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公开(公告)号：CN119535817A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411508489.3
申请日：2024-10-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02F1/01
Abstract: 本发明涉及一种低损耗桥式加热器结构及其应用，所述加热器结构包括平行设置的若干加热器单元，所述加热器单元长度大于受热单元长度从而形成桥式，所述加热器单元连接金属层。本发明提出的低损耗桥式加热器结构，可以减小加热器材料对光的吸收，降低吸收损耗，进一步可以减小加热器和受热单元之间的间距，增大了热调效率，降低了功耗，提高了热调速率，同时设计的桥式结构减小了加热器件的电阻值，提高了对电学系统的兼容度，避免了被过热击穿的情况，具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN119492691A
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202311059430.6
申请日：2023-08-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种光声传感器及其制作方法，该光声传感器包括：第一衬底、条形波导、平板波导及振动膜，其中第一衬底包括依次层叠的基底、埋氧层、顶层半导体层及介质层；条形波导位于埋氧层上方，包括间隔第一预设距离的环形部以及条形部，条形波导周围设有显露出埋氧层且隔离顶层半导体层与条形波导的外围间隙，环形部的内圆环绕区域与环形部主体构成显露出埋氧层的空腔；平板波导位于条形波导上方，且平板波导下表面与条形波导上表面间隔第二预设距离；振动膜位于环形部上方且覆盖平板波导上表面。本发明的光声传感器及其制作方法，制作工艺与CMOS工艺兼容，简化了制作工艺，提升了光声传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN118707714A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410843179.0
申请日：2024-06-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明涉及一种光学相控阵优化方法，包括以下步骤：获取光学相控阵的远场光强分布表达式；设定全部所述光学相控阵的阵元间距构成的序列为待优化向量；以所述待优化向量为个体位置，利用粒子群优化算法求解获得最优阵元间距序列，使所述光学相控阵在预设扫描范围内实现高旁瓣抑制比的主光束扫描。本发明在优化过程中考虑到实际场景中主光束发生偏转时受方向因子而减弱的影响，使优化后的非周期相控阵在预设扫描范围内拥有较低的旁瓣水平。
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公开(公告)号：CN118567027A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410791920.3
申请日：2024-06-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种双层低损耗铌酸锂光栅耦合器及其制备方法，所述耦合器由下至上包括衬底(1)、埋氧层(2)、氮化硅层(3)、铌酸锂层(4)和上包层(5)。本发明通过异质集成的方式，在单层铌酸锂光栅下另添加一层光栅，即可达到与现有技术相近的耦合效率，具有低损耗，工艺流程简单，制作工艺容差大的优势。
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公开(公告)号：CN118210103A
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202410186255.5
申请日：2024-02-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种有源硅光转接板芯片及其制备方法，由下至上包括：钝化保护层(1)；硅衬底(2)、边缘耦合器(3)、电光调制器(4)、光电探测器(5)、二氧化硅保护层(6)、停止层(7)、硅通孔(8)、再分布层(9)、微凸点(10)、金属电极(11)。本发明结构紧凑，同时可支持边缘耦合器及加热器结构的掏空，提升光模场耦合效率并提升热光调制效率。将该光芯片应用于光模块中，可以有效的降低光模块的尺寸及功耗，提高光模块的集成度和速率，具有良好的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116819682A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310766639.X
申请日：2023-06-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种用于异质集成的三层耦合器结构及其制备方法，由下至上包括第一波导层、第二波导层和第三波导层。本发明可以利用不同材料之间相对参数选择的灵活性，为相关异质集成器件或异质集成平台增加一个设计维度，进一步拓展器件的实际应用。
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公开(公告)号：CN115963597A
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202211729627.1
申请日：2022-12-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种微纳结构加载的基于槽型波导的超紧凑型波导结构，通过在槽型波导的条形波导上构建微纳结构，使得条形波导的等频率线在光的传输方向上发生偏移，与槽型区域的等频率线无交叠，从而使得槽型波导的高折射率的条形波导区和低折射率的槽型区都可以有效传输光场且彼此之间无串扰，以提高集成光子芯片的空间利用率。
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公开(公告)号：CN115933063A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211590929.5
申请日：2022-12-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于遗传算法优化的变周期光栅耦合器，包括：衬底；埋氧层，位于所述衬底表面；波导层，设置于所述埋氧层上方，且所述波导层中具有变周期变占空比的光栅结构；所述光栅结构使光栅耦合器的场强衰减因子随位置变化；所述光栅结构的参数通过遗传算法确定。本发明采用遗传算法对光栅耦合器的多结构参数进行优化，设计方法简单，减少了设计的人力和时间成本，增加了设计的自由度，可以实现很好的应用。
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公开(公告)号：CN115857094A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211463209.2
申请日：2022-11-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种相控阵阵元、光学相控阵及制作方法，其中，相控阵阵元包括：硅波导；氧化层，位于所述硅波导的上表面；氮化硅光栅，位于所述氧化层上表面，所述氮化硅光栅的光栅齿的宽度大于所述硅波导的宽度，所述氮化硅光栅的光栅体的宽度小于所述硅波导的宽度；上包层，覆盖在所述氮化硅光栅外围。本发明可以延长有效发射长度，降低发散角提高分辨率，并扩大光束的全半高宽。
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公开(公告)号：CN115220150A
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202210680007.7
申请日：2022-06-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种应用于光学相控阵的基于交错刻蚀的多层结构波导光栅天线及其制备方法，由下至上包括衬底(1)、波导区和顶部氧化层(5)；所述波导区由下至上包括第一波导层(2)、隔离层(3)和第二波导层(4)；其中，所述第二波导层(4)具有交错设置的深浅沟槽。本发明减少了光向衬底的泄露，提高了光向上发射的比例，进而提高了光栅的发射效率，同时具有有效发射长度长的优点，有助于相控阵列探测距离的提升和高功率输出器件的实现。
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