基于样板干涉法的平面面形误差在线检测装置和方法

    公开(公告)号:CN107741205A

    公开(公告)日:2018-02-27

    申请号:CN201711183671.6

    申请日:2017-11-23

    CPC classification number: G01B11/2441

    Abstract: 本发明公开了一种基于样板干涉法的平面面形误差在线检测装置和方法,该装置包括:样板、待测件、平面LED光源、干涉条纹采集单元、平面面形误差检测单元和控制单元;平面LED光源的正面为照射面且相对样板设置;平面LED光源用于提供多种波长的均匀照明光,并以其中至少两种被选定的波长的照明光源分时逐次照射样板和待测件;干涉条纹采集单元用于采集和输出等厚干涉条纹图像;平面面形误差检测单元用于获得不同波长照明下等厚干涉条纹图像上同一点的强度变化,得到该点的绝对光程差,并以此类推确定被测面上所有点的绝对光程差而得到待测件的被测面的面形误差。本发明能够实现客观、自动化、高精度、低成本的平面光学元件面形误差的检测。

    基于远出瞳、小瞳径比设计的高精度光电自准直仪

    公开(公告)号:CN106052596A

    公开(公告)日:2016-10-26

    申请号:CN201610391194.1

    申请日:2016-06-03

    Inventor: 朱秋东 王姗姗

    CPC classification number: G01B11/26

    Abstract: 本发明涉及一种基于远出瞳、小瞳径比设计的高精度光电自准直仪,属于光电测量仪器技术领域。包括光源、聚光镜、孔径光阑、会聚透镜、针孔、偏振分光棱镜、λ/4波片、准直物镜、探测器。通过在照明光路中增加孔径光阑,使其经自准直仪光学系统所成的像,即出瞳,位于准直物镜之后,并且出瞳直径小于准直物镜的口径。靶镜位于出瞳位置附近。通过控制出瞳距离、出瞳直径及准直物镜口径的关系,确保被测镜反射回来的光束口径小于准直物镜口径,消除光束切割,避免切割引起的测量误差。在自准直光路中采用偏振分光棱镜与λ/4波片组合的偏振杂光阻断技术,有效抑制光学表面多次反射的杂散光干扰。

    一种基于零位补偿法的椭球面反射镜的面形检测方法

    公开(公告)号:CN119687824A

    公开(公告)日:2025-03-25

    申请号:CN202411547481.8

    申请日:2024-11-01

    Inventor: 王姗姗 刘欣

    Abstract: 一种基于零位补偿法的扁椭球面反射镜面形检测方法,属于光学检测领域。本发明实现方法为:将带孔平板置于扁椭球面镜前方,带孔平板与椭球面镜的距离是椭球面镜母线的短轴长度;带孔平板带有3个处于同一水平面的等距孔洞,第一孔位与第二孔位的间距为椭球面镜两个焦点的间距,第三孔位位于第一孔位与第二孔位连线中点处;基于辅助光学平板确定扁椭球面镜的短轴方向与两个焦点的空间位置,令干涉仪发出的球面波焦点与待测椭球面的一个焦点重合,使标准球面镜的球心与椭球面镜的另一个焦点重合,干涉仪发出的光经过椭球面镜反射后汇聚到另一个焦点,经球面镜反射后原路返回,从而形成零位检测,处理形成的干涉条纹得到待测椭球面镜的面形误差。

    基于玻璃平板进行光束扫描的面阵探测器简便定焦方法

    公开(公告)号:CN119575642A

    公开(公告)日:2025-03-07

    申请号:CN202411683967.4

    申请日:2024-11-22

    Abstract: 基于玻璃平行平板进行光束扫描的面阵探测器简便定焦方法,属于光学测量仪器领域。本发明实现方法为:在物镜前放置玻璃平行平板,平行平板与光束垂直,细平行入射光通过玻璃平行平板后经物镜聚焦到探测器上形成光斑,探测器采集得到光斑图像,然后通过质心计算算法得到光斑质心的位置;转动玻璃平行平板,采集玻璃平行平板不同转动角度的光斑图像,判断探测器此时是处于焦前还是焦后;根据光斑质心位置,得到离焦量;通过在探测器安装处增减垫片来完成精确的定焦调整,依据此前判断探测器处于焦前或焦后以及计算出的离焦量决定垫片的增减或者对垫片做适当的磨削,即完成探测器简便定焦。本发明的质心定位精度能够达到百分之一像素的精度。

    一种连续表面光纤激光准直合束装置

    公开(公告)号:CN115877580A

    公开(公告)日:2023-03-31

    申请号:CN202211540790.3

    申请日:2022-12-02

    Abstract: 本发明涉及一种连续表面光纤激光准直合束装置,属于高能激光合束领域。包括光纤QBH接口背板、机械镜筒和连续表面复眼透镜。连续表面复眼透镜是一块包含若干个非球面准直单元的自由曲面透镜,各准直单元之间采用优化的Zernike多项式拟合法平滑过渡。准直单元采用凸面为非球面的平凸透镜结构,口径放大倍率的选取参考高斯光束的束腰直径倍数与圆内能量占比的关系。光纤QBH接口背板包括若干个与光纤端帽相连接的QBH接口,每个接口的位置对应于每个准直单元的物方焦点。机械镜筒为中空圆柱结构,一端连接光纤QBH接口背板;另一端连接连续表面复眼透镜。本发明能够在保证系统出射光轴一致性和稳定性的条件下,实现更高的激光能量透射,得到更长的稳定出光时间。

    一种同轴照明的线视场色散样板干涉仪

    公开(公告)号:CN106931900B

    公开(公告)日:2019-07-23

    申请号:CN201710026406.0

    申请日:2017-01-13

    Inventor: 王姗姗 朱秋东

    Abstract: 本发明涉及一种同轴照明的线视场色散样板干涉仪,属于光电检测技术领域。本发明的干涉仪,每次可对被测玻璃表面的一条母线误差进行检测,辅以截线方向一维扫描,可对具有直线或近似直线母线的双面玻璃、反射镜等进行二维面形误差检测。测量结果无平行表面串扰影响,精度高、量程大、空间分辨率高,且可局部加密采样点,适用于大规模工业生产的流水线高速检测。

    一种制备纳米胶体有机复合抛光液的方法及其应用

    公开(公告)号:CN108841329A

    公开(公告)日:2018-11-20

    申请号:CN201810669839.2

    申请日:2018-06-26

    Abstract: 本发明实施例公开了一种制备纳米胶体有机复合抛光液的方法,通过下述重量份的原料制备所述纳米胶体有机复合抛光液:乙二醇乙酯:80重量份;纳米二氧化硅:5重量份;表面活性剂:M重量份;分散剂:1重量份;去离子水:N重量份;稳定剂:2重量份;pH调节剂:5重量份;其中,M为2-6,N为1-5,且所述原料均允许0.1重量份以内的误差。本发明实施例还公开了使用上述方法制备的纳米胶体有机复合抛光液对掺铊碘化铯晶体进行抛光的方法,可以得到表面粗糙度为10nm以下的掺铊碘化铯晶体。

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