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公开(公告)号：CN116295101A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310213414.1
申请日：2023-03-08
Applicant: 北京理工大学 , 中国人民解放军国防科技大学
Abstract: 分析单帧干涉图的面形测量和缺陷定位一体化方法及系统，能够仅使用面形测量干涉仪即可同时完成面形测量和缺陷全场定位，缩短了检测流程，加快了检测速度，可以实现对超精密光学元件的形性一体化检测。包括：利用面形测量干涉仪采集得到单帧干涉图；解得干涉图携带的相位信息；获取干涉图携带的相位信息的各项泽尼克系数；利用光学设计软件的优化功能进行优化，直至虚拟干涉仪获取的系统波像差与实际测量获取的干涉图携带的相位信息一致；提取被测面的各项泽尼克系数，重构被测面形；去掉低频项；重构相位信息中的同心环状特征，得到特征识别框的中心像素坐标；得到缺陷在被测面表面的三维坐标。
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公开(公告)号：CN111895934B
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN202010757803.7
申请日：2020-07-31
Applicant: 北京理工大学 , 中国人民解放军国防科技大学
Abstract: 一种光学元件表面局部陡度面形误差干涉测量方法及装置，在不改变原干涉仪光路的前提下实现之前不可测量的局部陡度面形误差的测量。利用双光楔补偿器，放置在在局部陡度面形误差的区域，旋转双光楔补偿器的相对转角和整体绕光轴滚转角，产生方向可调的附加倾斜补偿相位，使局部测量光束与局部面形匹配，干涉条纹变稀疏，利用干涉仪测量局部相位；根据双光楔补偿器的旋转角度计算其引入的相位，输入虚拟干涉仪模型，计算得到局部面形误差；对被光学元件所有无法直接测量的局部依次进行上述测量过程，直到所有局部陡度面形误差均完成测量；将局部面形误差与光学元件全口径面形误差数据进行拼接，完成测量。
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公开(公告)号：CN111895934A
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN202010757803.7
申请日：2020-07-31
Applicant: 北京理工大学 , 中国人民解放军国防科技大学
Abstract: 一种光学元件表面局部陡度面形误差干涉测量方法及装置，在不改变原干涉仪光路的前提下实现之前不可测量的局部陡度面形误差的测量。利用双光楔补偿器，放置在在局部陡度面形误差的区域，旋转双光楔补偿器的相对转角和整体绕光轴滚转角，产生方向可调的附加倾斜补偿相位，使局部测量光束与局部面形匹配，干涉条纹变稀疏，利用干涉仪测量局部相位；根据双光楔补偿器的旋转角度计算其引入的相位，输入虚拟干涉仪模型，计算得到局部面形误差；对被光学元件所有无法直接测量的局部依次进行上述测量过程，直到所有局部陡度面形误差均完成测量；将局部面形误差与光学元件全口径面形误差数据进行拼接，完成测量。
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公开(公告)号：CN115877580A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211540790.3
申请日：2022-12-02
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种连续表面光纤激光准直合束装置，属于高能激光合束领域。包括光纤QBH接口背板、机械镜筒和连续表面复眼透镜。连续表面复眼透镜是一块包含若干个非球面准直单元的自由曲面透镜，各准直单元之间采用优化的Zernike多项式拟合法平滑过渡。准直单元采用凸面为非球面的平凸透镜结构，口径放大倍率的选取参考高斯光束的束腰直径倍数与圆内能量占比的关系。光纤QBH接口背板包括若干个与光纤端帽相连接的QBH接口，每个接口的位置对应于每个准直单元的物方焦点。机械镜筒为中空圆柱结构，一端连接光纤QBH接口背板；另一端连接连续表面复眼透镜。本发明能够在保证系统出射光轴一致性和稳定性的条件下，实现更高的激光能量透射，得到更长的稳定出光时间。
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