一种光学元件表面局部陡度面形误差干涉测量方法及装置

    公开(公告)号:CN111895934A

    公开(公告)日:2020-11-06

    申请号:CN202010757803.7

    申请日:2020-07-31

    Abstract: 一种光学元件表面局部陡度面形误差干涉测量方法及装置,在不改变原干涉仪光路的前提下实现之前不可测量的局部陡度面形误差的测量。利用双光楔补偿器,放置在在局部陡度面形误差的区域,旋转双光楔补偿器的相对转角和整体绕光轴滚转角,产生方向可调的附加倾斜补偿相位,使局部测量光束与局部面形匹配,干涉条纹变稀疏,利用干涉仪测量局部相位;根据双光楔补偿器的旋转角度计算其引入的相位,输入虚拟干涉仪模型,计算得到局部面形误差;对被光学元件所有无法直接测量的局部依次进行上述测量过程,直到所有局部陡度面形误差均完成测量;将局部面形误差与光学元件全口径面形误差数据进行拼接,完成测量。

    分析单帧干涉图的面形测量和缺陷定位一体化方法及系统

    公开(公告)号:CN116295101A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310213414.1

    申请日:2023-03-08

    Abstract: 分析单帧干涉图的面形测量和缺陷定位一体化方法及系统,能够仅使用面形测量干涉仪即可同时完成面形测量和缺陷全场定位,缩短了检测流程,加快了检测速度,可以实现对超精密光学元件的形性一体化检测。包括:利用面形测量干涉仪采集得到单帧干涉图;解得干涉图携带的相位信息;获取干涉图携带的相位信息的各项泽尼克系数;利用光学设计软件的优化功能进行优化,直至虚拟干涉仪获取的系统波像差与实际测量获取的干涉图携带的相位信息一致;提取被测面的各项泽尼克系数,重构被测面形;去掉低频项;重构相位信息中的同心环状特征,得到特征识别框的中心像素坐标;得到缺陷在被测面表面的三维坐标。

    一种光学元件表面局部陡度面形误差干涉测量方法及装置

    公开(公告)号:CN111895934B

    公开(公告)日:2021-07-16

    申请号:CN202010757803.7

    申请日:2020-07-31

    Abstract: 一种光学元件表面局部陡度面形误差干涉测量方法及装置,在不改变原干涉仪光路的前提下实现之前不可测量的局部陡度面形误差的测量。利用双光楔补偿器,放置在在局部陡度面形误差的区域,旋转双光楔补偿器的相对转角和整体绕光轴滚转角,产生方向可调的附加倾斜补偿相位,使局部测量光束与局部面形匹配,干涉条纹变稀疏,利用干涉仪测量局部相位;根据双光楔补偿器的旋转角度计算其引入的相位,输入虚拟干涉仪模型,计算得到局部面形误差;对被光学元件所有无法直接测量的局部依次进行上述测量过程,直到所有局部陡度面形误差均完成测量;将局部面形误差与光学元件全口径面形误差数据进行拼接,完成测量。

    复杂表面复眼透镜制作方法及检测装置

    公开(公告)号:CN116840949A

    公开(公告)日:2023-10-03

    申请号:CN202310739647.5

    申请日:2023-06-21

    Abstract: 本申请涉及一种复杂表面复眼透镜制作方法及检测装置,通过将预加工的透镜基底放置在切削加工端上,确定切削刀具路径;在切削加工端,在位检测获取透镜基底的切削面形数据;基于切削面形数据,通过重构算法还原出透镜基底的面形,并计算出面形误差;将面形误差反馈到切削加工端,切削加工端根据面形误差自动生成补偿切削数据,通过补偿切削数据对透镜基底的加工过程进行调整。通过本发明的方法,实现加工与在位检测的闭环工作模式,减少加工误差,获得全口径一致性超光滑的切削镜面。

    一种包含大气传输部分的远距离成像虚拟仿真方法及系统

    公开(公告)号:CN118709368A

    公开(公告)日:2024-09-27

    申请号:CN202410714522.1

    申请日:2024-06-04

    Abstract: 一种包含大气传输部分的远距离成像虚拟仿真方法及装置,能够模拟大气干扰对成像质量的影响,得到更加真实的远距离成像仿真结果。方法包括:(1)使用相位屏分割方法构建湍流层分布;(2)生成湍流相位屏分布;(3)汇总计算大气湍流相位分布,计算出全部湍流层的相位叠加效果,得到最终大气湍流相位分布;(4)使用光学仿真软件搭建对应的远距离成像光路系统,完成光路仿真;(5)计算带有大气湍流干扰的成像仿真结果,将获得的大气湍流相位屏分布输入光学仿真系统,使用光学仿真软件的光路追迹算法完成带有大气湍流干扰的成像仿真;(6)测试和评价仿真系统的成像效果,分析大气湍流干扰前后的成像结果,判断和分析整套系统的性能。

    一种大口径镜面面形高精度检测方法及装置

    公开(公告)号:CN118548822A

    公开(公告)日:2024-08-27

    申请号:CN202410671149.6

    申请日:2024-05-28

    Abstract: 一种大口径镜面面形高精度检测方法及装置,既去除了使用子孔径拼接法对单子孔径检测时由于参考面精度有限引入的面形误差,提高了检测精度,又将双剪切平移法这一绝对检测技术扩展到大口径平面镜检测领域,扩大了其所能测量的镜面尺寸,降低了大口径平面镜检测过程中的装调难度。包括:(1)搭建测量装置;(2)对每个子孔径区域进行五次检测;(3)移动被测镜,使干涉仪出射光束依次覆盖其他未检测的子孔径区域,对所有子孔径区域进行步骤(2);(4)重复步骤(3),直至所有子孔径检测完毕;(5)利用基于离散相位数据的结构法,根据各子孔径的差分面形数据复原出各子孔径的面形;(6)拼接得到被测镜的全口径面形。

    光学元件表面缺陷全场识别与定位方法及系统

    公开(公告)号:CN118376620A

    公开(公告)日:2024-07-23

    申请号:CN202410235705.5

    申请日:2024-03-01

    Abstract: 本发明公开光学元件表面缺陷全场识别与定位方法及系统,通过面形测量干涉仪和平移台采集多帧干涉图,利用差分方法去除其中的相同部分,利用去低频方法分离出其中的低频部分,重构多帧干涉图,分离出多帧干涉图强度信息中由表面缺陷引起的闭合同心环状特征,利用目标识别方法识别闭合同心环状特征,实现对表面缺陷的全场识别与定位。与传统表面缺陷检测方法相比,充分利用了干涉图中由表面缺陷引入的高频强度信息对缺陷进行全场识别和定位,能够兼顾检测的精度与效率,实现较为精确的动态监测,在识别表面缺陷的同时实现对表面缺陷的定位,可完成光学元件的全场识别与定位,加快了检测速度,提高了检测精度。

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