监控方法，属于光学薄膜监控技术领域，光学薄膜监控过程中通过石英晶振监控和宽光谱监控方法获得膜层厚度和沉积速度的估计值，随后使用数据融合方法获得膜厚的最优估计值，光学薄膜混合监控方法包括以下步骤：1)设置当前膜层的目标厚度；2)使用卡尔曼滤波器进行数据融合，获得最优估计值；3)当最优估计值到达目标厚度时，停止该层膜的沉积。相较于单一监控方式和混合监控方法下的计算制造厚度误差，此方法可以有效提高光学薄膜厚度监控的精度，对于高性能光学薄膜的制备具有重要意义。
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公开(公告)号：CN115096177B
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202210010441.4
申请日：2022-01-06
Applicant: 同济大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明涉及一种用子光束位置监测激光合束系统光束的装置及方法，所述装置包括光栅、透镜、以及用于检测子束光斑相对位置的相机和计算机；所述相机与计算机连接；激光合束系统发出的激光合束光束依次经过光栅和透镜，并聚焦到相机的相面上。与现有技术相比，本发明通过光学设计的方法保证了子束光斑位置在同一相机上且能够分开，通过实时监测子束的相对位置，确保了激光合束光束中的各个子束光斑位置一直处于给定的范围位置内，从而保证激光合束光束质量。
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公开(公告)号：CN109628894B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201811635662.0
申请日：2018-12-29
Applicant: 润坤(上海)光学科技有限公司 , 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种远紫外高反射镜的制备方法，包括清洗、镀膜、退火和储存，具体包括以下步骤：在镀膜时抽高真空离子束刻蚀清洗好基板，先镀打底层Cr膜后用热蒸发方式镀制Al膜，温度升高到180‑220℃烘烤镀膜室，继续抽真空用氩离子束流刻蚀Al膜表面Al2O3膜，然后电子束蒸镀MgF2薄膜；抽真空在250‑300℃温度下退火3小时提高样品薄膜质量，将样品充N2放入干燥柜中储存。与现有技术相比，本发明制备的远紫外高反膜光学特性优异、反射率较高、环境稳定性好，可以批量制备，在未来的光学薄膜领域具有广泛应用前景。
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