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公开(公告)号：CN113708220A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202110850113.0
申请日：2021-07-27
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种量子点微激光器及其制备方法，激光器采用悬浮硅盘结构，悬浮硅盘结构包括从下到上依次设置的硅衬底层、第一二氧化硅层、二氧化硅支柱层和二氧化硅圆盘层，在二氧化硅圆盘层上表面悬涂有量子点层，在量子点层上覆盖有第二二氧化硅层；所述制备方法采用光刻刻蚀工艺和RIE刻蚀工艺制备悬浮硅盘结构的微腔，使其在高温中退火后悬涂不同尺寸的量子点，并蒸镀二氧化硅。本发明激光器能够获得白光激光，具有极高的光学增益和极低的损耗，有利于与光电子器件集成，可以获得高光转换效率低阈值。
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公开(公告)号：CN110082858A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910337314.3
申请日：2019-04-25
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种光子陀螺芯片及其制备方法，属于集成芯片领域。包括激光器、Y分支波导、谐振腔、直波导一、探测器一和探测器二；所述Y分支波导的一端连接激光器，另一端连接谐振腔；所述谐振腔上连接有直波导一；所述直波导一的一端连接探测器一、另一端连接探测器二。本发明提高了光学陀螺的集成度和灵敏度。
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公开(公告)号：CN109888611A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910206657.6
申请日：2019-03-18
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种电驱动纳米梁结构的氮化物微激光器及其制备方法，激光器以硅基氮化物晶片为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子肼层、p型氮化镓层、设置在所述p型氮化镓层上的p型电极、设置在所述n型氮化镓层边缘的n型电极，硅衬底层内部镂空，仅保留侧壁和底面，形成一个位于u型氮化镓层下方的空腔。本发明在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻刻蚀工艺和ICP刻蚀工艺制备纳米梁结构的氮化物微腔，在正向偏压下，获得紫外光波段的激光。
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公开(公告)号：CN106785899B
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201611181916.7
申请日：2016-12-19
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法，在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻工艺和硅刻蚀工艺制备悬空非对称环形薄膜微腔，该微腔的水平横截面形状是“圆环+锥角+缺口”，在微腔缺口中修饰金纳米棒作为半导体饱和吸收体，在光泵浦条件下，金纳米棒对微腔中的激光进行选模调制，最终实现单方向发射的氮化物锁模回音壁模激光。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108333679A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810144374.9
申请日：2018-02-11
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G02B6/12
Abstract: 本发明公开了一种面向蓝光可见光通信的硅基GaN系光子芯片及制备方法，实现载体为带有低折射率包层的硅衬底氮化物晶片，硅衬底氮化物晶片包括硅衬底层和位于硅衬底层上方的带有低折射率包层的顶层氮化物，顶层氮化物上设置有纳米光波导、分路器、谐振环、耦合光栅和用于通电的镍/金电极。本发明体积小，具有高度的集成性，可应用于光子计算及可见光通信等领域，提升蓝光波段可见光通信技术在信息传输速率、信息处理速度和终端器件集成度等多方面的性能指标。
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公开(公告)号：CN106785899A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611181916.7
申请日：2016-12-19
Applicant: 南京邮电大学
CPC classification number: H01S5/0653 , H01S5/1075
Abstract: 本发明公开了一种单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法，在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻工艺和硅刻蚀工艺制备悬空非对称环形薄膜微腔，该微腔的水平横截面形状是“圆环+锥角+缺口”，在微腔缺口中修饰金纳米棒作为半导体饱和吸收体，在光泵浦条件下，金纳米棒对微腔中的激光进行选模调制，最终实现单方向发射的氮化物锁模回音壁模激光。
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公开(公告)号：CN103884659B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201410057831.2
申请日：2014-02-20
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01N21/25
Abstract: 本发明公开了一种角分辨微纳光谱分析装置，包括入射光路、反射光路和透射光路。入射光路为装置提供入射光；反射光路是由样品反射光形成的光路，用于测量样品角分辨反射傅里叶信息；透射光路是由样品透射光形成的光路，用于测量样品角分辨透射傅里叶信息。本发明通过获取样品反射和透射光谱成像信息，对样品进行表征，能够用于微纳光子晶体的测量。其中，接收端探测器通过自动化控制电机使光纤探测器能够接收样品不同反射角度的光谱信息。
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公开(公告)号：CN104009393A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410179466.2
申请日：2014-04-30
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种单方向发射的电泵浦氮化镓微激光器及其制备方法。该方法首先利用在硅基p型氮化镓/量子阱/n型氮化镓材料，利用电子束刻蚀工艺和深硅刻蚀工艺制备由单根悬臂梁支撑的非对称氮化镓悬空薄膜微腔，在晶片正面蒸镀上Au/Ni电极，在n型氮化镓表面蒸镀Au/Ti，采用超声波键合技术，在电极表面键合引线，最终制备完整的器件。对制备的器件施加合适的电流，获得单方向性发射的回音壁模紫外激光。
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公开(公告)号：CN119780472A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411938717.0
申请日：2024-12-26
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 本发明公开了一种基于量子限制斯塔克效应外差式光机电微腔加速度计，加速度计以硅基氮化物外延片为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、氮化铝层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子阱层、p型氮化镓层、SiO2层，设置在所述p型氮化镓层上的p型电极、设置在所述n型氮化镓层边缘的n型电极。本发明在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻和ICP刻蚀工艺在一根梁的两个区域制备两个LD。由于应力的不同，两个LD的峰值中心会有频差。通电情况下，加速度负载频差会发生变化，由于频差的变化，可以更加稳定，精确的感知加速度的大小。
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